真空机器人通信协议手册

真空直驱机器人串口通信协议手册 真空直驱机器人串口通信协议手册直驱真空机器人通信协议手册松机器人自动化股份概要个分类。手册中说明白通信协议的具体格式。通信接口物理接口RS232方式通信参数19200bps校验：无8通信命令3.13.1通信格式四类通信命令0x0D字符通信命令+0x0d结尾通信命令汇总GOTOHALTHLLOHOMELFTSTMOVEPICKPLACERESETRELEASEXFER

3.2通信命令汇总ActionCommand从一个特定位置运动到另一个位置Background模式下，该命令使机器人停顿全部的运动测试通信是否正常对机器人状态进展检测轴被指定，每次移动一个轴向使机器人从一个特定的工位和槽位取出晶片执行对机器人程序的软件复位释放对机器人的伺服掌握使机器人把晶片从一个工位传输到另一个工位OperationalInterlockCommandMAP IO的映射真空直驱机器人串口通信协议手册真空直驱机器人串口通信协议手册REMOVEIORQINTLCKRQIOMAPRQIOSTATERQSTNOPTIONSETINTLCKSETSTNOPTIONSTORESTNOPTIONRQBGRQCPTRRQCOMMRQIOECHORQLOADRQLOADMODERQPOSABSRQPOSDSTRQROBOTAPPLICRQRTRCT2RQRVSNRQSTNRQVERSIONRQWHOSETIOECHOSETLOADSETLOADMODESETRTRCT2SETSTNSTOREIOECHOSTORELOADMODESTORERTRCT2STORESTN

删除一个了已经映射了的IO配置IO映射查询全部输入输出IO的状态查询工位的参数设置设置工位参数存储工位参数RequestCommands查看后台任务状态显示当前位置数据查询通讯参数显示串口通讯回显参数查询装载显示类型查询机器人序列号software查询版本SetCommands设置工位参数StoreCommands存储机器人取放的二次缩回值存储工位配置参数通信命令格式GOTO功能：从一个特定位置运动到另一个位置格式：GOTONstation[R(EX|RE)][Z(UP|DN)][SLOTnum[[ARM]arm]参数：station1-30，“N”字段不行省略。轴方向动作，RX为伸展，EX为收缩。Z(UP|DN):指定手臂在垂直方向动作，UP为上升，DN为下降。SLOTnum:存放晶圆的槽位。ARM默认备注：R、Z、SLOT三个可选参数至少指定一个，否则报错。举例：GOTON1ZDOWNSLOT1ARMBGOTON2REXZDOWNSLOT1ARMBHALT格式：HALTHALTHLLO格式：HLLO应答：HelloHOME格式：HOME[ALL][R][T][Z]参数：ALL:指定全部轴的参考位置R:指定在R轴方向的参考位置Z:指定在Z轴方向的参考位置举例：HOMEALLHOMERHOMETHOMEZLFTST格式：LFTST举例：LFTSTMOVE 真空直驱机器人串口通信协议手册 真空直驱机器人串口通信协议手册个轴向。格式：MOVE[R|T|Z][ABS|REL]value[[ARM]arm]参数：R|T|Z:指定要移动的轴向，至少指定一个轴。ABS|REL:指定目标值是确定还是相对值，至少指定一种模式。value：在相对模式中，指定距离值；在确定模式中，指定的是特定点。ARMarm：AB手臂，“ARM”不行省略。A手臂。举例：MOVETREL100ARMBPICK格式：PICKstation[SLOTslot[[ARM]arm]参数：station:指定的工位号，范围为1-30。SLOTslot:指定从哪个槽位中取。ARMarm:AB手臂。备注：假设未指定工位号，系统报错，槽位号不指定默认为1，手臂不指定默认为A手臂。举例：PICK2SLOT2ARMAPLACE格式：PLACEstation[SLOTslot[[ARM]arm]参数：station:指定的工位号，范围为1-30。SLOTslot:指定从哪个槽位中取。ARMarm:AB手臂。备注：假设未指定工位号，系统报错，槽位号不指定默认为1，手臂不指定默认为A手臂。举例：PLACE2SLOT2ARMBRESET格式：RESET举例：RESETRELEASE格式：RELEASERELEASEXFER格式：XFER[[ARM]armstation-astation-b参数：ARMarm:指定A手臂或B手臂，默认为A手臂，当用B手臂时必需制定。“ARM”字段不行省略。station-a:做取出动作的工位，范围1-30。1-30。举例：XFERARMA17MAP功能：指定一个从名字到物理IO的映射。格式：MAP[name][WAF_SEN|SBIT_SVLV_SEN|EX_ENABLE|RETRACT_PIN][HI|LOW]TO[DIGITAL_IN|DIGITAL_OUT]io_num]参数：name:指定一个特定的名字，最大为20个字符。type:指定IO的类型，可选参数为WAF_SEN、SBIT_SVLV_SEN、EX_ENABLE、RETRACT_PIN之一。characteristic:指定IO的状态，可选参数为HI或LOW。io_name:指定IO设备的物理特性，数字输入或数字输出，可选参数为DIGITAL_IN或DIGITAL_OUTio_num:指定实际要映射的物理IO地址，用十进制指定，系统不识别“0x”开头的字符。