微电子工艺之掺杂技术课件

微电子工艺之掺杂技术微电子工艺之掺杂技术微电子工艺之掺杂技术第二章掺杂技术目的:改造半导体的电特性■定义:用人为的方法,将所需的杂质,以一定的方式掺入到半导体基片规定的区域内,并达到规定的数量和符合要求的分布。应用:制作①PN结②IC中的电阻③欧姆接触区④硅栅⑤多晶硅互连线方法:①热扩散②离子注入③合金§1扩散定义:将掺杂气体导入放有硅片的高温炉中,从而达到将杂质扩散到硅片内的目的。方法①液态源扩散②粉状源扩散③片状源扩散④乳胶源扩散⑤固体源(CV掺杂Si0,)扩散语文课程标准指出：学生学习不仅要用自己的脑子思考，而且要用自己的眼睛看，用自己的耳朵听，用自己的嘴说话，用自己的手操作，即用自己的身体去亲自经历，用自己的心灵亲自感悟，这不仅是理解知识的需要，而是激发学生生命活力，促进学生成长的需要。这一理念虽然已被大多数教师认同，但多数时候并没有落实到实际教学之中。表现在阅读教学中就是教师用自己“教的活动”取代学生“学的活动”，这种倾向下的阅读教学设计普遍存在着着眼于“教师的教”而较少顾及“学生的学”，那么，怎样才能在阅读教学中以“教的活动”为基点转变成以“学的活动”为基点呢？我觉得关注以下几个细节很重要。一、课堂上一定要给学生读书的时间语文新课程标准指出：阅读是搜集处理信息，认识世界，发展思维，获得审美体验的重要途径。阅读教学是学生、教师、文本之间对话的过程。应该让学生更多地直接接触语文材料，在大量的语文实践中掌握运用语文的规律。这一理念要求要确立学生阅读的主体地位，教师要发挥好主导作用，并充分利用文本阅读，从而多方面多角度地提升学生的阅读能力。因此，在阅读课上，教师一定要让学生自己读书，甚至是反复地读，不同形式地读，让学生实实在在地去触摸文本，切不可以教师的读代替学生的读，以教师的讲代替学生的读。如果没有学生充分的阅读做基础，老师讲得再多再精彩也是枉然的。因为教师还是站在如何教的角度，没有落实到学生“学的活动”上来。二、问题的设计要有明确的思维导向众所周知，阅读课上，为了引发学生的思考，老师是要设计一些问题的。但不少老师只是为了问而问，并没有站在学生的角度考虑问题，没有给学生指明一个思考的方向，也就是问题的设计没有明确的思维导向。一次听课，老师讲的是古代诗歌《钱塘湖春行》。朗读疏通文意之后，老师便引导学生赏析这首诗，其中在讲到“几处早莺争暖树”时，老师提了这样一个问题：“早莺为什么要‘争’呢？”问题抛出之后，学生们是眉头紧锁，一直没人举手回答。这时老师只好“钓鱼”式的提问，有的学生说“鸟儿就是好争斗”；有的说“争着向高的树上飞”；还有的说“在争食吃吧”……答案可谓是五花八门。最后老师说：“你们说的都不对，因为天气还冷，鸟儿们争着往向阳的树上飞，这样就突出了西湖早春的特点。”从教师最后抛出的答案来看，老师提“鸟儿为什么要争”这个问题的目的，就是想引导学生理解这首诗的每一句都是在围绕西湖早春的特点来写的，而这一句呢，是在写西湖早春春寒料峭的特点。可是学生们的答案却是五花八门，无论老师问几次，学生也没有答出老师预设的答案，原因何在呢？我觉得主要原因就是老师设计的问题没有明确的思维导向。“鸟儿为什么争”？原因很多，学生可以从很多角度去思考，所以得出的答案也自然会很多。如果将问题改成“鸟儿为什么要争‘暖树’”，问题的思维导向就明确多了。因为“暖树”即是“向阳的树”，早莺争着往向阳的树上飞，显然天气还是比较冷。这样学生就不难得出“这句话写出了西湖早春的特点”这个结论了。由此看来，教师在设计问题时，一定要有明确的思维导向，切不可信手拈来就问啊！三、设计好适合讨论的问题新的课程标准倡导自主、合作、探究的学习方式，于是，不少老师在阅读教学中喜欢设计一些问题让学生讨论，这在当下是很时髦的，好像一节课要是没有讨论的环节，就是没有课改意识的课，就是太传统的课。但有的老师在设计讨论的问题时，只是为了迎合新课改，并没有以学生“学的活动”为基点来设计讨论的问题。我曾听过一节阅读课，教学的是《鲁提辖拳打镇关西》。初读课文之后，就让学生讨论：文章一共写了几个人物。之后学生们开始沸沸扬扬地讨论起来，有的说写了4个人物，有的说了5个人物，还有的说写了6个。课堂气氛似乎很活跃，殊不知，文章写了几个人物，一数便知，这个问题根本没有思维量，更没有讨论的价值。