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激光加工技术国家级创新创业教育教学资源库深圳职业技术学院飞秒激光加工的优势飞秒激光加工的优势加工尺度小，可实现超微细加工加工热影响区小，可实现高精度的非热熔性加工能克服等离子体屏蔽，具有稳定的加工阀值，加工效率高可实现透明材料内部精密的三维加工可加工的材料范围宽广飞秒激光加工的优势加工尺度小，可实现超微细加工横向尺寸激光波长常规激光飞秒激光峰值功率极高主要是多光子过程小于聚焦光斑尺寸飞秒激光加工的优势加工热影响区小，可实现高精度的非热熔性加工纳秒激光加工飞秒激光加工飞秒激光加工的优势能克服等离子体屏蔽，具有稳定的加工阀值，加工效率高在等离子体临界密度达到之前，脉冲能量已结束沉积，即在等离子体向外膨胀之前，飞秒激光的辐射已结束，这样就避免了在常规激光加工中出现的等离子体屏蔽现象的发生飞秒激光加工的优势可实现透明材料内部精密的三维加工透明材料把达到烧熔阀值附近的飞秒激光聚焦到材料内部，在焦点处的功率密度超过烧熔阀值，产生多光子吸收和电离飞秒激光加工的优势可加工的材料范围宽广玻璃陶瓷金属电介质半导聚

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