真空设备的维护和维修

真空设备的维护和维修第一部分:维护部分1.1、机械真空泵的维护和保养:(1)泵及其四周环境应经常保持清洁。(2)泵在运转过程中应保持油箱内油量不得低于油标中心。(3)不同种类和牌号的真空泵油不可混合使用。(4)泵在使用中温升不能超过70?。(5)新泵在使用100h左右应换1,2次油，待换下的油内不再发现含黑色金属粉末后，可加长换油期限。根据说明书规定和使用实际情况来确定换油期限。(6)新泵和修理后的泵应现作运转试验4,6h，检查泵是否符合使用要求。(7)泵使用较长时间以后(2,3年不等)，极限真空度下降，应进行一次检修。同时也应对系统、管道、阀门和电动机等加以清洗、检修。(8)泵在使用中，因系统损坏等特殊事故，或进气口突然暴露大气时，应尽快停泵，并切断与系统连接的真空管(关低真空阀或夹真空夹)，防止喷油，污染工作场地。(9)泵上所有机件，非绝对必要，切勿自行拆卸。(10)泵不用时，应用橡皮塞(帽)把进气口塞好，以免赃物和硬质东西落入泵内。(11)经常注意真空技术发展动向，尽量及早地引入新技术、新材料(如新泵油等)，以改进原有系统的性能。以上数点，可按具体情况，订出相应操作规程，严格施行。1.2、整套设备的日常维护:(1)操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各部分。阅读并理解各种说明书。(2)冷却水水压应保持0.1,0.2Mpa之间，出水温度?45?。(3)压缩空气压力在0.4,0.5Mpa之间。(4)每炉开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。(5)开机后如有异常情况，应立即排除或停机查找原因。(6)经常检查各部分的回水量，工作时应保证各部分有充足的冷却水。(7)设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把设备水冷套内的循环水放掉。(8)机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把废油放干净。(9)扩散泵换油时，内部如有氧化，要把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。(10)充入的保护性气体，纯度不应小于99.99%。(11)本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气氛。(12)设备表面及仪表表面要保持清洁，擦拭炉体内壁不允许有带有水份及沾有非真空类用油的抹布擦拭。(13)气动系统的气动三连件上的油水分离器要经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。(14)设备的整机电压要保证在350,420V范围内。三相要平衡。(15)规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油，使之与座之间形成一层油膜，防止漏气。以上各部分及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。(16)各部分的螺栓定期检查，如发现松动，及时拧紧。(17)设备工作时，注意观察各仪表的显示情况，及各泵的声音，以便及时发现异常，找出问题。(18)设备的使用环境，在相对湿度85%以下，温度在10,40?。在拆修设备时，各部分不许用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。(19)设备在工作时，操作人员不得长时间离岗。不要压偏了，偏了就会漏油、漏气，轴封簧别挤进去，没了轴封簧轴封就失效了。注意轴封与轴的同心度，有的泵是用对轮连接的，对轮的同轴性要求很严格，装配时要从轴的四面去量，保证平行一致。罗茨泵的对齿轮调整的关键是两个8型齿轮不相碰。扩散泵的内壁和喷射塔清洗干净后最好用电力纺擦干。由于国内生产的扩散泵主要靠电炉丝的长短来控制泵油的温度，扩散泵油的注入量就需要考虑当地电网的实际情况来酌量增减。泵的口径大小不一样注油量也有差别，电网的电压低油可以减少2mm，只要是干净的钢板尺或铁丝都可以用来测量。由于制造和使用上的差别，扩散泵注油量仅供参考。维修切记不可操之过急，故障没搞清楚就想当然的开始动手拆卸，旧病未除又添新病，把简单的问题复杂化了。2.2、几种情况下处理方式:2.2.1应急处理(1)高温时断水、断电.真空设备最怕的就是高温时断水、断电。因此用户最好在设备安装时建有备用水箱或连有自来水管。设备在高温时断水、断电，此时，泵、阀门均应处于关闭状态，操作人员应马上接通备用水或自来水，对设备进行水冷，如不能很快来电，还应打开充放气系统的手动充气阀，对设备进行充气保护，充气压力为-0.02MPa左右。然后，把控制柜上的所有按钮关至“关”的位置。同时用湿毛巾搭在电极引出接口处，定期更换，以免电极接口过热，造成密封圈损坏。(2)更换充气气瓶.设备所用充气气瓶需更换时，拆掉稳压阀，换上一瓶新气，一定要注意安装时不许漏气。在换上新气瓶后，在工件没加热前，应在抽空过程中对炉内充气，以便在换气瓶过程中造成的管路内存有的大气抽出，使充气管路保持清洁。(3)正常工作时，发现设备突然漏气，如马上能找到泄露点，须用真空封泥把泄露点封住，待工作完毕后，再做处理。如不能确定泄露处，则应立即停止工作，然后检修。(4)设备工作一段时间，一般50到70炉次，需清理打扫，把粉尘清出炉外，然后空炉工作一次。工作的方式是先抽空为真空度高于10-2Pa时加热，加热温度一般高于正常使用温度的20?。在最高炉温时保温一个小时以上，然后自然冷却。这样使设备内部空间保持清洁。2.2.2机械泵的常见故障及维修:2.2.3罗茨泵的常见故障:罗茨泵是一种旋转式变容真空泵。其极限真空度可达5×10-2Pa，又称机械增加泵。其工作原理是通过二个“8”字形的转子旋转，通过容积的改变来实现抽气和排气。其工作原理与罗茨鼓风机相似。维修保养:?应经常保持泵房环境清洁干燥。?应经常注意各部分润滑油的状况，如发现不足时，应及时补充。如发现不清洁时，应及时更换，并注意螺塞重新旋进去时应保证密封。泵工作压差应控制在旁通阀允许的压差范围内，否则易烧坏电机。?在拆修时各部件不能用重锤敲打。?拆下的零件避免碰伤、擦毛。特别要注意密封面的平整光洁，否则会引起再装配后漏气现象，泵不能恢复原有性能。?拆下的零件用汽油、四氯化碳或乙醚清洗，干燥后才能装配。?装配时要注意转子两端与左右侧盖的间隙，转子与转子，转子与泵体的间隙按规定要求调整。?泵体左右侧盖之间之结合面均采用107树脂(即室温硫化硅橡胶)密封。?装配前必须注意螺旋套方向，主动轴上靠近电机一侧为左旋，齿轮箱一侧为右旋，从动轴上则相反。2.2.4油扩散泵故障处理(1)扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。(2)泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。(3)被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。(4)泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。并将冷却水套内的剩水吹净。保存场地的室温应在10?,40?之间。(5)泵在正常运行时如突然出现性能变坏，应先检查加热器是否正常。(6)泵在长期