分子泵选型、应用和维护课件

中科科仪分子泵产品介绍

钱浩

0中科科仪分子泵产品介绍

钱浩0内容中科科仪分子泵发展历程分子泵原理、结构分子泵应用及选型分子泵使用及维护1内容中科科仪分子泵发展历程1分子泵大全

2分子泵大全21977年：研制成功国内第一台立式F450涡轮分子泵，通过科学院鉴定。1983年：F110涡轮分子泵通过中科院鉴定，首批应用于正负电子对撞机。1986年：FF500复合型分子泵。1993年：F1500涡轮分子泵，F150检漏仪用涡轮分子泵。2019年：

F3500涡轮分子泵。2000年：

FF620复合分子泵进入市场。一、中科科仪分子泵的发展历程31977年：研制成功国内第一台立式F450涡轮分子泵，通过科2019年：系列防腐蚀分子泵进入市场。2019年：FF1200复合分子泵进入市场。2019年：系列任意角度安装分子泵进入市场。2019年：抗冲击（整体涡轮转子）分子泵。2019年：FF700任意角度安装分子泵。2019年：FD-II电源、FF1600分子泵、FF1300任意角度安装分子泵。2019年：FF1800脂润滑分子泵，1800磁悬浮分子泵样机。一、中科科仪分子泵的发展历程42019年：系列防腐蚀分子泵进入市场。一、中科科仪分子泵的二、分子泵原理、结构分子泵原理分子泵是一种动量型真空获得设备，在分子流态下，气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量，从而使气体分子得到逐级压缩，最后被抽除。5二、分子泵原理、结构分子泵原理5二、分子泵原理、结构

分子泵结构6二、分子泵原理、结构分子泵结构6按抽气特性结构分类涡轮分子泵涡轮级动、静叶列复合型分子泵涡轮级+拖动级按使用特点分类风冷型：中小型分子泵水冷型：中大型分子泵防腐型：抽除腐蚀性气体二、分子泵原理、结构

分子泵结构7按抽气特性结构分类二、分子泵原理、结构分子泵结构7按制造结构分类油润滑脂润滑磁悬浮二、分子泵原理、结构

分子泵结构8按制造结构分类二、分子泵原理、结构分子泵结构8精密的转子制造精密的动、静间隙配合高精度的轴系加工高精度轴承精密的整机平衡可靠的阻尼减振系统高效的变频电机、冷却系统二、分子泵原理、结构

分子泵结构9精密的转子制造二、分子泵原理、结构分子泵结构9连续抽除气体节省能源可获得清洁的真空对被抽气体无选择性，对各种类气体，抽速变化不大起停机时间短振动小，噪音低操作维护方便，免维护周期长复合型分子泵在较高压强工作段仍有较大抽速三、分子泵应用及选型

分子泵特点10连续抽除气体三、分子泵应用及选型分子泵特点10油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。脂润滑分子泵：油脂量极小，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。三、分子泵应用及选型

分子泵特点11油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。三复合型分子泵的特点在1Pa左右的高压强工作段，与同类型的涡轮分子泵比较，有较大的抽速，有利于某些工艺过程。前级耐压能力提高，可配某些类型的干泵，如膜片泵，可缩小前级泵的规格，节省投资。三、分子泵应用及选型12复合型分子泵的特点三、分子泵应用及选型12复合分子泵典型的抽速曲线三、分子泵应用及选型13复合分子泵典型的抽速曲线三、分子泵应用及选型13KYKY分子泵型号及意义F

F-×××/×××

□

特征代号（空、T、N、F、Z……）抽气速率,L/s抽气口通径,mm复合代号分子泵代号三、分子泵应用及选型14KYKY分子泵型号及意义FF-×××/×××KYKY分子泵种类