举例：MAPSTN_2_WAFRETRACT_PINHITODIGITAL_IN1MAPSTN_1_WAFWAF_SENHITODIGITAL_IN2MAPSTN_3_WAFWAF_SENHITODIGITAL_IN3REMOVEIO格式：REMOVEIOio_name参数：io_name:最大20个字符，为使用MAP命令时所指定的MAP名字。ThenameassignedtophysicalI/OusingtheMAPcommand.举例：REMOVEIOSTN_3_WAF真空直驱机器人串口通信协议手册真空直驱机器人串口通信协议手册RQINTLCKInterlock的状态格式：RQINTLCK[ALL][WAF_SEN|TZ]举例：RQINTLCKWAF_SEN备注：[ALL][WAF_SEN|TZ]至少存在一个参数，否则报错。应答：statemodestate:Y=晶片传感器使能N=晶片传感器制止mode：ON=机器人在Z轴运动之前执行T轴运动OFF=机器人同时执行T轴和Z轴运动举例：RQINTLCKWAF_SENRQIOMAPIO映射格式：RQIOMAP[ALL|name]ALLIO映射名字举例：RQIOMAPSTN_1_WAFIOMAPSTN_1_WAFWAF_SENHIGHDIGITAL_IN1RQIOSTATE格式：RQIOSTATE[io_name]参数：io_name，IO映射名字。举例：RQIOSTATESTN_1_WAFSTATESTN_1_WAFWAF_SENNOT_BLOCKEDRQSTNOPTION功能：查询工位的参数设置格式：RQSTNstation[[ARM]arm]OPTION[WAF_SEN(EX|RE)|SBIT_SVLV_SEN|EX_ENABLE|RETRACT_PIN]WAF_SEN(EX|RE)SBIT_SVLV_SENEX_ENABLERETRACT_PIN四选一应答：STNstationOPTIONsensornamestatestation：工位号sensor：传感器类型，四种之一。name：传感器所指定名字，假设没有，返NONE。State：BLOCKED=晶圆遮挡传感器CLEAR=传感器未被遮挡举例：RQSTN1ARMAOPTIONWAF_SENEXSETINTLCKInterlock的状态格式：SETINTLCK[WAF_SEN(Y|N)[TZON|OFF)]Y=晶片传感器使能N=晶片传感器制止ON=机器人在Z轴运动之前先执行T轴运动OFF=机器人同时执行T轴和Z轴运动举例：SETINTLCKWAF_SENNSETSTNOPTION功能：设置工位参数格式：SETSTNstation[[ARM]armOPTION[WAF_SENEXname|REname|SBIT_SVLV_SENname|RETRACT_PINname|EX_ENABLEname]参数：EXname|REname):指定在当前工位下的晶圆传感器名字SBIT_SVLV_SENname：指定在当前工位下槽位值感器名字RETRACT_PINname：指定在当前工位下Retract传感器名字EX_ENABLEname：指定在当前工位下Extend传感器名字举例：SETSTN4AOPTIONWAF_SENEXSTN_4_WAFR_SENSTORESTNOPTION功能：存储工位参数格式：STORESTNstation[[ARM]armOPTION[ALL|SBIT_SVLV_SEN|RETRACT_PIN|[WAF_SEN(RE|EX)]|EX_ENABLE]参数：station:工位号，范围1-30。ARMarm:AB手臂举例：STORESTN4ARMAOPTIONALLSTORESTN4ARMAOPTIONWAF_SENEXSTN_4_WAFR_SENRQBG格式：RQBG应答：BGstatuserror参数：status:N–无活动的后台任务Y–有活动的后台任务error:当前的错误吗，无错误码则显示“0000”。举例：RQBGBGN2204RQCPTR格式：RQCPTRsensor 真空直驱机器人串口通信协议手册举例：RQCPTR1CPTRT1000000T2000000Z000018RQCOMM功能：查询通讯参数格式：RQCOMM[([M/B|FLOW|LF|ECHO|CHECKSUM|DREP|ERRORLEVEL|BAUDRATE)]应答：COMMmodeflowlinefeedechochksumdata_reperrorlevelbaudrate参数：ALL:报告全部选项mode:报告通讯模式MON监控模式PKT数据包模式(_RDY)flow:报告命令执行类型SEQ序列模式BKG后台模式BKG+后台加强模式报告linefeed状态ON使能OFF制止echo:报告回显设置ON回显使能OFF回显制止checksum:报告校验设置ON使能OFF制止数据报告标志，兼容VT5AUT自动模式REQ恳求应答模式errorlevel:错误显示等级1-5自动模式baudrate:波特率.举例：RQCOMMM/BCOMMMONERRORLEVELBAUDRATE暂不支持查询RQIOECHO格式：RQIOECHO应答：InMonitorMode:ECHOSTATUS[Y|N]真空直驱机器人串口通信协议手册InPacketMode:IO[Y|N]参数：status:Y指定回显选项开N指定回显选项关MonitorMode:监控模式PacketMode:数据包模式举例：RQIOECHOECHOSTATUSNRQLOAD功能：查询指定手臂装载状态格式：RQLOAD[[ARM]arm]应答：LOADarm]status参数：arm:指定手臂A或Bstatus:供给特定手臂的装载状态ON=末端手指有装载OFF=末端手指无装载?