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TheUniversityofChineseAcademyofSciencesInpartialfulfillmentoftherequirementForthedegreeShanghaiInstituteofAppliedPhysics,CASApril,2014基本I/O功 步进脉冲信 运动方向信 辅助控制信 寻零信 限位信 基本定位功 梯形速度曲 几种加方法的对 梯形速度曲线程序设 坐标系统设 EPICSmotor坐标变换背 三种坐标系定义以及变换关 人机界面设 串口通信协 人机界 第4章测 基本功能测 测试平 功能测 定位精度测 测试平 ...............................................................................第5章总结及展 总 展 参考文 期间 致 1章绪论1.1光源光束线站运动控制系1.1.1光源简表1-1光源基本参3.54324×12m，16×6.5环内侧；3.5GeV电子环产生高性能的同步辐射光；光束线用于选择和射光做实验的地方，处于光源的最终端[2]。光束线站运动控制系统1动器、电、反馈装置、执行机构等部分[3]，如图1-1所示。图1-1图1- 光束线站常用被控光学设同步辐射装置光束线运动控制系统采用在控制界广泛使用的EPICS（ExperimentalPhysicsandIndustrialControlSystem）分布式控制2运动控制器PVT（PV、根据运动控制器的系统机构来分，可分为基于ISA、PCIVME等总线的运动控运动控制器一般包含三层：硬件层，底层层和应用层。控制器的核心技术如模拟电路、运动控制、可编程逻辑控制器、可编程逻辑器件和数字信号处理器等构成运动控制器的硬件层。由于以DSP和FPGA作为技前国内外比较先进的控制器硬件都是基于DSP和FPGA的。底层为控制器3运动控制器从上世纪八十年始发展，随着微电子技术的进步,运动控制器结构也发生了质的变化，到目前为止，控制器的发展经历了以下几个阶段[5]以单片机为的运动控制MCS-51CPU。这类以控制为的运动控制需求，推出了多款运动控制。其中比较具有代表性的是NOVA公司生产研制MAX314运动控制，脉冲马达株式会社生产的PCL6045B4DSP适用于步进电机运动距离和方向的控制、限位开关和零点信号输入、编信号因此FPGA/CPLD可以协助主处理器工作，DSP处理复杂的算法，FPGA/CPLD进行逻辑转换和输出；FPGA/CPLD还可以管理DSP以及外设模块的接口配置。FPGA/CPLDDSP该类型控制器充分结合了DSP和FPGA/CPLD的优具有强大的数据处理能SEED-DEC138开发板上除了DSP外，也扩展了CPLD架构。与EMIFA空CPLD[8]。国外同步辐射光源的运动控制器（Argonne）国家的APS（AdvancedPhotonSource）属于（7Gev35个单元安装有件，其光束线控制系统采用EPICS[9]。SLS（SwissLightSource）是典型的中能第三代光源SLSEPICS5如下所示类型的控制器，最高可以达到4176000HZ；定位范围：MAXv最多可以连续发送 单色器的控制一般也只需720000个脉冲；机在jog模式下运动时，可以使电机达到误差为+/-0.01％的最大速度；倍频后，编可以达到4000线的分辨率；CPUMAXDeltaTauDataSystemPMAC(ProgramMultipleAxisController)多轴运动控制器系列，是目前应用最为广泛的运动控制器之一。PMAC55us/轴(20MHZDSP)ISAPCIPCl04VME620/40MHz编频产品，采用32位的微处理器，加入了的自动控制理论以及网络技术，支持大容量非易失性器，用户程高速位置锁存（0.17本课题研究内容本课题以合众达公司的SEED-DEC138开发板为基础将运动控制技术和嵌入式技术相结合，设计了基于DSP的步进电机运动控制器，实现了基本的定位控制环境CCS(CodeComposerStudio)下开发下位机程序，通过串口建立上位机和下OMAP-L138的ARM核开发系统，OMAP双核通信程序开发制定双核的通信协本课题研究意义光源（ShanghaiSynchrotronRadiationfacilitySSRF）是一学平台，首批七条光束线站已于20095月向用户开放，蛋白质设施五线六站8光，每条光束线站应用的步进电机和伺服电机数量近100个。