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文档简介

扣描电镜及其附属部件相类知L“边熊山大学主要内容:扫描电镜相关知识能谱仪相关知识·电子背散射衍射相关知识目家点1扫描电铳相关知识扫描电子显微镜(scanningelectronmicroscope,简称扫描电镜(SEM),是一种利用电子束扫描样品表面从而获得样品信息的电子显微镜。目前,扫描电镜已经在多个领域得到了应用,尤其在材料研究领域,扫描电镜已经成为了应用最为广泛的设备之一,这就要求我们对扫描电镜要进行细致深入的了解。材料与电子的相互作用入射电子束EDS或WDS信号源sEM信号源电子入射电子一次电子特征X光被散射电子歇电子二次电子符X射线吸收电子背散射电子透射电子空同分TEM信号源扫描电子显微镜的构造国家点数现代扫措电镜结构示意图FE|热场发射扫描电镜Hitach冷场发射扫措电镜家童点真KYKY钨灯丝扫描电镜Hitachi钨灯丝扫描电镜扫描电子显微镜的特点扫描电子显微镜具有如下特点:(1)分辨率高高端的场发射扫描电镜分辨率目前已经可以达到或优于1nmn(2)放大倍率范围宽放大倍率可从几倍到几十万倍,例如日立S4800冷场发射扫描电镜的放大倍率可从20~800倍。(3)

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