em-eop-012a设备上料台滚轮的清洗

■Q □E □S清洗RENA机上下料台滚轮文件名称作业规范

文件编号：EM-EOP-012校订版别： A页次/总页次：1/7修订日期 版本 修订说明2014-11-26 A 新版制定修订部门 编 制 审 核 批 准设备部GM-012B■Q □E □S清洗RENA机上下料台滚轮文件名称作业规范

文件编号：EM-EOP-012校订版别： A页次/总页次：2/7目的保障RENA机的良好运行，防止滚轮脏污造成设备堵片，叠片以及油污等设备和工艺问题的出现。范围适用于电池车间制绒工序和刻蚀工序所有的 RENA设备。定义无职责无作业内容5.1作业前准备：戴好手套口罩，穿劳保鞋，无水乙醇一瓶，无尘纸，清洗滚轮小车。如图1所示。GM-012B■Q □E □S清洗RENA机上下料台滚轮文件名称作业规范

文件编号：EM-EOP-012校订版别： A页次/总页次：3/7防护用品：防护手套，防护口罩，劳保鞋所需工具：清洗滚轮小车，无尘纸，无水乙醇。操作与沟通： 设备技术员操作作业时间：3min注意事项：1、确认瓶子内确实是无水乙醇，防止他人将其他液体倒入瓶子内图15.2将设备停止：通知生产停止投片，待硅片走完后，在 RENA机操作界面上点击异常停止按钮，设备停止后转到手动模式，挂好设备维护牌，如图 2、3所示。防护用品：防护口罩，劳保鞋所需工具：无作业时间：5min操作与沟通： 首先需要与生产和工艺技术员沟通，由设备维护技术员进行作业注意事项：1.要确认硅片已经全部走出设备。2设备维修牌确认挂在设备显示器前面，防止员工误操作设备。图2 图35.3拆下上料台滚轮中间和旁边的固定挡杆的螺丝： 拆螺丝时，用手将螺丝逆时针旋转，直到脱落,然后将固定挡杆拆下放在小车中。如图 4、5、6、7所示。GM-012B清洗RENA机上下料台滚轮文件名称作业规范

Q□E□S文件编号：EM-EOP-012校订版别： A页次/总页次：4/7图4 图5 图6 图7防护用品：防护口罩，防护手套，劳保鞋所需工具：无操作与沟通： 设备技术员操作作业时间：3min注意事项：确保螺丝不要掉到槽体内。收好螺丝，不要丢失，避免安装时缺少螺丝。3.拆下的滚轮挡杆放在清洗小车中，以待清洗。5.4拆下上料台滚轮: 拆下上料台的滚轮时，用手先提起滚轮的一头使滚轮与上料台面之间有个大约30度的夹角，另一只手握住滚轮中间，两只手一起用力拔，拆下滚轮。按顺序拆装，从外到内依次拆下然后按顺序放在清洗小车上。如图 8、9、10所示。图8 图9 图10GM-012B■Q □E □S清洗RENA机上下料台滚轮文件名称作业规范

文件编号：EM-EOP-012校订版别： A页次/总页次：5/7防护用品:防护手套，防护口罩，劳保鞋所需工具：清洗滚轮专用小车作业时间：3min操作与沟通： 设备技术员操作注意事项：拆装滚轮时需要轻拿轻放，防止滚轮断裂变形，拆下的滚轮按顺序放在清洗小车中。清洗小车托盘中要放一层干净的无尘纸做铺垫，铺满整个小车托盘。后面拆下料台滚轮手法于此相同。5.5 清洗滚轮:用酒精无尘纸擦拭滚轮上面的灰尘及脏污，擦干净后按照顺序把滚轮放好，顺序不要弄乱。如图 11，12，13，14所示。图11 图12 图13 图14防护用品：防护口罩，防护手套，劳保鞋所需工具：泡沫盒，酒精，无尘纸，清洗小车操作与沟通：生产员工操作作业时间：10min注意事项：在倒入酒精时，不可倒的太猛，避免酒精飞溅进入眼睛里。在清洗滚轮时要按照顺序一个一个的清洗，特别是有引导轮的滚轮，引导轮的粗细顺序不能弄乱。在清洗白色有引导轮的滚轮时，注意不要用力过大，不要把引导轮拧掉。5.6安装上料台滚轮：按照顺序装上滚轮，安装滚轮时，双手一前一后握住滚轮，将滚轮一头对准设备齿轮箱上的滚轮卡槽，使滚轮头上的销钉嵌到转子的凹槽中，用力GM-012B■Q □E □S清洗RENA机上下料台滚轮文件名称作业规范

文件编号：EM-EOP-012校订版别： A页次/总页次：6/7推滚轮，使滚轮完全进入转子凹槽，再将滚轮另一头放入滚轮支架的凹槽中，如图15、16、17、18所示。图15 图16 图17 图18防护用品：防护手套，防护口罩，劳保鞋所需工具：无操作与沟通：需要设备技术员与工艺技术员确认滚轮保持停止状态，设备技术员操作作业时间：3min注意事项：安装滚轮前，需要确保滚轮是停止状态；安装滚轮时，不可用力过猛，防止滚轮变形断裂，特别要注意滚轮节的粗细顺序不能装反（越靠近工艺槽滚轮节越粗）。安装完滚轮后，需要检查滚轮是否安装到位。后面在拆装下料台滚轮时拆装滚轮手法于此相同。5.7安装上料台滚轮挡杆及固定螺丝：安装螺丝时，把螺丝对准螺丝孔，顺时针旋转，直到固定，如图 19，20，21所示。图19 图20 图21GM-012B■Q □E □S清洗RENA机上下料台滚轮文件名称作业规范

文件编号：EM-EOP-012校订版别： A页次/总页次：7/7防护用品：防护手套，防护