产业型mocvd-交付文件用户手册

修订历史记2007-1-编写目 功 系统运行环 系统逻辑结 主界 菜单 文 查 工 关 控制面 参数设 告 气路图控 表格................................................................................................................................图线................................................................................................................................ ..........................................................................................................................................26 图线显 工艺流 故障告警列 故障告警动作列 状态 编写目

用户手本用户手册将作为程序用户的帮助手册，将对MOCVD系统的运行环境及其整个使用流程进行详细描述，力求在没有技术在现场的情况下，给用户提供随手可得的帮助。用户手册主要针对MOCVD程序的用户编写。功MOCVD程序主要完成如下功能提供控制界面，实时显示MOCVD各对象的当前状态支持3种控制模式：直接在主界面的控制图上执行控制，单步执行工艺控制流提供统计分析功能，可查询历史记录，制作并打印统计图表MO系统运行环硬件环 型 使用工控机和原装机处700MHz内128M硬多RS485，RS485环 作系统 操作系统采用windows数据库接口 采用ACCESS2000以上数据库 用程序 MOCVD程序系统结装有MOCVD程序的PC机通过4个RS232接口分别与MOCVD控制器、压差PM2000651CFP93主界 菜单栏将程序的所有功能集合在一起，主要菜单功能从左至右分别是【文件】文气动常闭阀、低压气动常开阀、MainFold（MN）、其他低压气动阀，告警故从端下拉框中选择端（对应于计算机串），4个端各不相同，否重置控制器加载默认值为断电状态，但不发送命令，只是修改开关的和颜色为断电时的状态反转开关Ctrl色高亮度显，此时单击“反转开关”，即可实现批量反转，改变选中的多个开关的当前状态。开关反转成功，开关颜色也会依据状态发生相应的变化。否则保持黄色。取消选择待机退出停 并退出系统勾选全屏，隐藏控制面板、日志区、和状态栏以全屏显示控勾选日志，在主界面的右下区域显示日志列表。日志列表主要显示（快捷按钮通常位于系统菜单栏的下面，但可以移动到其他位置。勾选，显示/隐 如下图所示志】、【统计分析】、【计算MO源消耗量】、【关于】。当光标停留在某一按钮上勾选状态栏，显示/隐藏状态栏历史记录保存在安 的 下，每天对应一个文件，命名格式为“日 sv”，ExcelMOMOMOMO进入界面时MO源列表显示所有的MO源的信息以及消耗情况。设置要查询的时间范围，在MO源列表上点击要查询流量的MO源，在MO源消耗记录表上显示指定时间范围MOMO（选中的MO），MO钮，打开编辑MO源框，然后就可以编辑源的名称、关联的MFC部件、EPC部件、Moc（出气口部件）A、特性常数B、分子量、源瓶温度。系统根据特性常数A、特性常数BMFCMFC，EPCEPC，MOc勾选“高级”，显 设置项目点击“增加源”按钮，打开如下编辑源框，增加新源。操作于编辑MO源 关于Mocvd程PV：框框框框1：PDR200012：PDR2000220 在设定值文本框中设置要设置的值，输入的值出模拟量的上下限。点击“设设置压差计控制模式：双击任意一个“PMODE”按钮即可修改。红色为压差模式，由压差计自动平衡的压力；黄色为流量控制模式，由程序调节流量计以平衡的压力。开关量背景色有两种颜色绿色和灰色HC、NC、MOnb/c、 系列阀模拟量背景系列：背景色为深蓝色。系列：背景色为天蓝色。表格data.mdb。质量流量控制器：该组包含 ）部件压力流量控制器：该组包 ）低压气动常闭阀：该组包含 )部件M01a,M02a,M03a,M04a,M05a,N01,N02,N03MainFold（MN阀）：该组包含 )部件其它低压气动阀：该组包含 )部件高压气动阀：该组包含 )部件D1单击分组名称，显示/隐藏分组中部件。，显示分组中的部件；，隐藏分组中的 定值：部件的设定值 量值：运行中实际测到的值 警：显示部件的故障告警信息 差值：此处是指相对误差值，测量值

测量值－测量值－设定 明：对部件进行注释图图线界面如下图添加/删除图图线界面左侧是可以进行图 的部件列表勾选部件前的多选框 ，可添加该部件的图线，即在右侧的图 ，则删除该部件的图线，即在右侧的图线的显示区3D3D，点击该图标，可对图线进 操作调节纵向显示比调节以压缩或者拉伸图线纵向的比例图线显5HH：mm：ss（24），纵轴代表各个部件的实际监测10001000工艺流工艺文件以*.cdb文件格式保存。步骤(ProcessStep)：一个步骤在工艺中表现为一列，有时也称步骤为列。一个操作(ProcessOperation)：是工艺流程执行的最小元素，一个操作代表对控制器打开工艺文 编辑工艺流2-100。修改步骤属性：工艺表格上的蓝色部分是步骤的属性。以下修改直接在工艺表修改“执行次数”：单击步骤的“执行次数”单元格，下拉框|---循环3次--- 不执行|执行|---循环3次--- 不执行|执行1次|循环3次|执行1次 123456789→→步骤（列） 若当前工艺文件没有定义步骤也即没有列时，点击“列（前）”按钮或“列（后）”作结果是一样的，的列都是当前工执行次数＝执行1压力若当前工艺文件已经定义有步骤，点击“列（前）”按钮或“列（后）”按钮可在当前选中的单元格所在列的前或者后列。开关直接双击单元格进入编辑状态，键入操作的设定值，该设定值过部件的非编辑状态下点击del键即可，删除成功后单元格会显示为空白。若删除的部件操作是当前步骤的计时起点，则会弹出如下提示框：其他（OPEN/CLOSE,RUN/VENT,H2/AsH3,…）:后，该开关量后面的定义为“无动作”的开关量背景色保持与该动作相同。如