涡轮泵按结构分复合泵油润滑润滑方式脂润滑风冷冷却方式风水两用泵水冷普通泵功能防腐蚀泵分子泵系列FF160/620CF-100/150FF-250/1800FF-200/1200F-100/110FF-200/1300F-250/1500FF-250/1600F-160/500FF-400/3500FF-160/700三、分子泵应用及选型15KYKY分子泵种类涡轮泵分子泵性能参数、意义及测试抽速：分子泵入口气体的体积流率三、分子泵应用及选型`16分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型`16分子泵性能参数、意义及测试抽速测量装置三、分子泵应用及选型调节阀

G1,DL-7

G2,

DL-7

温度计，T1

分子泵

前级泵温度计，T2

17分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型调节阀G1,分子泵性能参数、意义及测试分子泵的极限压强ISO5302标准中称最低工作压强分子泵加装标准测试罩，经48小时烘烤，降温48小时后，所测得的压强值。

一般说来，分子泵的极限压强范围为：10-4Pa~10-9Pa三、分子泵应用及选型18分子泵性能参数、意义及测试分子泵的极限压强三、分子泵应用及选极限压强测量装置极限压强与入口法兰形式、前级泵种类等有关

G1,真空计分子泵

前级泵温度计，T2分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型19极限压强测量装置G1,真空计分子泵前级泵温度计，T2分子分子泵的压缩比分子泵加装标准测试罩，在泵入口无气载的情况下，所测得的分子泵出口、入口压强之比。分子泵对大分子压缩比比较大对小分子压缩比比较小分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型20分子泵的压缩比分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型分子泵压缩比测量装置

G2,真空计

调节阀

G1,真空计

分子泵

温度计，T2

分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型前级泵21分子泵压缩比测量装置G2,真空计调节阀G1,真空计分最大入口压强分子泵连续工作时所能承受的最高入口压强取决于分子泵的冷却条件，对于风冷一般小于0.1Pa；对于水冷，一般小于5Pa最大可持续前级压强：分子泵连续工作的最高前级压强，一般为十几帕，或几十帕。分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型22最大入口压强分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型2分子泵性能参数、意义及测试其他技术参数

出入口法兰形式、规格入口法兰分LF和CF两种，大小有110、160、200、250和400四种；出口法兰为KF，大小有25、40、50和100四种建议前级泵规格

对于110/150L/s泵，建议采用2~4L前级

对于500~1000L/s泵，建议采用6~12L前级

对于

>1000L/s泵，建议采用>12L前级

冷却条件风冷环境温度<32℃水冷环境温度32℃以上，水温≤25℃三、分子泵应用及选型23分子泵性能参数、意义及测试其他技术参数三、分子泵应用及选型2分子泵的应用一般来讲，分子泵用来获得高，或超高真空。广泛应用于：工业工艺过程（装饰、ITO、PVD、晶振、玻璃镀膜，照明、真空炉排气）仪器、设备科研、军工装备半导体工业三、分子泵应用及选型24分子泵的应用三、分子泵应用及选型24三、分子泵应用及选型25三、分子泵应用及选型25制灯、玻璃镀膜三、分子泵应用及选型26制灯、玻璃镀膜三、分子泵应用及选型26柔性太阳能电池设备三、分子泵应用及选型27柔性太阳能电池设备三、分子泵应用及选型27科研装备三、分子泵应用及选型28科研装备三、分子泵应用及选型28产品的生产与制造过程调试装配入库平衡调试设计加工检测KYKY执行严格的生产流程，保证产品的高品质加工生产流程29产品的生产与制造过程调试装入平衡设加检KYKY执行严分子泵选型及注意事项满足系统的抽气要求，工作节拍在对系统的气载、工作节拍有较清楚计算的基础上，考虑配泵的大小，数量。同时还要考虑到前级泵的大小，以及分子泵在高压强段有效抽速降低等因素。对于大的工作腔室，要考虑配罗茨泵机组，使得系统尽快地渡过高压强工作段三、分子泵应用及选型30分子泵选型及注意事项三、分子泵应用及选型30分子泵选型及注意事项满足系统的本底压强（极限）的要求系统的极限压强除与分子泵的极限压强有关外，与排气时间、腔室材料、法兰连接形式、清洁程度、是否烘烤等诸多因素有关。同一型号的分子泵在极限指标方面有微小差异，差异一般不会高于半个量级。安装方式方面的考虑三、分子泵应用及选型31分子泵选型及注意事项三、分子泵应用及选型31分子泵选型及注意事项注意分子泵正常工作时所需的入口、出口压强等工作条件在高压强段（1Pa左右）需较大排气能力时，可考虑选用复合型分子泵若关心对某种气体的抽除能力（如该种气体的分压强值），还要注意分子泵对该气体的抽速、压缩比等参数。

