激光干涉衍射测量课件

第6章激光在精密测量中的应用(1)61激光干涉测量62激光衍射测量第6章激光在精密测量中的1补充知识:迈克尔逊干涉仪迈克尔孙干涉仪原理图(i1=0,光垂直入射)补充知识:迈克尔逊干涉仪2迈克尔孙干涉仪原理图(i1≠0)分光板迈克尔孙干涉仪原理图(i1≠0)3话动反射貌钋儉板分束板园完反射镜话动反射貌4现事菌由M2反射的光束可以当作是从它虚像M2反射过来的,这样,发生干涉的光束相当于M1与M2之间的空气薄膜反射形成的。现事菌5迈克耳逊干涉仪的干涉条纹等倾干涉条纹IMEM重合等厚干涉条纹MM迈克耳逊干涉仪的干涉条纹6若M平移心使空气膜加厚时吐出了N级条纹,则d=Nx/2若M平移心使空气膜加厚时吐出了N级条纹,则d=Nx/27M若M平移心使空气膜减薄时吞进了N级条纹.则d=N/2●M8M1平移d条纹右移(或左秽川级.d=N4/2M1平移d条纹右移(或左秽川级.d=N4/2961激光干涉测长系统主要包括:稳频激光器、干涉仪本体及光电组合体激光头干涉仪本体稳频器氖激光器[准直透铺光电组合体光电转换}心放大鉴向倍频卜[整形大气修正一计算机}弋输出61激光干涉测长10激光干涉衍射测量课件11激光干涉衍射测量课件12激光干涉衍射测量课件13激光干涉衍射测量课件14激光干涉衍射测量课件15激光干涉衍射测量课件16激光干涉衍射测量课件17激光干涉衍射测量课件18激光干涉衍射测量课件19激光干涉衍射测量课件20激光干涉衍射测量课件21激光干涉衍射测量课件22激光干涉衍射测量课件23激光干涉衍射测量课件24激光干涉衍射测量课件25激光干涉衍射测量课件26激光干涉衍射测量课件27激光干涉衍射测量课件28激光干涉衍射测量课件29激光干涉衍射测量课件30激光干涉衍射测量课件31激光干涉衍射测量课件32激光干涉衍射测量课件33激光干涉衍射测量课件34激光干涉衍射测量课件35激光干涉衍射测量课件36激光干涉衍射测量课件37激光干涉衍射测量课件38激光干涉衍射测量课件39激光干涉衍射测量课件40激光干涉衍射测量课件41激光干涉衍射测量课件42激光干涉衍射测量课件43激光干涉衍射测量课件44激光干涉衍射测量课件45激光干涉衍射测量课件46激光干涉衍射测量课件47激光干涉衍射测量课件48激光干涉衍射测量课件49激光干涉衍射测量课件50激光干涉衍射测量课件51激光干涉衍射测量课件52激光干涉衍射测量课件53激光干涉衍射测量课件54激光干涉衍射测量课件55激光干涉衍射测量课件56激光干涉衍射测量课件57激光干涉衍射测量课件58激光干涉衍射测量课件59激光干涉衍射测量课件60激光干涉衍射测量课件61激光干涉衍射测量课件62激光干涉衍射测量课件63第6章激光在精密测量中的应用(1)61激光干涉测量62激光衍射测量第6章激光在精密测量中的64补充知识:迈克尔逊干涉仪迈克尔孙干涉仪原理图(i1=0,光垂直入射)补充知识:迈克尔逊干涉仪65迈克尔孙干涉仪原理图(i1≠0)分光板迈克尔孙干涉仪原理图(i1≠0)66话动反射貌钋儉板分束板园完反射镜话动反射貌67现事菌由M2反射的光束可以当作是从它虚像M2反射过来的,这样,发生干涉的光束相当于M1与M2之间的空气薄膜反射形成的。现事菌68迈克耳逊干涉仪的干涉条纹等倾干涉条纹IMEM重合等厚干涉条纹MM迈克耳逊干涉仪的干涉条纹69若M平移心使空气膜加厚时吐出了N级条纹,则d=Nx/2若M平移心使空气膜加厚时吐出了N级条纹,则d=Nx/270M若M平移心使空气膜减薄时吞进了N级条纹.则d=N/2●M71M1平移d条纹右移(或左秽川级.d=N4/2M1平移d条纹右移(或左秽川级.d=N4/27261激光干涉测长系统主要包括:稳频激光器、干涉仪本体及光电组合体激光头干涉仪本体稳频器氖激光器[准直透铺光电组合体光电转换}心放大鉴向倍频卜[整形大气修正一计算机}弋输出61激光干涉测长73激光干涉衍射测量课件74激光干涉衍射测量课件75激光干涉衍射测量课件76激光干涉衍射测量课件77激光干涉衍射测量课件78激光干涉衍射测量课件79激光干涉衍射测量课件80激光干涉衍射测量课件81激光干涉衍射测量课件82激光干涉衍射测量课件83激光干涉衍射测量课件84激光干涉衍射测量课件85激光干涉衍射测量课件86激光干涉衍射测量课件87激光干涉衍射测量课件88激光干涉衍射测量课件89激光干涉衍射测量课件90激光干涉衍射测量课件91激光干涉衍射测量课件92激光干涉衍射测量课件93激光干涉衍射测量课件94激光干涉衍射测量课件95激光干涉衍射测量课件96激光干涉衍射测量课件97激光干涉衍射测量课件98激光干涉衍射测量课件99激光干涉衍射测量课件100激光干涉衍射测量课件101激光干涉衍射测量课件102激光干涉衍射测量课件103激光干涉衍射测量课件104激光干涉衍射测量课件105激光干涉衍射测量课件106激光干涉衍射测量课件107激光干涉衍射测量课件108激光干涉衍射测量课件109激光干涉衍射测量课件110激光干涉衍射测量课件111激光干涉衍射测量课件112激光干涉衍射测量课件113激光干涉衍射测量课件114激光干涉衍射测量课件115激光干涉衍射测量课件116激光干涉衍射测量课件117激光干涉衍