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文档简介

高度光学元画形干涉检测术进报告人:侯溪光电技术研究所先进光学研制中心2019-9-5目录心1、概述☆2、国内外高精度面形检测技术现状和发畏趋势心3、高精度面形干涉检测技术进畏4、结柬语一、概述火型望远镜空间望远饶ICEPlanetsOriginsofLif现代光学工程向”一大一小”两个方向发長大大”:大口径大相对口径拼接寓軸非赇面轻质量高精度心“小”:亚纳米级高精度面形低中高频粗糙度大型地基望远镜、空间望远镜、惯性约聚变裝置、紫外和极紫外投影曝光糸统已经成为现代光学工程的典型代表。winmrmsDUV光刻机EUV光刻机仿真检测技术制造技系统集术成高端光学糸统研制需要高精度检测披术,而高精度检测披术支據光学糸统精确仿真、确定性制造和糸统集成。纳米制造原子级确定性制造的极端Inin0.1mm自上而下毛细血管1Oum10nmDNA大小分原子大小0.1rm↓19401960198020002020制造与检测密不可分☆“Ifyoucanmeasureit,,youcanmakeit,”KennethGoldberg,CenterforX-RayOptics,LawrenceBerkeleyNationalLaboratory,CA,USA☆没有检测,就没有控制,更没有确定性加工心检测到多高加工到多高心光学制造精度受到相应检测精度的限恻高精度光学元件制造与检测桕辅相成用不同的救大倍率以覆盖堂个中频破段丧面误差基础如工Figure10umMSFRlonm用不同的精度提升扫描范圆tx10LateralFrequency[um11以覆盖整录终成形Wavelength[um'1个高频段「心、厚度、率率楹、表画瓶痛、次表西坡恰甽非球面朴镂检测制造与检冽的集成棋型及软件核心关健技术:高精度面形检圆技am60m叫5-10nm2聪m1nm<inm3<0.1nmrms挑战极限施阅1m2m1t0o0meTakingOpticalPrecisiontotheExtremeMarkBigelow&NoreenHarned,2019,ASMLOPTICS从本质上讲,纳米级甚至正纳米级高精度面形检测基于超高重复性的集光机电算为一体的干涉仪,通过减小参考波前误差,隔离、抑制、分离或补悽校正糸统和随机误差实现

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