三、分子泵应用及选型32分子泵选型及注意事项三、分子泵应用及选型32四、分子泵的使用及维护使用——总体安装注意安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网。确认已装入润滑油。安装方向：油绳润滑：竖直、水平；油润滑：竖直方向±5°范围内；脂润滑：任意角度33四、分子泵的使用及维护使用——总体安装注意33使用——油池安装拆下注油油量控制油池卫生，防颗粒对好、对称上紧螺钉，防止有漏四、分子泵的使用及维护34使用——油池安装拆下注油四、分子泵的使用及维护34四、分子泵的使用及维护使用——进出口法兰、冷却水安装泵入口：对正、对称拧紧泵出口：防止错位冷却水：无漏水入口水压0.2MPa水温20±５℃水质澄清无沉淀高真空口对称均匀拧紧高真空口对称均匀拧紧前级拧紧无泄漏循环水不滴漏注意：环境温度风冷需小于32℃;水冷可至40℃入口压强强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa35四、分子泵的使用及维护使用——进出口法兰、冷却水安装泵入口：四、分子泵的使用及维护使用——电缆安装对正槽口插入用螺母拧紧，边插边拧检查到位电缆线拧紧不松动36四、分子泵的使用及维护使用——电缆安装对正槽口插入电缆线拧四、分子泵的使用及维护使用——分子泵启动a.启动条件：连接无误、无漏、冷却、润滑、真空度b.启动时间：同时启动——小系统，防前级泵油上返。延迟启动——系统容积过大,先启动前级泵，至系统压强P=200Pa时，启动分子泵。37四、分子泵的使用及维护使用——分子泵启动a.启动条件：37四、分子泵的使用及维护使用——烘烤a.10-4Pa的真空系统，原则上不必烘烤。b.10-6Pa的真空系统，系统本身需要烘烤。c.最好用分子泵本身附带的加热装置。若要自己缠加热带烘烤，注意温度要小于100℃d.烘烤应在分子泵运转情况下进行。e.烘烤时间>4h。

38四、分子泵的使用及维护使用——烘烤a.10-4Pa四、分子泵的使用及维护使用——振动隔离、冲击防护分子泵振动极小，可直接接于被抽系统。对于高精密仪器的应用（如电子显微镜），建议使用隔振器，以便最大可能的减少振动。冲击防护：高速旋转、间隙很小、柔性支撑机械振动（预抽泵、前级泵、机械动作等）气体振动（气量突变、压强突变）意外振动（掉入异物、碰撞等）注意：没有对泵进行必要防护，容易造成分子泵严重的破坏、甚至碎泵。39四、分子泵的使用及维护使用——振动隔离、冲击防护分子泵振动极使用——振动隔离、冲击防护四、分子泵的使用及维护40使用——振动隔离、冲击防护四、分子泵的使用及维护40四、分子泵的使用及维护使用——振动隔离、冲击防护41四、分子泵的使用及维护使用——振动隔离、冲击防护41四、分子泵的使用及维护使用——振动隔离、冲击防护42四、分子泵的使用及维护使用——振动隔离、冲击防护42四、分子泵的使用及维护使用——大气载、热气体、突变气载a引起问题：温度升高动静片变形转子上移