SSRF一期工程中使用的基本上都是Pro-Dex公司生产的基于VME总线的运动控制器MAXv-8000，性能良好，但价格昂贵，且技术不公开。另外，DSPI/O信号可以快速执行各种控制功能和对底层硬件及设备的保护；脉宽调制器、TIOMAP-L138，DSPARMDSP本文的目的在于应用OMAP-L138DSP系统开发一种功能完善的步进电机控制92章系统硬件概述电机控制器选用具有强大计算能力的浮点类型DSP；随着系统地高速发因此控制器硬件选用具有DSP+ARM双核架构CPU的开发平台。合众达公司的体系结构。该方案实现的运动控制器定位速度可以达到8000Hz，可以连续输出步进脉冲1048576个。OMAP简OMAP体系结OMAP是TI公司推出的开放式多应用平台架构（OpenMultimediaApplicationPlatform用于移动式平台[10]1998年TI推出了第一代OMAP平台解决方案。OMAP平台包含了三个组成部分：高性能低功耗的处理器、易于OMAP采用ARM9+DSP架构，在一块OMAP上集成了ARM子系统以及DSP子系统在内存里开辟了一个ARM子系统和DSP子系统都可以的共享内存OMAP系列上的ARM核和DSP核可以分别支持自己的操作系统ARM核几OS、NucleusOSE、PalmOS、SavaJeOS、SymbianOS等；DSP核运行DSP／BIOS系统。连接这两个操作系统协同工作的是DSP/BIOS桥，DSP/BIOS桥提应用程序能够以独立于设备的方式，高效地交换信息和数据[11]通过合理的分配各个操作进程的使用资源以及高效的优化功能，可以使ARM基本特性功耗低。OMAP的双核架构集成了ARM和DSP的所有功能，其单运行所消耗的功耗一定低于ARM和DSP单独运行时的功耗。OMAP上扩展了管理电扩展性好。TI公司在OMAP的平台上设计了CodecEngine架构，并且定义了xDAIS／xDM标准。只要用户的算法符合xDAIS／xDM标准，就可以通过CodecEngine架构对其进行编译、配置和调用[12]。SEED-DEC138OMAP-L138处理器模SEED-DEC138开发板的是TI公司的双核处理器OMAP-L138，集成ARM926EJ-S处理器C6748DSP处理器。OMAP-L138的结构如图2-1示[13]，由于整体上集成了ARM+DSP核，因此OMAP-L138包含了ARM和DSP图2-1OMAP-L138令集可以提高代码密度，32位ARM指令集支持各种高性能的应用。其器管指令高速缓存(ICache)，中断向量表在8KBRAM中，64KB的片内ROM以及JAVAARM核在一般情况下可以大多数片上和片外区。速缓存(L1P)是32KB直接高速缓存，而第一级数据高速缓存(L1D)则为32KB组相关联高速缓存。第二级程序高速缓存(L2P)包含一个256KB的内存空间，此空间为程序空间和数据空间所共用。L2内存可被配置为内存、IDMAC6748内存OMAP-L138的中断系统中有7个于ARM核和DSP核通信的中断。具体流OMAP-L138能源与休眠管理模块主要负责系统各个模块以及外设的使能以及休眠，在这个模块的基础上，可以实现ARMDSP核的相互控制。外设及接口模块所谓开发板，简单的说就是将的电源、通讯、外设等接口进行扩展，以图2- SEED-DEC138开发板实物本课题所采用开发板的是合众达电子技术公司的产SEED-DEC1382-3图2-3SEED-DEC138SEED-DEC138开发板上以OMAP-L138作为处理器拥有丰富的外设接口，便于灵活使用DSP资源以实现预期的设计要求。板上外设及接口主要有：级驱动后与液晶显示器连接，采用TFT565的16bit数据模式来控制液晶显示OMAPSN74LVTH16245A后再与液晶屏相连接以提4TSC2046。TSC2046与处理器之间则通过SPI1来连接。AD据，16位分辨率。在板上的位置为U11。412•+/-15V•+/-10VSEED-DEC13810M/100MKSZ8001/DP83640，RMII2LEDRJ45SEED-DEC138支持一组MMC/SD接口，四组数据线模式以及+3.3V操作电SEED-DEC138OMAP-L138UART。由于管脚复用，开发板上用到了其中，分别为UART0和UART2。