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文档简介

使用ISE-TCAD对ESD器件的设计验证主讲人:马飞2019.10.10第1页/共99页课程内容●ESD及ISE-TCAD简介工艺部分仿真(Dios)DESSIS仿真模型的选取●热边界条件的设定●ESD器件仿真中收敛性问题些对关键性能有影响的关键参数●二次击穿电流的仿真第2页/共99页电路中的ESD防护ESDsensitivepartsaumtapahinputbufferoutputdriver第3页/共99页ESD防护器件二极管坚GGNMOSVspSCRAnodeR(N-well)P+N+P-Substrate第4页/共99页设计窗口ESddesigwindowEo第5页/共99页ISE-TCAD简介由瑞士|SE公司开发,已经被SYNOPSYS公司收购,并入新版的SENTAURUS包括平台工具(GENESISe)、工艺仿真工具(DOS)、器件结构生成工具(Draw)和电磁仿真工具(DESSIS)、曲线显示工具(INSPECT)第6页/共99页Dios-MDraw-DessiscommandboundarDiosdio.cmdcommandiparametermdr.cmducbnddesdIaIne-pa1器HDavDessinmdr.datdes.dat大dio.dat.gzgrd.dat.gzdrlogdeslog进入|SE-TCADnafsZUEDA6-]$t/deno/tcadtoaninvaliddirectoryDoneGENESTSe-]SCENESISeetIsEetoavaliadirectory,whereyourprojectereade第8页/共99GENES|Se操作界面项目编辑环境菜单GENESISemZUEDA6v10,D-/home/maf/cad/mp/“翻盯ˇ■等气叹园回仿真工具菜单ammyTreeproject---newproject右键[familytree--add选择工具第9页/共99页课程内容●ESD及ISE-TCAD简介●工艺部分仿真(Dios)●DESSIS仿真模型的选取热边界条

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