标准解读

《GB/T 11093-1989 液封直拉法砷化镓单晶及切割片》是中国一项关于液封直拉法制备砷化镓单晶及其切割片的标准。此标准详细规定了砷化镓单晶的制备方法、技术要求、检验规则以及标志、包装、运输和储存条件，旨在确保砷化镓材料的质量可控性和一致性，适用于使用液封直拉技术生长的砷化镓单晶及其切割片。

标准内容要点包括：

  1. 范围：明确了本标准适用的产品范围，即通过液封直拉法制得的砷化镓单晶及其切割片，为相关产品的生产和检验提供了依据。

  2. 术语和定义：对标准中涉及的专业术语进行了解释和界定，帮助读者理解标准的具体内容。

  3. 分类与标记：规定了砷化镓单晶及切割片的分类方法和产品标记规则，便于识别和区分不同规格、级别的产品。

  4. 技术要求：

    • 材料要求：对用于生长砷化镓单晶的原料纯度、杂质含量等有具体规定。
    • 生长工艺：描述了液封直拉法制备过程中关键参数如温度、拉速、气氛控制等的技术要求。
    • 物理性能：规定了砷化镓单晶的尺寸、形状、晶体质量（如位错密度）、电学性质（如电阻率）等指标。
    • 切割片质量：包括切割片的平整度、厚度公差、表面洁净度等要求。

  5. 试验方法：详细说明了如何通过各种检测手段来验证砷化镓单晶及其切割片是否满足上述技术要求，如X射线衍射分析晶体结构、四探针法测量电阻率等。

  6. 检验规则：规定了产品出厂前应进行的检验类型（如全检、抽检）、抽样方案及不合格品的处理方式。

  7. 标志、包装、运输和储存：要求产品在包装上需清晰标注相关信息，并对包装材料、方式、运输条件及储存环境做出具体规定，以防止产品在流转过程中受损。


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  • 被代替
  • 已被新标准代替，建议下载现行标准GB/T 11093-2007
  • 1989-03-31 颁布
  • 1990-03-01 实施
©正版授权
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文档简介

UDC661.868.146-415H81中华人民共和国国家标准GB11093-89液封直拉法砷化掠单晶及切割片Liquidencapsulatedczochralski-growngalliumarsenidesinglecrystalsandAs-cutslices1989-03-31发布1990-03-01实施国家技术监督局发布

中华人民共和国国家标准液封直拉法砷化家单晶及切割片GB11093-89Liauidencapaulatcdczochralsiki-rownealltumarcnidesinglecrystalsandAs-cutsliccs主题内客与适用范图本标准规定了波封直拉法砷化镖单品及切割片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则等。本标准适用于液封直拉法制备的砷化家单品及其切割片。产品供制作光电器件、微波器件和传感元件等元器件用。2引用标准GB4326非非本征半导体单品蛋尔迁移率和霍尔系数测量方法GB8759化化合物半导体单品晶向×射线衍射测量方法GB8760神化家单品位错密度测量方法产品分类3.1导电类型产品按导电类型分为N型和P型，按电阻率分为低阻导电型和高阻半绝缘型。以掺杂剂、教流子浓度和迁移率分类，按位错密度分级。3.2牌号单晶及切割片的牌号分别表示为LECMGAAS阿拉伯数字与罗马数字组合表示产品的等级与等次北化学元素符号表示掺杂剂。有两种掺杂剂时，元素符号之间用“十”连接表表示液封直拉法砷化镖单品中国

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