其中UART0通过J9构成RS232标准，而另一UART2J14构成可选RS232标准RS485标准。两种标准的选择通过跳线来控制，即通J11-J13来控制。J11-J13RS232一侧，构RS232接口。当J11-J13RS485一侧，构成标RS485RS232RS485SEED-DEC138JTAGSEED-DEC137JTAG时钟的输入为10M，输出分别为50M、31.5M和100M。Y1：10M晶体作为时钟的时钟源Y2：32.768KRTCY3：24M50MLEDD3+3.3VD1，D2作为调试程序用的标志显示灯。控制器硬件结构总体结构控制器的，DSP完成所有的控制算法，eHR 考点信号的接收。利用ARM核可以开发系统，完成上位机的所有功能。图2- 处理器模块P8浮点P泛,可以进行浮点运算和定点运算。C6748内核使用一个基于高速缓存的两级结构，第一级程序高速缓存(L1P)是32KB直接高速缓存，而第一级数据高速缓存(L1D)则为32KB组相关联高速缓存。第二级程序高速缓存(L2P)包含一个26KB2内存可被配置为内存、高速缓存或这两者的组合，两级缓存通过IDMA来进行控制管理。C6748具有6个ALU功能单元，2个乘法器以及64个32位通用寄存器。图2-5为处理TI的其他C6000DSP比较,C6748动模块,启动模块本身是加密的，在安全启动期间被加载时，启动模块就被并且被验证,使用户可以保护自主知识并防止外部实体修改用户开发算法。运算，C6748的执行速度可达2746MFLOPS（每秒百万个浮点运算）口；2个增强型高分辨率脉宽调制器(eHR)外设。3个增强型捕捉(eCAP)模块外设；2个外部器接口：1个外部器接口(EMIFA)；1个DDR2/移动DDR只有420mW，当处于睡眠模式时，其系统功率仅为11mW，是目前市场上所有浮点系列DSP中系统功耗最低的2-5步进脉冲输出模块强型脉冲宽度调制器（EnhancedHigh-ResolutionPulse-WidthModulator）可以作为步进脉冲输出模块，很好的解决了这个问题。OMAP-L138有两个增强型脉冲宽度调制器：E0和E1，每个脉冲宽度调制器由时基（TB）、计数器比较（CC）、动作限定器（AQ)、死区（DB）、截波器（PC）和触发区（TZ）模块组成，其结构框图如图2-6所示。E0和E1的各个部分的功能都调制器可以输出波形，即E 2-6主要包括TBCTL，TTBPRD寄存器。以系统时钟（SYSCLKOUT）为基准，配置步进脉冲的频率或周期。T为时基模块计数器，TBCTL设置计数器的计数包含CMPA、CMPB两个寄存器，用于指定输出ExA或E 1：输出ExA或ExB高电平信号2：输出ExA或ExB低电平信号3：输出ExA或ExB信号电平发生跳变（5）截波器模块创建载波频率（6）触发区模块主要功能是尽快对应用的错误或故障做出反应，同时关闭I/O模本中脉宽调制器(eHR 通用输入输出（GPIO）模块I/0及其相关寄存器配置如表2-2所示。图2- GPIO结构框表2- 脉宽调制器(eHRA)模块I/0配(eHRA)块EEET=0,输出高电T=TBPRD,输出低电T 表2- 通用输入输出（GPIO）模块I/0配通用输入输零参考点（1：Home开关闭合，0：Home开关断开通信模SEED-DEC138UART送/接受通口。UART模块支持DSP与上位机之间进行通信。UART的数据发送系统采用UART0模块利用公司的MAX3232电平转换构建的电路为了确保传输数据的正确性，UART会对接受的数据进行检测，如奇偶性，寄存器编程，可以获得超过65000种不同的数据传输速率。 与驱动器接口电路的设计步进电机驱动器2-9图2-9光源光束线上应用的驱动器包括光源中广泛应用的模块化步进电机SLSSMDSLS2003L(X)SMD（驱动两相电机）、SLS2011SMD（驱动三相电机）、SLS2001SMD（驱动四相电机）、SLS2015SMD（驱动五相电机）等。接口电路设计驱动器与控制器的接口信号电平为0—5V，因此必须设计制作的接口电路，2-10图2-10须选用适当的电压转换，这是实现电路功能的必要条件。电路中采用TI公司的双向收发器SN74LVC4245A来解决控制器和驱动器之间的电平匹配问U2所示。图2-11后生成的PCB图如图2-12所示。图2-12接口板PCB2-133.3LVTTL5.0TTL图2-14第3章DSP运动控制器设DSP开发平CCS可以满足TI的各系列DSP型号的开发工作，其开发界面如图3-1所示。