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文档简介
HO216′**2*HO216′**2*2=*2=HO1200℃下进行基区氧化，氧化过程为：加45min湿T=95)干2NPN管分干：2由P131表1200℃，B＝7.5×10
,
,
=1.87×10
m/min,===分秒tt,3030
X=O干
B
)(干初始氧化层厚X=200t2i
=
t=
0.02
2
=分湿2B＝1.2×
µm
,A=t=
AX2ii1.2
分＝′XO
湿（
45′
）
1.2
(451.502)
0.747µm分干2t
AX20.040.747ii
=784′XO
干2
（
15′
）
7.5
784)
Å现T=95℃2500nm，间(精确到分)。/
22=i222=i2T＝1200℃,X=Å0.5µm0X=0干
B(
*
)
0.5=
1.62)
t=
0.520*7.5
1.62333.331.62331.7
′X0
湿
B(
*
)0.5＝
1.2
t
t=
0.520＝20.8B
′XO
水
（t*）
t=
0.5水1.457
′某盖0.2µm在长0.1µmX＝0.2µm,再O
干
X=T=1200℃O干长0.2+0.1度SiO所需t.2：X=0.2µmit
*
j
0.2
0.047.5
′长X0.3µmO总X。＝
B(*)
t=
0.320*6456
′/
22022202解：掩敝扩的X,t=23OminMOS
A8.6
查阅图3-46，D＝cm,X
min
D
tSiO
=
2
=×=×10×nm=Å某硅晶为950℃求预为间(取μ≈p：0
1q
=
1
120
=9.47N1.6
cmD=/sQ=0S
t=(
Q2
s
)=
9.4720
5
=×=74把D＝9×10代，t=51minIC采nΩ•cm为μ，eq\o\ac(□,)，
16B
cm
R
1Rzj
25
cm
/
222S1/2S224222S1/2S224
N2
DtzDt(lnj
Ns2)NB
1
2
NS
j
N(lnS)N
14
：＝，N＝1
20
cm
=1
cm
/sQ=0S1
t11
t=(1
Q02
D1
)=(
4.41142
5
)=1.19×==20：=1180℃,D=1.2×10cm22＝2j
Dt
NN
t=(2
xj2Dt
NN
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