- 现行
- 正在执行有效
- 2014-12-22 颁布
- 2015-07-01 实施
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文档简介
ICS7110020
G86..
中华人民共和国国家标准
GB/T18994—2014
代替
GB/T18994—2003
电子工业用气体高纯氯
Gasesforelectronicindustry—Highpuritychlorine
2014-12-22发布2015-07-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局发布
中国国家标准化管理委员会
GB/T18994—2014
前言
本标准按照给出的规则起草
GB/T1.1—2009。
本标准代替电子工业用气体高纯氯与相比除编辑
GB/T18994—2003《》。GB/T18994—2003,
性修改外主要技术内容变化如下
:
修改了范围见第章年版的第章
———(1,20031);
修改了规范性引用文件见第章年版的第章
———(2,20032);
修改了技术要求见第章年版的第章
———(3,20033);
修改了抽样判定见年版的第章
———、(4.1,20035);
删去了取样装置的规定年版的
———(20034.1);
修改了氧氮一氧化碳二氧化碳烃含量的测定方法见年版的
———、、、、(4.3,20034.3、4.4);
增加了氢含量的测定方法见
———(4.3);
修改了水分含量的测定方法见年版的
———(4.4,20034.5);
增加了金属元素含量的测定方法见
———(4.5);
修改了标志包装贮运及安全见第章年版的第章
———、、(5,20036、7)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口
(SAC/TC203)。
本标准起草单位西南化工研究设计院有限公司光明化工研究设计院有限公司佛山市华特气体
:、、
有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司太和气体荆州有限公司上海仪盟科技有限公司
、、()、。
本标准主要起草人周鹏云常侠廖恒易方华刘新明汪正宏杨任
:、、、、、、。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为
:
———GB/T18994—2003。
Ⅰ
GB/T18994—2014
电子工业用气体高纯氯
1范围
本标准规定了高纯氯的技术要求试验方法检验规则及包装标志运输和储存
、、、、。
本标准适用于以工业液氯为原料采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品该产品主要用于大规
,。
模集成电路光导纤维高温超导平板显示器太阳能等技术领域
、、、、。
分子式
:Cl2。
相对分子质量按年国际相对原子质量计算
:70.90(2009)。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件
。,()。
危险货物包装标志
GB190
工业用化学产品采样安全通则
GB/T3723
钢质无缝气瓶
GB5099
气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法
GB/T5832.33:
气瓶颜色标志
GB7144
氯气安全规程
GB11984
液化气体气瓶充装规定
GB14193
化学品安全标签编写规定
GB15258
气瓶警示标签
GB16804
特种气体储存期规范
GB/T26571
气体分析氦离子化气相色谱法
GB/T28726—2012
气瓶安全监察规程版
(2000)
危险化学品安全管理条例版
(2002)
特种设备安全监察条例版
(2009)
3技术要求
高纯氯的技术要求应符合表的要求
1。
表1技术指标
项目指标
氯纯度体积分数-2
()/10≥99.99999.9995
氢含量体积分数-6
(H2)()/10<0.50.5
氧含量体积分数-6
(O2)
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