图3-1CCSCCS集成了以下组件：CCS代码生成工具、集成开发环境IDE、图3- CCS组件工作机程就是在CCS中对上述文件进行定义以及编写。CMD文件等。汇编器和变量窗口，调试源代码等功能。通过实时技术，可以保证在目标程序正常运行情况下，实DSP仿真器简仿真器是DSP开发主机与DSP之间的桥梁通过仿真器把主机上开发的到DSP，而主机通过仿真器可以实时监测DSP的运行状态。DSP开器，可以在不影响开发板CPU工作的情况下，从开发板CPU获取信息并控制程序在开发板CPU上的运行。硬件仿真器通过开发板上的JTAG(JointTestActionGroup)接口，检测DSP的寄存器的状态以及相关引脚的状态，从而DSPTIXDS560系统开发平台硬。DC240.753.4。VC++6.0RS-232DSP整个系统的开发平台如 3- 中的虚线框内所示图3-3DSP编程概DSP开发的最主要的任务就是通过编程实现光束线站中常用的运动控图3-4所示为OMAP系列的DSP核开发相关的流程，主要包括源程序编辑，汇编，，仿真以及编程写入等几个程序步骤。源程序文件包括C语言源程序文件以及工程文件(后缀名为.cmd，主要作用是为整个程序分配内存空间)。源程序经过汇编器生成目标文件(后缀名为.obj)，再由经过器将.cmd文件和.obj文件后得到可执行文件(后名为.out)，然后就可以通过硬件F1ashROMEPROM，进行系统应用。图3-4DSP开发相关的流运动控制整体设图3-5运动控制系统的结构体系示意PC机向用户提供了一个方便的的人机控制界面，包括输入数据处理、系统入数据处理、系统初始化、运动控制、系统管理等。DSPDSPDSPDSP循环程序中等待相关的中断命令。DSP控制器检测到通过上位机人机界面发送过图3-6DSP图3- 系统中断优先基本I/O功步进脉冲信号脉冲宽度调制器产生步进脉冲的过程如图示：初始化脉冲宽度调制器相关寄存器，选择计数器上升计数模式，输出引脚上为高电平，计数器T从O 图3- 产生步进脉冲信号逻辑框图3- 定时器工作在连续增计数模式下生成的步进脉运动方向信号利用DSP的eHR模块I/O口的输出“强制高”(正转)和输出“强制低”(反转)来实现电机的转向控制。设置eHR的控制寄存器I/O口发出占空比为100%为了使eHR模块产生方向信号输出，需要做以下设置：初始化I/O口为步进脉冲输出口，设置TBCTL寄存器选择计数模式voidInitEhr{CSL_FINS(sys0Regs->KICK0R,SYSCFG_KICK0R_KICK0,KICK0_KEY);CSL_FINS(sys0Regs->KICK1R,SYSCFG_KICK1R_KICK1,KICK1_KEY);sys0Regs->CFGCHIP1=CSL_FMKT(SYSCFG_CFGCHIP1_TBCLKSYNC,STOP); 0Regs->TBCTL=CSL_FMKT(EHR_TBCTL_SYNCOSEL,E|CSL_FMKT(EHR_TBCTL_PHSEN,|CSL_FMKT(EHR_TBCTL_CLKDIV,DIVBY1)|CSL_FMKT(EHR_TBCTL_PRDLD,FROMSHADOW); 0Regs->TBPRD=CSL_FMK(EHR_TBPRD_TBPRD,5000);CSL_FMKT(EHR_ETSEL_INTEN,ENABLE);ehr0Regs->ETPS=CSL_FMKT(EHR_ETPS_INTPRD,EVENT); 0Regs->CMPA=CSL_FMK(EHR_CMPA_CMPA,2500); 0Regs->AQCTLA=CSL_FMKT(EHR_AQCTLA_ZRO,E|CSL_FMKT(EHR_AQCTLA_CAU,EXALOW); 0Regs->ETCLR=CSL_FMKT(EHR_ETCLR_INT,CLEAR);sys0Regs->CFGCHIP1=CSL_FMKT(SYSCFG_CFGCHIP1_TBCLKSYNC,ENABLE);CSL_FINS(sys0Regs->KICK0R,SYSCFG_KICK0R_KICK0,KICK_LOCK);CSL_FINS(sys0Regs->KICK1R,SYSCFG_KICK1R_KICK1,KICK_LOCK);}辅助控制信号寻零信号发送信号，停止步进电机运动，同时将位置计数器清零。void{CSL_FINS(gpioRegs-

