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文档简介

SEE灵敏体积厚度研究路秀琴（中国原子能科学研究院核物理所）*国家自然科学基金资助项目（10375098）第1页第1页合作者刘建成郭继宇郭刚惠宁沈东军倪嵋楠孔福全（中国原子能科学研究院核物理所）张庆祥黄治张振龙韩建伟（中科院空间中心）第2页第2页1引言2原理3试验办法4结果与分析内容第3页第3页单粒子效应（SEE)研究测定

模型计算空间辐射环境

辐照环境模型（重离子、质子等）

能谱

离子与器件互相作用模型地面模拟辐射源

截面（加速器，激光器，放射源）（SEU，SEL，SEB）

⇒

SEU(SEL,SEB)率SEE机理

第4页第4页SEU率

第5页第5页器件灵敏体积（SV）长方六面体模型（RPP)入射离粒子在该体中沉积能量>临界能量SEU（SEL，SEB）效应SV厚度d关键参数预估SEU(SEL,SEB)率

SEE机理研究d=2m?h=?第6页第6页1993年D.R.Rothetal.,J.Beauvaisetal.,分别质子（>200MeV),改变能量，角度1995年Barak,1997年R.Ecoffet低能低射程重离子SV测试研究第7页第7页原理SEU截面/LET\射程LETr曲线Bragg峰观测SV改变入射离子射程-Bragg峰位置-Edep-SEU

试验测量SEU（r)数学处理(deconvonvoluting)h,d第8页第8页数学分析定义门函数射程r-u相应于能量E+dE，产生沉积能量：第9页第9页数学分析Edep

曲线可用Weibull函数拟合：其中

sat饱和截面,Ec临界能量,w和s形状参数第10页第10页数学分析d,hFT(f(u):傅立叶变换函数用傅立叶变换计算函数：

第11页第11页第12页第12页试验束流：12C（或B),2.4MeV84.0MeVC,F,Si,Cl,Br,I束流LET1.0100MeV/mg.cm2197Au靶散射SRAM芯片(8k8128k8)Si(Au)探测器测粒子数SEU检测系统测SEU数

SEU（E)

SEU(r)

SEU（LET)

sat,Ec,w,s

第13页第13页SEU截面射程曲线第14页第14页死层厚度hMT5C10083.5µmIDT71643.5µmIDT7164（日立）17.5µmIDT7125616.5µmHM656423.5µm第15页第15页SEU截面LET曲线第16页第16页分析

SEU（LET)

sat,Ec,w,s

SEU（r)

Fourier

变换

（h,d）将h,d值用于预言空间率

第17页第17页小结我们利用HI-13串列提供重离子束测量了五个SRAM器件SEU截面随射程改变曲线

SEU(r)R和随LET值改变曲线

SEU(LET)LET；

SEU(r)R曲线均呈布拉格峰形状

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