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文档简介
PCB流程-图形电镀&蚀刻第一页,共26页。※制程目的加厚线路及孔内铜厚,使产品到达客户要求图形电镀制程目的第二页,共26页。图形电镀工艺流程※工艺流程
上板→除油→水洗→微蚀→水洗→酸浸→镀铜→水洗→酸浸→镀锡→水洗→下板→退镀→水洗→上板第三页,共26页。图电工序主要工艺参数流程主要药水成分主要工艺参数作用除油AcidCleanerACD(ATO)操作温度:28-32℃、操作时间:3-5min、浓度:15%-20%清洁板面微蚀NPS(过硫酸钠)+H2SO4操作温度:24-28℃、操作时间:1-2min、微蚀速率:0.7-1.3um/cycle去除氧化物、粗化铜面酸浸H2SO4操作温度:室温、操作时间:0.5-1min、浓度:7%-12%去除轻微氧化及维持药水浓度镀铜CuSO4、Cl-、H2SO4、光剂操作温度:22-27℃、镀铜时间:86min或更长加厚铜镀锡SnSO4、H2SO4、光剂操作温度:18-22℃、镀锡时间:10min或更长镀锡为碱性蚀刻提供抗蚀层退镀HNO3操作温度:室温、退镀时间:5-8min去除电镀夹具上的镀铜第四页,共26页。流程详解※除油〔AcidClean)1、流程目的:清洁铜面,去除上工序的残膜及人手接触后的指印等油性污垢〔使用酸性溶液,以免使干膜受损〕。2、主要成分:AcidCleanerACD(ATO)3、操作温度:28-32℃4、处理时间:3-5min第五页,共26页。流程详解※微蚀〔MicroEtch)1、流程目的:除去铜面上的氧化物,粗化铜面,进步镀层结合力。2、主要成分:过硫酸钠、硫酸3、操作温度:24-28℃4、处理时间:1-2min第六页,共26页。流程详解※镀铜预浸〔Pre-dipforCuPlate)1、流程目的:用稀硫酸除去铜外表的细微氧化;维持镀铜缸之酸度,减小镀铜缸成份的变化。2、主要成分:硫酸3、操作温度:室温4、处理时间:第七页,共26页。流程详解※镀铜〔CopperPlate)1、流程目的:在酸性硫酸铜镀液中,铜离子不断的得电子被复原为金属铜,沉积在板面及镀铜孔内,直至到达所需的厚度。2、主要成分:硫酸、硫酸铜、氯离子、Brightener125T-2(R&H)、Carrier125-2(R&H)3、操作温度:22-27℃4、处理时间:86min第八页,共26页。流程详解※镀锡预浸〔Pre-dipforTinPlate)1、流程目的:用稀硫酸除去铜外表的细微氧化;维持镀锡缸之酸度,减小镀锡缸各主要成分变化。2、主要成分:硫酸3、操作温度:室温4、处理时间:第九页,共26页。流程详解※镀锡〔TinPlate)1、流程目的:在酸性硫酸亚锡镀液中,亚锡离子不断的得电子被复原为金属锡,沉积在已经镀铜的板面及孔内,直至到达所需的厚度。2、主要成分:硫酸、硫酸亚锡ECPartA(R&H)ECPartB(R&H)3、操作温度:18-22℃4、处理时间:10min或更长第十页,共26页。流程详解※夹具退铜〔RackStrip)1、去除电镀夹具上的镀铜,方便下一循环的电镀进展。2、主要成分:硝酸3、操作温度:室温4、处理时间:5-8min第十一页,共26页。图形电镀设备第十二页,共26页。待图电的板第十三页,共26页。图电后的板第十四页,共26页。蚀刻工序※制程目的蚀掉非线路铜〔底铜和板电层〕,获得成品线路图形,使产品到达导通的根本功能。第十五页,共26页。蚀刻工艺流程※工艺流程
退膜→水洗→蚀刻→水洗→退锡→水洗→烘干第十六页,共26页。蚀刻工序主要工艺参数流程主要药水成分主要工艺参数作用退膜NaOH浓度:1.8%-3.0%操作温度:28-50℃速度:2.0-4.0m/min压力:2.0-2.5bar退掉干膜蚀刻CuCl2NH4ClNH4Cl比重:1.170-1.190操作温度:48-52℃速度:2.0-5.0m/min压力:1.5-3.3bar蚀掉非线路铜层退锡SS-188(HNO3)总酸度:3.8-4.5N操作温度:20-38℃速度:2.0-4.0m/min压力:1.8-2.2bar退掉抗蚀层-镀锡层第十七页,共26页。流程详解※退膜退膜制程所使用的化学药液以NaOH为主,药液浓度在1-3%左右〔重量比〕,槽液温度在30-50℃左右。之所以采用NaOH作为退膜药液主要是因为其对已硬化的干膜有较好的溶解性能,且价格低廉。第十八页,共26页。流程详解※碱性蚀刻1、组成:蚀刻液以氯化铜、氯化铵和氨水配成。2、蚀刻原理:在氯化铜溶液中参加氨水,发生络合反应:CuCL2+4NH3→Cu(NH3)4CL2在蚀刻过程中,板面上的铜被[Cu(NH3)4]2+络离子氧化,反响如下:Cu(NH3)4CL2+Cu→2Cu(NH3)2CL2第十九页,共26页。流程详解3、蚀刻药水的再生:Cu(NH3)2CL2为Cu+的络离子,不具有蚀刻才能,在有过量NH3和CL-的情况下,能很快地被O2所氧化,生成具有蚀刻才能的[Cu(NH3)4]2+络离子,反响如下:2Cu(NH3)2CL2+2NH4CL+2NH3+1/2O2→2Cu(NH3)4CL2+H2O第二十页,共26页。流程详解※退锡1、药水类型:硝酸型:放热细微、沉淀较少、不腐蚀环氧树脂外表、腐蚀铜基体少、板面光亮。2、反响原理:4HON3+Pb+OX
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