半导体技术的发展

半导体技术的发展概况电学部唐跃强tangyueqiang@2012.021主要内容一、半导体技术的发展二、半导体技术的热点三、探讨的问题2半导体领域广义的说是与半导体有关的领域，涉及半导体材料、半导体材料的制备、半导体器件、半导体器件的制造工艺、半导体器件的应用、半导体器件的测量等等。其分类号：H01L、H05K、G06、H01S。一、半导体技术的发展3半从导米体歉器沾件稻的指零姜部伏件例芦如讽有氧：夸将岂引添线参框择架副、办引床线熔键塌合久或昌焊芦料饺凸低点葡、送安录装旦架虽、争安境装颂容针器抬、飞散息热要装暗置雨、怀密傲封鞭层取、删封剩装盛树册脂羡层逆等型；有完机抚及颤无音机荣材滋料有半光导挨体斜器画件；半山导论体价器雾件春的可制包造弄设狮备少及群工秤艺。产截品地种侧类：分昨立嫌器池件：裕二怜极互管垂、脏晶捏体撑管史、童晶匪闸同管等、翼太扣阳独能取电恐池论、恒压令电请器震件粒、落发上光熄器牵件抖、法单暮电粥子嘴器底件掉等怀；集啄成陷电编路荒（碧布添图通）例信如魂有应：物集肌成延的预晶签体踩管舞、详M醒O粮S专、判C靠M折O御S跑、荒D聪R织A筐M蓄、号S杰R则A集M证、驼R愿O伶M口、衰E织P宾R艰O鸡M描、证E更E塘P做R穗O盲M、S遥O芹C沿等梢；4二铅、克半魔导亲体傻技启术扭的窝热痛点1泥、引纳暴米槐技参术王；2命、轿太书阳温能侍电猜池麻技岸术皮（既光部电张）瘦；3蛇、辱L桐E兆D拥技雀术各（什O抬L块E待D拢技是术余，债电坡光塔）损；4陡、成F崖i舞n蚁F尚E流T螺技兵术杠。52勇、浅太粗阳隙能司电详池骨技园术洞；（全1散）累单拖晶拉硅只太间阳屠能牢电恩池目蚕前茎单终晶蛋硅凯太丹阳喘能体电献池换的右光闹电市转仿换仰效吧率淘为滚1疮5县%蹈左工右庆，桂最呆高聋的剑达泡到晋2草4筐％惜，罩单售晶随硅悼太缓阳蠢能管电姨池韵一军般溜采御用躲钢石化互玻摘璃恢以竖及轰防草水狮树索脂敌进珠行乓封嫂装奖，案因扁此庙其难坚怖固绳耐抵用疫，所使沫用泼寿闹命深一器般德可顷达遇1包5昌年萍，旬最调高础可雹达加2它5凯年旱。（云2姥）耳多赴晶源硅雷太板阳姑能病电离池多并晶阳硅姐太斧阳吗电务池伏的泡制傲作沉工动艺扰与拌单勒晶类硅异太驶阳感电备池帮差奇不用多斩，网但胶是昏多闷晶狠硅扶太秩阳减能率电患池岁的敏光陵电叠转分换选效宪率匠则芳要僵降吊低我不稻少践，宜其夸光捏电挎转孟换弦效凝率增约们1嫂2冻％悼左蛋右答。（旁3扬）等非仙晶佳硅乘太云阳抚能毅电弦池非馅晶态硅筐太萝阳拳电立池钉是皱1僵9泄7带6楼年淹出翅现手的国新龄型羽薄迷膜旬式坛太障阳霞电拐池符，牺目陷前魂国废际暗先申进转水顾平躬为疼1妥0技％疮左抵右势，裙且偿不伐够摆稳评定宅，躬随电着师时滥间奔的败延岗长勿，估其禽转忠换复效蹄率午衰姐减券。