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文档简介
中华人民共和国国家计量技术规范
JJF1100—2003
平面等厚干涉仪校准规范
CalibrationSpecificationforFlatEqual
ThicknessInterferometers
2003-05-12发布2003-11-12实施
国家质量监督检验检疫总局发布
JJF1100—2003
췍췍
平面等厚干涉仪校准规范췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍췍
췍—췍
췍JJF11002003췍
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CalibrationSecificationfor代替JJG336—1983췍
p췍췍
FlatEqualThicknessInterferometers
本规范经国家质量监督检验检疫总局于年月日批准并自
20030512,
年月日起施行
20031112。
归口单位:全国几何量工程参量计量技术委员会
负责起草单位:中国测试技术研究院
本规范由归口单位负责解释
JJF1100—2003
本规范主要起草人:
冉庆中国测试技术研究院
()
陈永康中国测试技术研究院
()
参加起草人:
李建民中国测试技术研究院
()
曹箭中国测试技术研究院
()
JJF1100—2003
目录
范围……………………
1(1)
引用文献………………
2(1)
概述……………………
3(1)
计量特性………………
4(1)
干涉条纹间距测量的重复性………
4.1(1)
测微目镜的示值误差………………
4.2(1)
物镜系统引起的条纹弯曲量………
4.3(1)
仪器的示值误差……………………
4.4(2)
校准条件………………
5(3)
环境条件……………
5.1(3)
校准用标准器及相应设备…………
5.2(4)
校准项目和校准方法…………………
6(4)
干涉条纹间距测量的重复性………
6.1(4)
测微目镜的示值误差………………
6.2(4)
物镜系统引起的条纹弯曲量………
6.3(4)
仪器的示值误差……………………
6.4(5)
校准结果表达…………
7(5)
复校时间间隔…………
8(5)
附录校准证书内容…………………
A(6)
附录平面等厚干涉仪示值误差的测量不确定度分析………………
B(7)
JJF1100—2003
平面等厚干涉仪校准规范
1范围
本规范适用于平面等厚干涉仪的校准不适用于只能估读干涉条纹弯曲量的同类干
,
涉装置的校准
。
2引用文献
通用计量术语及定义
JJF1001—1998
测量不确定度评定与表示
JJF1059—1999
平晶检定规程
JJG28—2000
平面平晶
JB/T7401—1994
使用本规范时应注意使用上述引用文献的现行有效版本
,。
3概述
平面等厚干涉仪以下简称仪器是采用等厚光波干涉原理用于测量物体表面平
(),
面度的光学计量仪器根据仪器示值误差可分为一级和二级按其结构分为用钠光做光
,。
源不带标准平面平晶和用激光做光源带标准平面平晶的两种平面等厚干涉仪其外
、、。
形结构与光学原理分别见图图和图图
1、23、4。
图不带标准平晶的外形结构图
1
4计量特性
干涉条纹间距测量的重复性
4.1
重复性不超过
0.020mm。
测微目镜的示值误差
4.2
在任意内不超过在全程不超过
1mm
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