GB/T 35086-2018MEMS电场传感器通用技术条件

ICS31200

L55.

中华人民共和国国家标准

GB/T35086—2018

MEMS电场传感器通用技术条件

GeneralspecificationforMEMSelectricfieldsensor

2018-05-14发布2018-12-01实施

国家市场监督管理总局发布

中国国家标准化管理委员会

GB/T35086—2018

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

原材料

4……………………1

传感器组成

5………………2

技术要求

6…………………2

试验项目和方法

7…………………………4

检验规则

8…………………10

标志包装储存和运输

9、、…………………12

Ⅰ

GB/T35086—2018

前言

本标准按照给出的规则起草

GB/T1.1—2009。

本标准由全国微机电技术标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC336)。

本标准起草单位中国科学院电子学研究所中机生产力促进中心西安西谷微电子有限责任公司

:、、。

本标准主要起草人夏善红彭春荣李海斌郑凤杰程红兵朱悦白巍

:、、、、、、。

Ⅲ

GB/T35086—2018

MEMS电场传感器通用技术条件

1范围

本标准规定了电场传感器以下简称传感器的原材料结构组成技术要求试验项目和

MEMS(“”)、、、

方法检验规则包装存储和运输

、、、。

本标准适用于电场传感器的研制生产和采购其他类型的电场传感器可参照使用

MEMS、。。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

。,()。

包装储运图示标志

GB/T191

电工电子产品环境试验第部分试验方法试验低温

GB/T2423.1—20082:A:

电工电子产品环境试验第部分试验方法试验高温

GB/T2423.2—20082:B:

电工电子产品环境试验第部分试验方法试验交变湿热循

GB/T2423.42:Db(12h+12h

环

)

电工电子产品环境试验第部分试验方法试验和导则冲击

GB/T2423.52:Ea:

电工电子产品环境试验第部分试验方法试验振动正弦

GB/T2423.102:Fc:()

电工电子产品环境试验第部分试验方法试验及导则长霉

GB/T2423.162:J:

电工电子产品环境试验第部分试验方法试验盐雾

GB/T2423.172:Ka:

电工电子产品环境试验第部分试验方法试验低气压

GB/T2423.212:M:

环境试验第部分试验方法试验温度变化

GB/T2423.22—20122:N:

计数抽样检验程序第部分按接收质量限检索的逐批检验抽样计划

GB/T2828.11:(AQL)

电磁兼容试验和测量技术静电放电抗扰度试验

GB/T17626.2—2006

传感器主要静态性能指标计算方法

GB/T18459—2001

微机电系统技术术语

GB/T26111(MEMS)

3术语和定义

界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T26111。

31

.

MEMS电场传感器MEMSelectricfieldsensor

敏感元件采用微机电系统技术制造能感受电场