62腔、鸭太粗阳掩能困电鸟池来技末术4游）隐化店合途物桨半渣导绞体和太软阳露电门池a着)盼硫道化宗镉贩太事阳劲能繁电割池转；b战)津砷顺化啄镓竿太劳阳熊能激电学池番；c阀)请铜尘铟线硒权太岁阳愚能侵电卵池意(喘新短型忘多顷元寺带奴隙脏梯缎度肆C晶u遥(优I填n追,振G金a亩)既S戒e捏2王薄塘膜趣太擦阳颠能泰电帽池娃，泛光陪电艺转己化环率惯为励1裙8胶％潜)72水、烛太辨阳瞎能亲电蛇池侧技死术（支5迫）占染乓料更敏芹化蹄太添阳定能圈电里池染的料驴敏许化阔太热阳络能虽电及池岛（誉D蛙S没C炭）育主变要档由摄纳耍米铅多妖孔术半济导相体播薄验膜谋、虏染就料罚敏此化叼剂济、萍氧铺化晒还终原花电锦解袍质膜、沈对迫电议极驳和剂导蛛电骆基京底似等踩几肤部总分门组医成虎。寒纳携米里多年孔御半坏导浙体迷薄夸膜惩通希常顾为绣金遗属黎氧固化额物遇（验T刃i萍O始2吗、除S跪n那O踩2诸、首Z谎n盈O阀等柳）柄，随聚热集壁在馅有谣透偶明准导缓电餐膜缸的厌玻戒璃键板烈上纤作晃为学D猪S杯C投的涌负怜极略。萌对饭电脆极钉作瞧为蠢还彼原返催添化成剂声，斤通肺常佩在连带飘有嘱透斧明遍导药电悔膜居的谊玻纷璃图上砖镀稳上卖铂猴。宅敏坚化遇染欧料碰吸证附柱在抢纳背米烟多缘瑞孔顿二把氧肥化左钛家膜眉面堡上芹。冰正散负依极滋间筛填墨充匀的肠是啊含抽有鼠氧送化龙还气原垮电架对煎的降电救解度质史，朝最盗常香用猛的翼是鹊I玻3贝/晓I烛-等。D迷S惠C杂与教传鼠统岩的查太混阳赢电呆池售相捧比帖有尾以拖下屠一稿些里优践势宗（附倒图苍F涨T芳O偶导逢电摧玻剥璃被上图的阵Z隙n郊O坡纳班米头片圆S耕E愉M冬图悟）a款)鞋寿脂命虹长萄：婆使肌用集寿械命励可赶达樱1投5侮-浴2准0屠年校；b铺)超结忘构请简赴单碗、井生箭产姑工耽艺浮简楼单胃，金易袜于翁制斑造批；c嫌)酿生奴产追成虫本余较啄低珍。1满9侧9壁1动年添由泪瑞巡寿士杯洛索桑泰联肥邦锣理谦工饰学院院触首耽次衬发骡表孟了稼染立料豆敏瓶化卖电绘池精的窜原捞型愉，处其较光更电拐转个换诱效过率贫达卷到蓝7盾.半1迫%乱~耕7青.笨9粒%朝。82饲、遗太北阳延能兵电情池枕技迎术陆；从句太尽阳纺能凯电浪池溉芯沃片础的厨结率构出的总角蒜度夺进呜行洽分蒜类罪，幼太溉阳余能包电猎池沉专旗利拆技污术刘可在以窜分暖为律P乘N言结辩、德P骡I胀N捷结玻、也肖虽特兽基坦结侧、观异及质什结非、赵M够I蔑S莲结熊、伶超壤晶耐格艺能姐带板结浩构司和威能撒带概渐钳变蔑结桐构迁。（突1欧）带P税N岔结拘结冻构爱：P眼N申结他结稻构时的尘最困早奖专馒利膨申祥请涨始悬于太1腔9柜6鼓5呀年洁。（戴2路）姐P苹I湖N愈结骡结苹构信，枪最征早颗专汤利响申能请韵始鲁于幼1辆9牙5应5碍年启。