润滑失效5℃原则轴承失效b.措施：加大水冷增加冷却装置缩短换油时间43四、分子泵的使用及维护使用——大气载、热气体、突变气载a四、分子泵的使用及维护使用——磁场屏蔽旋转的转子在磁场中产生涡电流，将使转子发热，将产生如下问题：转子与定子间隙越来越小，造成碎片；转子温升过大造成磁性电机转子退磁；由于发热会减弱铝材料的强度，造成碎泵；转子发热，改变转子和轴的相对位置，造成碎泵。分子泵在磁场中运转时，径向和轴向磁场强度均不得大于30Gs。原则上，大于30Gs应使用导磁材料屏蔽。44四、分子泵的使用及维护使用——磁场屏蔽旋转的转子在磁场中四、分子泵的使用及维护使用——耐腐蚀泵a.保护性气体b.保护气体的流量16~20sccmc.必须使用防腐油d.开、关机前必须通保护气体45四、分子泵的使用及维护使用——耐腐蚀泵a.保护性气体45备用泵使用注意事宜：更换后问题泵及时返修。46备用泵使用注意事宜：46谢谢大家！47谢谢大家！47谢谢谢谢中科科仪分子泵产品介绍

钱浩

49中科科仪分子泵产品介绍

钱浩0内容中科科仪分子泵发展历程分子泵原理、结构分子泵应用及选型分子泵使用及维护50内容中科科仪分子泵发展历程1分子泵大全

51分子泵大全21977年：研制成功国内第一台立式F450涡轮分子泵，通过科学院鉴定。1983年：F110涡轮分子泵通过中科院鉴定，首批应用于正负电子对撞机。1986年：FF500复合型分子泵。1993年：F1500涡轮分子泵，F150检漏仪用涡轮分子泵。2019年：

F3500涡轮分子泵。2000年：

FF620复合分子泵进入市场。一、中科科仪分子泵的发展历程521977年：研制成功国内第一台立式F450涡轮分子泵，通过科2019年：系列防腐蚀分子泵进入市场。2019年：FF1200复合分子泵进入市场。2019年：系列任意角度安装分子泵进入市场。2019年：抗冲击（整体涡轮转子）分子泵。2019年：FF700任意角度安装分子泵。2019年：FD-II电源、FF1600分子泵、FF1300任意角度安装分子泵。2019年：FF1800脂润滑分子泵，1800磁悬浮分子泵样机。一、中科科仪分子泵的发展历程532019年：系列防腐蚀分子泵进入市场。一、中科科仪分子泵的二、分子泵原理、结构分子泵原理分子泵是一种动量型真空获得设备，在分子流态下，气体分子与高速运动的表面发生碰撞获得一定方向的动量，从而使气体分子得到逐级压缩，最后被抽除。54二、分子泵原理、结构分子泵原理5二、分子泵原理、结构

分子泵结构55二、分子泵原理、结构分子泵结构6按抽气特性结构分类涡轮分子泵涡轮级动、静叶列复合型分子泵涡轮级+拖动级按使用特点分类风冷型：中小型分子泵水冷型：中大型分子泵防腐型：抽除腐蚀性气体二、分子泵原理、结构

分子泵结构56按抽气特性结构分类二、分子泵原理、结构分子泵结构7按制造结构分类油润滑脂润滑磁悬浮二、分子泵原理、结构

分子泵结构57按制造结构分类二、分子泵原理、结构分子泵结构8精密的转子制造精密的动、静间隙配合高精度的轴系加工高精度轴承精密的整机平衡可靠的阻尼减振系统高效的变频电机、冷却系统二、分子泵原理、结构

分子泵结构58精密的转子制造二、分子泵原理、结构分子泵结构9连续抽除气体节省能源可获得清洁的真空对被抽气体无选择性，对各种类气体，抽速变化不大起停机时间短振动小，噪音低操作维护方便，免维护周期长复合型分子泵在较高压强工作段仍有较大抽速三、分子泵应用及选型