那么，从学生“学的活动”来看，什么样的问题适合讨论呢？我认为以下三类问题适合讨论：有一定难度的问题；答案多元化的问题；容易产生分歧的问题。因为这三类问题让学生讨论，学生之间可以互相启发，互相补充，辨明是非。总之，这些问题是站在学生学的角度来设计的，而不仅仅是从教师教的角度。四、要给学生活动以足够的时间语文阅读课上，我们经常看到老师在交给学生任务时，总是强调“要快，要抓紧时间”“快点，快速地阅读课本”等等，总有催促学生之意，给人的感觉是特别急切，学生在催促之下进行阅读、思考、讨论、交流，确实是有了紧迫感，活动的速度确实是提高了，但另一方面，也影响了学生的活动，致使阅读、思考、讨论、交流等活动的质量降低，影响了课堂教学效率。如果老师在给学生布置任务后，给学生足够的时间，让学生认真地阅读教材、积极思考、反复领会，在真正理解问题的基础上，再去参与讨论，与同学们合作、交流。我想，绝大多数学生都会愉快地、积极地、充满自信地参与到活动之中，都能成为课堂教学的“主角”而不再是“听众”或“旁观者”。还有的老师让学生读书，两千多字的课文，时间刚过去两分钟，老师就开始提问，殊不知，一篇2000字的课文，学生至少要4分钟才能读完（新课标规定初中生的默读速读是每分钟500字），给学生2分钟读的时间就提问，课文都读不完，又怎能回答老师的问题呢？让学生在大量、广泛的语文实践活动中逐步掌握、运用语文的规律，是课标的核心理念之一，那么在课堂上组织与开展学生活动是必然的，但保证学生活动质量的首要因素就是给学生足够的时间。总之，我们在设计教学时心里要有学生，在阅读课堂上，眼里要有学生，并有意识地注重教学过程中的一些细节问题，这样，教学的核心也就转向了“学的活动”。体育课有一定的特殊性与课堂里教学决然不同，体育课有外界环境的影响，而且学每项基本技术时，光听、看是学不会的。要做到听、看、做、并且反复进行某一项练习才能掌握。那么就要教师讲解时，示范时简单易懂，一点就明，结合正确示范，结合辅助练习，学生就很容易掌握动作要领，学起来就很快，理解也就很深。作为一名好体育教师就要做到又会讲解、示范标准规范，而且要有一定的专业水平，才能适应现代教学的需要。农村学校学生大部分身强体壮，能吃苦耐劳，但也有部分学生懒惰，怕太阳?，怕苦，不爱做运动，比如借故身体不舒服，对技术难，有危险性动作避而不做，教师要扭转这种对教学不利因素，首先要从我做起，以自己良好的师德教育学生，处处以实际行动做学生表率，并通过平时的谈吐举止，结合教学实际，做好学生思想工作使学生明确上好体育课的重要性，从而更好地提高教学效果。素质教育的发展环境中，初中体育教师对自己的教学手段进行了深入的研究，并在一定程度上取得了良好的效果。但是，从目前初中体育教学的现状出发，其存在的问题还是比较多的，尤其体现在初中学生体育学习积极性无法得到有效调动上，以此制约着初中体育教学全面发展。在提高初中体育教学的效果中，加强对初中体育教学调动学生体育学习积极性策略的研究非常重要与迫切。一、初中学生体育学习积极性影响因素分析初中体育教学中，学生学习积极性的影响因素主要体现在四个方面：①讲解示范对学生练习情绪的影响。教师的讲解若简单明了，学生的领会和练习欲望就比较高；教师的讲解若含糊不清，学生的练习积极性就无法得到调动。②体育教师练习方法对学生练习积极性的影响。在学生练习成功时及时给予表扬，在学生练习失败时及时给予鼓励，若表扬和鼓励的方式不当，学生的练习积极性就会受到影响。③体育练习安全性对学生练习积极性的影响。体育运动具有快速、多变的特点，练习过程中若学生稍不注意就会导致身体的伤害，此时学生的安全若得不到保障，他们的练习积极性就会受挫。④学生个性心理特征对练习积极性的影响。每一个学生的性格都是不同的，个性心理差异的存在导致着学生在练习的过程中会表现出不同的情绪，在各种心理压力的存在下，学生的练习积极性就会发生一定的变化。二、初中体育教学中学生积极性调动策略1.设计趣味教学内容。学生练习积极性调动需要从学习的兴趣出发，初中体育教学中，只有学生对所学的内容真正的感兴趣，他们在练习中的积极性才能得到调动。