=UNKNOWN手臂无法检测是否有装载举例：RQLOADARMALOADAONRQLOADMODE格式：RQLOADMODE参数：type: 装载模式类型BI=两种状态，ON或OFFTRI=三种状态，ON、OFF或？举例：RQLOADMODERQPOSABS格式：RQPOSABS[[ARM]arm][R][T][Z]或RQPOSABS[[ARM]arm]ALL 真空直驱机器人串口通信协议手册参数：ALL:指定全部轴的参考位置R:指定在R轴方向的参考位置Z:指定在Z轴方向的参考位置应答：POSABS[r-location][t-location][z-location]或POSABSr-locationt-locationz-location举例：RQPOSABSAALLPOSABSR0.000T0.000Z0.010RQPOSDST格式：RQPOSDST[[ARM]arm][R][T][Z]或RQPOSDST[[ARM]arm]ALL参数：ALL:指定全部轴的参考位置R:指定在R轴方向的参考位置Z:指定在Z轴方向的参考位置应答：POSDST[[ARM]arm][r-destination][t-destination][z-destination]或POSDST[[ARM]arm]r-destinationt-destinationz-destination举例：RQPOSDSTALLPOSDST17500318100721032RQROBOTAPPLIC功能：查询机器人序列号格式：RQROBOTAPPLIC应答：SIASUN-GRC-4.2-4RQRTRCT2格式：RQRTRCT2应答：value二次缩回值offset的举例：真空直驱机器人串口通信协议手册真空直驱机器人串口通信协议手册RQRTRCT20.000RQRVSN功能：查询软件版本号software格式：RQRVSNSIASUN-GRC-4.2-4RQSTN功能：查询工位配置参数格式：RQSTNstation[[ARM]arm([R][T][Z][LOWER][NSLOTS][PITCH])或RQSTNstation[[ARM]arm]ALL参数：ALL:查询R,T,Z,LOWER,NSLOTS,和PITCHstation:工位号ARMarm:手臂A或Blower:运输手取片的升降距离n-slots:槽位号pitch:槽位之间的高度举例：RQSTN5ARMAALLSTN0001A06750001800000325000050000001000000RQVERSION功能：查询版本格式：RQVERSIONSIASUN-GRC-4.2-4RQWHOfirmware格式：RQWHOSIASUN-GRC-4.2-4SETIOECHO格式：SETIOECHOstatusstatus:Y指定回显选项开N指定回显选项关举例：SETIOECHOYSETLOAD功能：设置指定手臂装载状态格式：SETLOAD[[ARM]arm]status参数：arm:指定手臂A或Bstatus:供给特定手臂的装载状态ON=末端手指有装载OFF=末端手指无装载举例：SETLOADARMAONSETLOADMODE功能：设置装载模式显示类型格式：SETLOADMODE[BI|TRI]参数：BI=两种状态，ON或OFFTRI=三种状态，ON、OFF或？举例：SETLOADMODETRISETRTRCT2格式：SETRTRCT2value应答：value二次缩回值PICKPLACEoffset的状况SETSTN功能：设置工位参数格式：SETSTNstation[[ARM]arm]([Rr-loc][Tt-loc][Zbto][LOWERlower][NSLOTSslots][PITCHpitch])或SETSTNstation[[ARM]arm]ALLr-loct-locbtolowerslotspitch参数：ALL:指定r-loc,t-loc,bto,lower,slots,和pitchstation:工位号arm:手臂A或Bt-locT轴方向旋转参数bto:Z轴方向升降参数lower:取片的升降距离slot:槽位号pitch:槽位之间的距离SETSTN4AALL468432700020020010ALL，其他参数不用设置。STOREIOECHO格式：STOREIOECHOSTORELOADMODE格式：STORELOADMODESTORERTRCT2格式：STORERTRCT2PICKPLACEoffset的状况STORESTN格式：STORESTNstation[[ARM]arm][R][T][Z][LOWER][NSLOTS][PITCH]orSTORESTNstation[[ARM]arm]ALL参数：ALL:指定r-loc,t-loc,bto,lower,slots,和pitchstation:工位号arm:手臂A或BR:R轴方向伸缩参数T:T轴方向旋转参数Z:Z轴方向升降参数LOWER:取片的升降距离参数NSLOTS:槽位号参数PITCH:槽位之间的距离参数举例：STORESTN5ARMAALLSTORESTN4ARMARTZLOWERNSLOTSPITCHALL，其他参数不用设置。 真空直驱机器人串口通信协议手册通信错误提示51005101510251035104510551065107510851095110511151125113