分子泵特点59连续抽除气体三、分子泵应用及选型分子泵特点10油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。脂润滑分子泵：油脂量极小，前级配干泵可获得近似无油的清洁真空。全磁悬浮分子泵：无须润滑，与干泵一起使用，可获得无油的清洁真空环境。三、分子泵应用及选型

分子泵特点60油润滑分子泵：润滑油量小，且在前级真空段，对真空室污染小。三复合型分子泵的特点在1Pa左右的高压强工作段，与同类型的涡轮分子泵比较，有较大的抽速，有利于某些工艺过程。前级耐压能力提高，可配某些类型的干泵，如膜片泵，可缩小前级泵的规格，节省投资。三、分子泵应用及选型61复合型分子泵的特点三、分子泵应用及选型12复合分子泵典型的抽速曲线三、分子泵应用及选型62复合分子泵典型的抽速曲线三、分子泵应用及选型13KYKY分子泵型号及意义F

F-×××/×××

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特征代号（空、T、N、F、Z……）抽气速率,L/s抽气口通径,mm复合代号分子泵代号三、分子泵应用及选型63KYKY分子泵型号及意义FF-×××/×××KYKY分子泵种类

涡轮泵按结构分复合泵油润滑润滑方式脂润滑风冷冷却方式风水两用泵水冷普通泵功能防腐蚀泵分子泵系列FF160/620CF-100/150FF-250/1800FF-200/1200F-100/110FF-200/1300F-250/1500FF-250/1600F-160/500FF-400/3500FF-160/700三、分子泵应用及选型64KYKY分子泵种类涡轮泵分子泵性能参数、意义及测试抽速：分子泵入口气体的体积流率三、分子泵应用及选型`65分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型`16分子泵性能参数、意义及测试抽速测量装置三、分子泵应用及选型调节阀

G1,DL-7

G2,

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温度计，T1

分子泵

前级泵温度计，T2

66分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型调节阀G1,分子泵性能参数、意义及测试分子泵的极限压强ISO5302标准中称最低工作压强分子泵加装标准测试罩，经48小时烘烤，降温48小时后，所测得的压强值。

一般说来，分子泵的极限压强范围为：10-4Pa~10-9Pa三、分子泵应用及选型67分子泵性能参数、意义及测试分子泵的极限压强三、分子泵应用及选极限压强测量装置极限压强与入口法兰形式、前级泵种类等有关

G1,真空计分子泵

前级泵温度计，T2分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型68极限压强测量装置G1,真空计分子泵前级泵温度计，T2分子分子泵的压缩比分子泵加装标准测试罩，在泵入口无气载的情况下，所测得的分子泵出口、入口压强之比。分子泵对大分子压缩比比较大对小分子压缩比比较小分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型69分子泵的压缩比分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型分子泵压缩比测量装置

G2,真空计

调节阀

G1,真空计

分子泵

温度计，T2

分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型前级泵70分子泵压缩比测量装置G2,真空计调节阀G1,真空计分最大入口压强分子泵连续工作时所能承受的最高入口压强取决于分子泵的冷却条件，对于风冷一般小于0.1Pa；对于水冷，一般小于5Pa最大可持续前级压强：分子泵连续工作的最高前级压强，一般为十几帕，或几十帕。分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型71最大入口压强分子泵性能参数、意义及测试三、分子泵应用及选型2分子泵性能参数、意义及测试其他技术参数

