GB/T 18994-2014电子工业用气体高纯氯

ICS7110020

G86..

中华人民共和国国家标准

GB/T18994—2014

代替

GB/T18994—2003

电子工业用气体高纯氯

Gasesforelectronicindustry—Highpuritychlorine

2014-12-22发布2015-07-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T18994—2014

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准代替电子工业用气体高纯氯与相比除编辑

GB/T18994—2003《》。GB/T18994—2003,

性修改外主要技术内容变化如下

:

修改了范围见第章年版的第章

———(1,20031);

修改了规范性引用文件见第章年版的第章

———(2,20032);

修改了技术要求见第章年版的第章

———(3,20033);

修改了抽样判定见年版的第章

———、(4.1,20035);

删去了取样装置的规定年版的

———(20034.1);

修改了氧氮一氧化碳二氧化碳烃含量的测定方法见年版的

———、、、、(4.3,20034.3、4.4);

增加了氢含量的测定方法见

———(4.3);

修改了水分含量的测定方法见年版的

———(4.4,20034.5);

增加了金属元素含量的测定方法见

———(4.5);

修改了标志包装贮运及安全见第章年版的第章

———、、(5,20036、7)。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本标准起草单位西南化工研究设计院有限公司光明化工研究设计院有限公司佛山市华特气体

:、、

有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司太和气体荆州有限公司上海仪盟科技有限公司

、、()、。

本标准主要起草人周鹏云常侠廖恒易方华刘新明汪正宏杨任

:、、、、、、。

本标准所代替标准的历次版本发布情况为

:

———GB/T18994—2003。

Ⅰ

GB/T18994—2014

电子工业用气体高纯氯

1范围

本标准规定了高纯氯的技术要求试验方法检验规则及包装标志运输和储存

、、、、。

本标准适用于以工业液氯为原料采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品该产品主要用于大规

,。

模集成电路光导纤维高温超导平板显示器太阳能等技术领域

、、、、。

分子式

:Cl2。

相对分子质量按年国际相对原子质量计算

:70.90(2009)。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

危险货物包装标志

GB190

工业用化学产品采样安全通则

GB/T3723

钢质无缝气瓶

GB5099

气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GB/T5832.33:

气瓶颜色标志

GB7144

氯气安全规程

GB11984

液化气体气瓶充装规定

GB14193

化学品安全标签编写规定

GB15258

气瓶警示标签

GB16804

特种气体储存期规范

GB/T26571

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726—2012

气瓶安全监察规程版

(2000)

危险化学品安全管理条例版

(2002)

特种设备安全监察条例版

(2009)

3技术要求

高纯氯的技术要求应符合表的要求

1。

表1技术指标

项目指标

氯纯度体积分数-2

()/10≥99.99999.9995

氢含量体积分数-6

(H2)()/10<0.50.5

氧含量体积分数-6

(O2)