扩散炉常见故障及维护

扩散炉常见故障及维护Tempress扩散炉1TUBE尾气压力偏高检查尾气管是否被偏磷酸堵塞检查尾气压力控制器是否损坏或需要重新校正检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否关闭2TUBE尾气压力偏低检查炉管是否存在缺口或裂口检查炉门是否关闭不良检查炉门是否被偏磷酸腐蚀或磨损检查进入炉管的氮气气管或接头是否漏气检查进入尾气压力控制器的氮气调节阀是否调大3各气路流量异常检查气路阀的气路气管或接头是否漏气检查气路阀气是否损坏检查气路流量计是否工作正常4部分制程中PaddleTC温度偏高或偏低检查随温度升高，加热区的输入功率是否正常，如果有波动，可让工艺做profiling检查SpikeTC是否与炉管接触良好5全制程中PaddleTC温度较高或显示1499度检查PaddleTC接头是否接触不良检查paddleTC是否损坏6DMC通迅错误检查CPU模块错误指示灯是亮起在手动情况下确认各个电机和Sense是否正常检查各个电机到DMC的电缆是否损坏7在制程中卡桨检查电机是否损坏检查传动部分是否工作正常(丝杆和轴承)检查电机到DMC的电缆是否接触不良或断裂8炉管无法升温检查温度控制器是否警报9R2D机械手在自动或Home中不移动检查控制Y轴的保险丝是否烧断10R2D机械手在自动无法从桨上取舟检查工艺制程是否完成在R2D屏幕中检查输入输出通迅是否正常检查R2D机械手的触点开关是否工作正常检查Shuttle上的触点开关是否工作正常11机械手在自动中无法从Shuttle上取舟在R2D机械手屏幕中检查炉管的状态(必要时清除)检查R2D机械手的触点开关是否工作正常在R2D屏幕中检查输入输出通迅是否正常48所扩散炉

1按下进舟按钮时,将不移动检查将是否后退太多导致限位触点压下48所恒温槽1警报灯这,显示ER.01检查温度传感器是否断线,异常2警报灯这,显示ER.03检查恒温槽电压是否异常检查加热丝是否断线3警报灯这,显示ER.19（温度过升）检查循环泵是否卡死检查冷却器是否损坏4警报灯这,显示ER.20（空烧异常）检查水位是否不够（适当水位是从顶部往下约3MM）检查浮动开关是否卡死或损坏TEMPRESS基本结构1.DTC 7.Furnace，Spike2.DPC 8.Powersupply3.DMC 9.Bubblersystem4.Touchscreen 10.温控装置5.Paddle 11.Fan6.GasDTC数据处理模块DPC---整个炉管数据的处理DMCFurnaceSpike

Bubblersystem

起给POCL3加热保温作用，一定要用1.5升的标准瓶自动温控器装置可以设定最高温度，控制炉管过温Fan伺服单元的设置目的:当出现boatfused的警报或各伺服系统不正确运动时,我们需要对DMC(digitalmotorcontroller)进行初使化.当炉管在每次清洗后,为了避免因炉管位置的变动导致DMC错误,要求在每次装管时对DMC进行初使化.步骤:一.清除CPU模块内存

1.将桨的位置定在home位(舟出) 2.等侍炉门关闭

3.将自动、手动开关设为手动模式

4.将CPU模块旋转开关转到0位

5.关闭该炉管的控制电源

6.等待至少10秒钟

7.打开控制电源

8.等待至少10秒钟

9.再次关闭该炉管的控制电源

10.将CPU模块旋转开关转到7位

11.打开控制电源

这时,当DMC模块启动后,在Servodriverstatus界面，三个伺服电机的“PositionValid”和“Calibrated”均显示为NO

1－CPU模

2－电机驱动单元

3－Interface板二．各个伺服单元位置的校正1.当清除CPU模块内存后,扩散炉会自动自动执行校准，炉门和桨的上升下降伺服电机会自动运行，确认当前的位置,这时door和haight两个伺服电机的“PositionValid”和“Calibrated”均显示为YES.2.当炉门同桨上升下降位确认后,请确认桨是否有前进,如果没有,请选择第九号test程序.3.将test程序桨的到达位置更改为2550mm,执行该程序．炉门会自动打开并且桨会起进入炉管内，到达endsensor位置.完成程序．4.将test程序桨的到达位置更改为10mm，执行该程序．桨将返回homesensor位置，炉门关闭，完成loader位置的校准．在校正完成后，请确认所有“PositionValid”和“Calibrated”的值均应该显示为YES.排气压力控制设定1.Checkfacilityexhaustpressuretobebetterthan-150Pa(or15mmH2O)2.Checkcertificationsaresetto*EXHAUSTwithrange-200to+800Paforthedesiredanaloguechannel3.Check*EXHAUSTMFCinterlockissettoatm/pressure4.CheckPIDvalues(P=50I=30D=0.8)5.CheckcertificationsaresetforinternalpressurecontrolinDPCtubeconfiguration6.Givethepressurecontrolasetpointof-200pa7.关闭给Baratron供应氮气的阀门8.关闭所有的气体流量9.打开炉门10.调节Baratron上的zero,在屏幕上观察压力数值变化，使其读数为-2pa11.调节给Barareon供应氮气的节流阀，使其读数显示为+1pa12.关闭炉门Baratron氮气的节流阀保压设定当炉管清洗并且安装完成后,重新对DMC初使化,在初使化完成后,需要对炉管的密封性进行检测.

选择TEST程序,设置当前氮气流量为6SLM,将排气压力设置为5Pa,在炉门完全关闭后,运行该程序.

这时,炉内压力会逐渐升高，并且维持在5Pa．如果压力无法保持稳定或低于当前设定值，表示炉管密封性不好，需要重新检测所有接口，各路阀门以及炉门情况．也可以将当前氮气流量为6SLM,将排气压力设置为5Pa,运行程序,压力应该不低于80Ｐa如果压力低于当前设定值，首先重新检测所有接口，各路阀门以及炉门情况．在确认无误后，这时就需要我们调整SoftContactLoaderDoor.调整SoftContactLoaderDoor的目的是使用手柄将门完全打开、关闭的位置确认下来.并且重新调整Sensor的位置,确保门可以完全关闭,没有间隙.在每次重新安装炉管后,我们无法确保炉管的安装位置完全不变.在安装完成后,CPU模块内存清除后的校正并不能确认当前炉管的位置是否改变,而是仅仅使用Sensor的位置来确认当前位置.在这种情况下,有可能所有的Sensor都有完全感应到，但是炉门却没有完全闭合．炉门Sensors状态