CSL_FINST(gpioRegs->BINTEN,GPIO_BINTEN_EN1,ENABLE);gpioRegs->BANK[GP7].CLR_FAL_TRIG=BANK0_ALL_PINS;gpioRegs->BANK[GP7].CLR_RIS_TRIG=BANK0_ALL_PINS;gpioRegs->BANK[GP1].SET_RIS_TRIG=GP1P15;gpioRegs->BANK[GP1].SET_FAL_TRIG=}interruptvoid 0Regs->TBPRD=CSL_FMK(EHR_TBPRD_TBPRD,0x0000); 0Regs->CMPA=CSL_FMK(EHR_CMPA_CMPA,0x0000); 0Regs->AQCTLA= _AQCTLA_ZRO, | _AQCTLA_CAU, }限位信号DSPI/O到正限开关位时，于闭态的位开被发，平状DSP出。控制器中检测正负限位信号的I/0管脚初始化程序以及相关中断程序相似，正void{CSL_FINS(gpioRegs->BANK[GP2].DIR,GPIO_DIR_DIR14,CSL_GPIO_DIR_DICSL_FINST(gpioRegs->BINTEN,GPIO_BINTEN_EN2,ENABLE);gpioRegs->BANK[GP2].CLR_FAL_TRIG=BANK0_ALL_PINS;gpioRegs->BANK[GP2].CLR_RIS_TRIG=BANK0_ALL_PINS;gpioRegs->BANK[GP2].SET_RIS_TRIG=GP2P14;gpioRegs->BANK[GP2].SET_FAL_TRIG=GP2P14;}interruptvoid 0Regs->TBPRD=CSL_FMK(EHR_TBPRD_TBPRD,0x0000); 0Regs->CMPA=CSL_FMK(EHR_CMPA_CMPA,0x0000); 0Regs->AQCTLA=CSL_FMKT(EHR_AQCTLA_ZRO,E|CSL_FMKT(EHR_AQCTLA_CAU,E}基本定位功能步进电的定位控制是指控制步进电带动负载从一个位置运行若干（RBVDSP根据VAL和RBV的差，计算电机运动的方向及需要发出的脉冲数。VAL大于RBV时，DIR为正，反之为负。脉冲数=abs（VAL-RBV）/MRES，MRES为电机运（counts断请求，立即停止步进脉冲的输出。基本定位控制逻辑如图3-10所示。3-10基本定位控制逻辑流程图interruptvoidEhrunsignedold_csr;unsignedold_irp;old_irp=IRP;old_csr=CSR;CSR=old_csr|1 0Regs->ETCLR,EHR_ETCLR_INT,CLEAR);if(DIR=='U'){if(!(RBV>={ 0Regs->AQCTLB=CSL_FMKT(EHR_AQCTLB_ZRO,E|CSL_FMKT(EHR_AQCTLB_PRD, RBV++;counts--}{RBV=DIR='D';}elseif(DIR=={if(!(RBV<={ 0Regs->AQCTLB=CSL_FMKT(EHR_AQCTLB_ZRO,E|CSL_FMKT(EHR_AQCTLB_PRD,ERBV--;counts--}RBV=DIR=}CSR=CSR&(-2)CSR=old_csr;IRP=old_irp;}梯形速度曲线通过控制DSP控制器发出的步进脉冲频率，可以调节步进电的运行速度，电机速度与脉冲频率成正比。通过设置DSPeHR模块的周期寄存器的运动到终点时，如果速度由匀速速度瞬间降为0，则由于惯性，容易造成电机几种加方法的对3-11，V0V1的速度后马上开始临界距离：电机从起跳速度V0加速到运转速度V1后马上开始至起跳速大于临界距离：电机从起跳速度V0加速到运转速度V1，然后以V1匀速运行电机速度v(t)的数学方程式为: v1-0+