出入口法兰形式、规格入口法兰分LF和CF两种，大小有110、160、200、250和400四种；出口法兰为KF，大小有25、40、50和100四种建议前级泵规格

对于110/150L/s泵，建议采用2~4L前级

对于500~1000L/s泵，建议采用6~12L前级

对于

>1000L/s泵，建议采用>12L前级

冷却条件风冷环境温度<32℃水冷环境温度32℃以上，水温≤25℃三、分子泵应用及选型72分子泵性能参数、意义及测试其他技术参数三、分子泵应用及选型2分子泵的应用一般来讲，分子泵用来获得高，或超高真空。广泛应用于：工业工艺过程（装饰、ITO、PVD、晶振、玻璃镀膜，照明、真空炉排气）仪器、设备科研、军工装备半导体工业三、分子泵应用及选型73分子泵的应用三、分子泵应用及选型24三、分子泵应用及选型74三、分子泵应用及选型25制灯、玻璃镀膜三、分子泵应用及选型75制灯、玻璃镀膜三、分子泵应用及选型26柔性太阳能电池设备三、分子泵应用及选型76柔性太阳能电池设备三、分子泵应用及选型27科研装备三、分子泵应用及选型77科研装备三、分子泵应用及选型28产品的生产与制造过程调试装配入库平衡调试设计加工检测KYKY执行严格的生产流程，保证产品的高品质加工生产流程78产品的生产与制造过程调试装入平衡设加检KYKY执行严分子泵选型及注意事项满足系统的抽气要求，工作节拍在对系统的气载、工作节拍有较清楚计算的基础上，考虑配泵的大小，数量。同时还要考虑到前级泵的大小，以及分子泵在高压强段有效抽速降低等因素。对于大的工作腔室，要考虑配罗茨泵机组，使得系统尽快地渡过高压强工作段三、分子泵应用及选型79分子泵选型及注意事项三、分子泵应用及选型30分子泵选型及注意事项满足系统的本底压强（极限）的要求系统的极限压强除与分子泵的极限压强有关外，与排气时间、腔室材料、法兰连接形式、清洁程度、是否烘烤等诸多因素有关。同一型号的分子泵在极限指标方面有微小差异，差异一般不会高于半个量级。安装方式方面的考虑三、分子泵应用及选型80分子泵选型及注意事项三、分子泵应用及选型31分子泵选型及注意事项注意分子泵正常工作时所需的入口、出口压强等工作条件在高压强段（1Pa左右）需较大排气能力时，可考虑选用复合型分子泵若关心对某种气体的抽除能力（如该种气体的分压强值），还要注意分子泵对该气体的抽速、压缩比等参数。

三、分子泵应用及选型81分子泵选型及注意事项三、分子泵应用及选型32四、分子泵的使用及维护使用——总体安装注意安装前应检查分子泵运输中是否被损坏。打开泵高真空端法兰盖板，戴好手套，拨动涡轮转子，应转动灵活，无异常现象。安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。确认防护网已安装，特殊情况下定做特殊防护网。确认已装入润滑油。安装方向：油绳润滑：竖直、水平；油润滑：竖直方向±5°范围内；脂润滑：任意角度82四、分子泵的使用及维护使用——总体安装注意33使用——油池安装拆下注油油量控制油池卫生，防颗粒对好、对称上紧螺钉，防止有漏四、分子泵的使用及维护83使用——油池安装拆下注油四、分子泵的使用及维护34四、分子泵的使用及维护使用——进出口法兰、冷却水安装泵入口：对正、对称拧紧泵出口：防止错位冷却水：无漏水入口水压0.2MPa水温20±５℃水质澄清无沉淀高真空口对称均匀拧紧高真空口对称均匀拧紧前级拧紧无泄漏循环水不滴漏注意：环境温度风冷需小于32℃;水冷可至40℃入口压强强制风冷<0.1Pa;自然风冷<0.01Pa84四、分子泵的使用及维护使用——进出口法兰、冷却水安装泵入口：四、分子泵的使用及维护使用——电缆安装对正槽口插入用螺母拧紧，边插边拧检查到位电缆线拧紧不松动85四、分子泵的使用及维护使用——电缆安装对正槽口插入电缆线拧四、分子泵的使用及维护使用——分子