92桃、喷太嘱阳阅能英电潮池抬技闷术螺；（踪蝶3恰）斯异启质分结子结灿构坐：最读早谁专模利语申爽请厚始至于冶1烈9兄5禁6茂年（榨4踩）锹肖驰特纠基评结雾结勤构情：专示利轮申非请夕始编于误1咐9灿6絮6颈年1康02扎、呆太想阳塘能越电判池乡丰技玩术狗；（到5硬）傅M携I纠S智结喷结廉构专凡利壮申宁请茂始葛于片1击9予7本1廊年（东6息）村超净晶攀格瞧能据带织结障构专好利糕申躁请责始锡于察1睁9袍8租2冷年（凑7蒙）林能勾带趴渐汉变恐结流构最昆早滤专负利均申事请逆始融于槐1贪9渠7淹7犯年1律14仰、港F列i热n唉F暂E掩T沈技屑术(返1至)滋L贸o蜂w灾k介谊质蚀材哲料刘的岂背馆蚀脸工亲艺(喂I瓣L猪D板)1茅2L猾o皆w废k伯介赠质仙材在料1斜31沈4(顺2贿)斩H牵i本g胖h考k帅介骄质谅材甩料1茅5H弄i依g敌h绣k削介螺质尽材司料材窝料颤要惑求:高票介宰电泰常促数热敌稳败定金性界溉面央质悟量易醒于鼠处吃理可因靠架性1北6H窗i弄g做h慰k桥介野质掩材农料S葵i沈O仍2佩3葵.扁9S降i警3另N球4佣/忠S境i无O弓2寺s编t之a汉c晴k郑5掌-迅6S貌i权3具N趁4限7A太l躬2道O快3倘1京0Z堤r举S繁i既O呆y水,章H婚f嫩S燥i惑O里x侨,纲L毫a仓S艺i掠O呈x浓1垄0铸-过2堡0Z便r答O僻2泽,杂H林f早O术2堪,须L浪a逃2伯O奖3尘,冲Y矿2广O治3滚1涉5挡-筒3压0c喉r什y订s亏t渣a培l预P惠r裳2桌O庭3壁3争01碌7H做i裳g剩h仅k谦介旨质剖材输料淀政积拴方烛法州：M扁O找C忌V梁DP毒V腥D辰(溅蒜射,蒸唐发)A痕L零E处(原盆子束层喜淀敢积)M路B凯E1者8H投i浅g源h虏k介箭质塌材联料A之L西D累(原映子砌层诱淀指积)1买9H票i协g窑h抚k跳介斧质责材拼料2伯0H拴i叹g蹈h晴k介己质收材雷料2辅1(释3文)单F靠i砖n蛾F皆E权T2异2F铺i悠n猪F杂E搜T优甲点艘：尺友寸(躬L泽<蜂1冤0召n辰m捧,俗2惠0乳n穗m嫂)低亚功勇耗最评佳遍阈汽值烂电的压(则6滋0匪m局V丧/衰d磁e灰c恒a汉d宴e猾)2兄3F侧i略n婆F姑E犁T2伶4F矿i呈n各F棕E鸦T懒-草制动造2牺5F思i躁n粒F农E筒T颂-萌制惕造2墙62篮7F偿i给n著F朋E滴T饼快谷闪避存战储忽器7罗:震浮晃栅9菠:控芽制杨栅悦极1绢1定:栅侨氧没化扔物1客2袭:栅返电鲜极1行3肚:半写导套体剃区1觉4勉:源/漏2骡8三浸、弊探豪讨供的连问德题改你进葬型料产婆品歇：壳集旦成凑电北路毯布铜图鬼、锣含系有册计冤算近机斤软喉件每的乖制蚂造则设变备悦、肃印羊刷碍电毅路攀板（养1弃）印券刷够电抹路瓣板芳能尤否仙获饶取矮专溜利框保哑护渴（舟版资权裙、广外苍观储设披计窄、阅商愚业只秘迫密竞）虏？（桃2难）击集种成典电不路类布冰图桐能狡否奏获往取径专她利隆保稻护成（坦