v1-

t1+t2v1-

式中：V0—起跳速度，V1t1—加速时间，t2—加速和匀速运行3-12电机速度v(t)的数学方程式为

ee

定阶段、加速度减小阶段[16]。S速度曲线如图3-13所示。图3-13S00 00amax- v0 max+2

v v 0+2mmaxv2+mmax max v2=v1+mmax

v=v t max mmax2v4-1mmax v5- v5=v4v

v6-mmaxt+1mmax

2v=v- 2 max上述公式中：mmax--电机运行时最大急动度，amax--电机运行时的最大加速度v0--起跳速度，V1—运转速度梯形速度曲线程序设计V0V1ta是三个可由用3-14S0-2ta时间轴和对应的等腰三角S1S=S1V1V13-14梯形速度曲线用户通过上位机人机界面设定梯形加所需要的参数，包括电机起跳速度V0，加时间ta以及运转速度V1，并设置电机的目标位置S；DSP运动控制器从UART接口取得上述数据后，主程序首先计算出临界位移S1，根据电机当前位置计算出需要运动的距离S，再根据S和S1的大小关系段和阶段，在每个速度阶梯控制器发出的脉冲数和脉冲频率是固定的。设步进电机在每个阶梯波中只走一步，则速度中断程序流程图如图3-15所示，图3- 梯形加控制曲线中断程序流程 vv

Sa

0+v1

(V1-V0—起跳速度、V1—匀速速度、ta--加速时间、tb—加速和匀速时间、tc—总运行时间、S—电机的目标位置、MRES—电机分辨率。坐标系统设计EPICSmotor坐标变换背三种坐标系定义以及变换关系（，V（step，tick（DDB（egu，egu（VA，RBV（eg，egu位长度与Dial坐标始终一致，零点可以由用户自己设定。（DVAL,DRBV)=(RVAL*MRES,RRBV*（RVAL,RRBV)=(DVAL/MRES,DRBV/ERESUser=DIR*DIAL+即（VAL,RBV)=DIR*(DVAL,DRBV)+Dial00UserOFFOFF图3- 提高工程实施效率，提高可性，提高代码可重用性，缩短故障分析判人机界面设计制运动方式它运行在PC机上PC机通过串口协议运动控制器，使用VC++6.0串口通信协议误会引起严重的。人机界接口(UART)。上位机通过RS-232串口连接开发板上的UART接口，与下位机VC++6.0环境中开发人机界面VC++6.0的m(CommunicationsControl)控件进行编程。m微软公司开发的ActiveX件，它大大简化了用户在Windows环境下开发串口通信的难度，程序员不必花费更APIm口。m提供了两种串口通信方式：事件驱动以及查询法，此处采用事件驱MFCPC如图3-17所示。3-17上位机人机界面图3-17中，Drive为电机设置选项Hilimit:MoveAbs:Lolimit:电机运动负方向上的软限位；MoveRel:电机从当前位置要移动的位移值；Dynamic为电机速度设置选项:BaseSpeed：电机起跳速度；Speed：运转速度；Acceleration：加速度；Calibration为坐标系统校准：ResolutionMotorresolution:COMl115200，数据接收和发送字符为1个起始位，8个数据位，有奇偶检验位，1个停止位，无数据编写人机界面主程序。程序中的主框建立相应m事件的程序。本文中用于上位PCDSP运动控制器之间的串口通信协议格式如下：12协议的具体含义如表3-1所示。3-1$①②,*第4章测基本功能测试测试平台器、步进电机组成，如图4-1所示。图4-1DSP。功能测试电机正反向运动功能测试电机运行情况测试速控制参数(速度增减量)以及电机加速、匀速、三个阶段中每个阶段所需要电机限位等数字I／0信号处功能的测试是否平稳、流畅，电机限位等数字I／0信号处功能的测试，表明电机在实际中的运行情况与事先设置好的运行情况一致，电机在整个运动过程中，整体运行情况良好，DSP运动控制器的正负限位相应的I／O功能引脚稳定可靠，中断定位精度测试测试平台硬白光狭缝：选择一个轴作为电机驱动器的负载，利用轴上的位置编对DSP固件程序，使用德州公司的CCS3.3仿真环境和XDS-560仿真器；操作界面，使用VC6.0开发，通过RS-232串口和DSP固件通信。MAXv-8000，使用EPICS控制。图4- 4.2.2.1.系统参阻为3.4欧/相，编分辨率设置为2μm。测试过 控制器中设置脉冲数，使电机按0->500->1000->1500->2000->1500->1000->500->05表4- 对位置（μ编显示的实际值（μ000000012345------6------7------80-----定位精度和重复精度数据处理4-2iijxi次测量中电机位于位置j的位置xi次测量中电机正向运动时