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文档简介

第三章

真空装置的实际问题1p,

VS真空泵管道真空容器p-压强；V-真空容器的容积；S-抽速排气的基础知识在时间间隔t内，真空容器中排出的气体流量Vp与真空泵抽走的气体流量Spt相等，

2排气的基础知识稳态时，进入真空容器内部的气体流量为Q3材料的放气减小Q值的途径一：选材4材料的放气减小Q值的途径二：预处理5材料的放气减小Q值的途径三：烘烤6排气时间的估算

7排气泵系统离子泵排气系统：无油清洁，排气周期较长，主要用于高质量膜层的生产和研究。离子泵：8排气泵系统离子泵系统的排气曲线离子泵：9排气泵系统扩散泵排气系统：清洁程度差，但排气周期短，主要用于生产。扩散泵：10排气泵系统扩散泵系统的排气曲线扩散泵：11排气泵系统低温冷凝泵-分子泵：低温冷凝泵-分子泵排气系统：既能获得清洁真空，排气周期也短；即可用于研究又可用于生产。12检漏容易漏气的地方：可动部分玻璃和陶瓷部分纹管法兰和垫圈焊接部分

难以检漏的地方：焊接气眼材料内的砂眼复杂部件的内部13检漏检漏方法之：加压法14检漏检漏方法之：真空法-真空计传感抽真空后容器内部气压上升曲线15检漏检漏方法之：真空法-质谱仪传感罩子法检漏氦检漏仪16检漏17大气湿度与温度对装置的影响通入气体中水的分压与抽气100min和1000min后的压强关系：在通常水的分压1~30Torr下，影响不大。湿度18大气湿度与温度对装置的影响温度温度从14C到25C，压强增大约2倍；温度从5C到40C，压强变化一个数量级19化学活性气体的排气活性气体粉末20化学活性气体的

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