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毕业设计论文

WAT工艺参数测试

系电子信息工程系专业微电子技术姓名钦班级微电学号1003320指导教师席职称讲师设计时间201.9.19－.1.4

摘要:

。要晶圆的工艺参数测试方法。主要介绍以下几个方面的内容：参数测试在现在集成电路产业中的重要性；晶圆可靠性参数测试的相关知识的介绍；测试参数的介绍；以及测试所需的软件和硬件的介绍；系统的并详细的说明白在测试过程中会遇到哪些问题，以及在测试过程中操经常会犯得错误。错误的种类等，以及相关工程师如：工艺工程师；（负责相关产品的测试程序编写）设备工程师(负责测试机台的检测与维修）相关问题本文将做进一步解释。

XX信息职业技术学院毕业设计（论文）

总结

WAT发生测试问题所影响的wafer从原来发生问题开始到整批lot终止减少到1片，可在距离测试最近时刻发现出来被检测到。

对于制成十分稳定的fab来说RTMonitor拦住测试状况的问题不多在线上出现异常时会有很严重的fail。此时它拦住的问题往往是wafer本身的问题这样会给制造部增加负担，因此会增加可配置的跳过lot功能。

WAT测试输入检查系统可以让工程师以任意组合限定条件防止口头或书面通知下制造部人为疏忽造成测试问题同时便于集中管理测试限制。采用输入检查系统会大大降低产片由于个人疏忽而导致的问题，从而使公司可以达到最大化。

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WAT工艺参数测试

致谢

这次毕业设计得到了好多老师、同学和同事的帮助，首先感谢我的论文指导老师席筱颖，她在百忙之中为我拟定论文题目，我找不到资料时是她告诉我怎样去寻觅，还有应当怎样去写好一篇完整的论文等等。另外，感谢校方给予我这样一次机遇，能够独立地完成一个课题，并在这个过程当中，给予我们各种便利，使我们在即将离校的最终一段时间里，能够更多学习一些实践应用知识，加强了我们实践操作和动手应用能力，提高了独立思考的能力。再一次对我的母校表示感谢。

感谢在整个毕业设计期间和我密切合作的同学，和曾经在各个方面给予过我帮助的伙伴们，在大学生活即将终止的最终的日子里，我们再一次演绎了团结合作的童话，把一个巨大的，从来没有上手的课题，圆满地完成了。正是由于有了你们的帮助，才让我不仅学到了本次课题所涉及的新知识，更让我感觉到了知识以外的东西，那就是团结的力量。

最终，感谢所有在这次毕业设计中给予过我帮助的人。对上述朋友

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