因此，体育教材和练习内容的选定非常重要，并需要从学生的生理和心理发展特征出发，根据学生不同体质的健康状况合理设计体育教学的内容。例如，初中阶段是学生的生长发育期，此时，女同学的生理发育是比较快的，体育练习中，女同学出于对自身体重增加和力量减弱变化的影响，在单双杠的练习中会出现一定的畏惧心理，还担心着对体形美观所产生的影响，以此造成了很多女同学在单双杆练习中的积极性不是很强。在这个问题上，教师可以尝试在单双杆的练习中增加舞蹈基本功、艺术体操等方面的内容，此时，女同学的学习积极性便能得到大幅度的提高，进而促进着全体学生的体育积极性的调动。2.从学生心理特征出发。初中阶段学生的好奇心非常强，对体育学习的兴趣也是比较浓厚的，从心理的接受程度上来讲是比较愿意接受教师的指导和要求的。那么，体育教学中，教师就要抓住学生的这一心理特点，利用学生的好奇性激发学生的学习兴趣，进而促进学生体育学习中自主学习的形成。同时，教师还需要对学生提出适当的表扬，合理的表扬对学生体育学习自我信心的增强非常重要。教师通过赞许的语言和微笑给予学生表扬，不仅能够及时的对学生的思想品德和体育学习成效给予肯定，而这种公开表扬的方式还强化着学生的上进心，更好的调动了学生体育学习的积极性。3.采取多种教学手段。千篇一律的练习是每一个人都讨厌的，而初中生正处于生长发育的探索阶段，体育教学中要想提高学生的学习积极性，对教学的内容和练习的方法一定要不断的变化，并采取新的方式。初中体育教学中，短跑是一项基本性的练习项目，每节体育课中体育教师都会要求学生进行短跑练习，对于这项非常枯燥的体育项目，教师可以采用拍手、口号、激情语言激励、相互比拼的方式调动学生的积极性，与一种轻松的氛围中完成短跑项目。同时，在体育教学中融入游戏环节也能取得不错的效果，同样以短跑为例，练习中融入《找朋友》、《丢手绢》的游戏，在相互的追逐中就训练了短跑的技能。而弹跳练习中，融入《跳绳》这一游戏，在游戏的互动中锻炼了学生的弹跳能力，游戏中学习对体育学习的热情也逐渐的增强着。4.建立有效评价机制。任何阶段体育教学的发展都需要一套完善的评价机制来促进。总所周知，体育知识的学习需要课后的巩固来实现它的练习效果，初中体育教学的实践在每周的课时并不是很多，而课堂也只有40分钟的时间。学生体育学习的目的不仅是为了学业，更重要的是增强体魄，提高自己的运动技能。三、结语综上所述，初中体育教学中，学习体育学习积极性的影响是由多种因素所造成的，在初中学生体育学习积极性的调动中，体育教师需要根据学生的这些影响进行，从学习的心理和生理以及学习动机着手，及时的对自己的教学方法、教学内容进行改进，以让初中学生对体育课程产生学习的兴趣，全面的提高学生的体育技能，这对学生体魄的增强和体育教学的发展都有着重要的作用。第二章掺杂技术目的:改造半导体的电特性■定义:用人为的方法,将所需的杂质,以一定的方式掺入到半导体基片规定的区域内,并达到规定的数量和符合要求的分布。应用:制作①PN结②IC中的电阻③欧姆接触区④硅栅⑤多晶硅互连线方法:①热扩散②离子注入③合金§1扩散定义:将掺杂气体导入放有硅片的高温炉中,从而达到将杂质扩散到硅片内的目的。方法①液态源扩散②粉状源扩散③片状源扩散④乳胶源扩散⑤固体源(CV掺杂Si0,)扩散§1扩散扩散原理本质上:扩散是微观粒子做无规则热运动的统计结果。方向上:高浓度向低浓度扩散1.菲克第一定律J=D·ND—扩散系数(cm2/s)VN浓度梯度“-”—从高浓度向低浓度扩散J—扩散流密度§1扩散2扩散模型(机构)杂质原子的能量一波尔兹曼分布①间隙式扩散一杂质运动在原子间的间隙②替位(代位)式扩散一杂质原子从一个晶格点替位位置运动到另一个替位位置前提:邻近格点有空位、扩散原理①D与E成反比替位扩散:Ea=Es+E’能量高,慢扩散:间隙扩散:Ea=E,能量低,快扩散■②D与T成正比a.高温扩散,T=800-1000℃例如,室温下S中替位杂质要等1045年才能跃迁步b.精确控温,若ΔT=±1℃,则△D=5%-10%。、扩散原理3.菲克第二定律—扩散方程对S平面工艺,扩散流近似沿垂直Si表面方向(X方向),则NJ=J(x=-D根据质量守恒:单位时间内,在相距dx的两个平面之间,杂质数的变化量等于通过两个平面的流量差,3.菲克第二定律一扩散方程aNatdx=j2