GB/T 23611-2023金及金合金靶材

ICS7715099

CCSH.68.

中华人民共和国国家标准

GB/T23611—2023

代替GB/T23611—2009

金及金合金靶材

Goldandgoldalloytargets

2023-08-06发布2024-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T23611—2023

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规

GB/T1.1—2020《1:》

定起草

。

本文件代替金靶材与相比除结构调整和编辑性改动

GB/T23611—2009《》,GB/T23611—2009,

外主要技术变化如下

,:

增加了术语和定义一章见第章

a)“”(3);

增加了及合金靶材品种见

b)AuGeAuGeNi(4.1.2);

增加了结构形式及供货状态见

c)(4.1.4、4.1.5);

增加了及合金靶材技术要求和试验方法见

d)AuGeAuGeNi(5.1、6.1);

增加了金靶材化学成分表见

e)(5.1);

增加了靶材焊接质量要求见

f)(5.5);

更改了金靶材外形尺寸及允许偏差见年版的

g)(5.6,20093.4);

增加了矩形靶材外形尺寸及允许偏差要求见

h)(5.6)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国有色金属工业协会提出

。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本文件起草单位有研亿金新材料有限公司北京有色金属与稀土应用研究所有限公司贵研铂业

:、、

股份有限公司紫金矿业集团黄金冶炼有限公司有研资源环境技术研究院北京有限公司深圳市众

、、()、

诚达应用材料科技有限公司

。

本文件主要起草人罗瑶吕保国江轩王鹏黄晓猛窦程亮关静罗远辉段华英刘满门朱武勋

:、、、、、、、、、、、

张博厚林烽先吴卫煌黄勇彪

、、、。

本文件于年首次发布为金靶材本次为第一次修订

2009GB/T23611—2009《》,。

Ⅰ

GB/T23611—2023

金及金合金靶材

1范围

本文件规定了金及金合金靶材的产品分类技术要求试验方法检验规则及标志包装运输贮存

、、、、、、

及随行文件和订货单内容

。

本文件适用于半导体电子器件用金及金合金靶材以下简称靶材

(“”)。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

金属平均晶粒度测定方法

GB/T6394

金属板材超声板波探伤方法

GB/T8651

金化学分析方法金量的测定火试金法

GB/T11066.1

金化学分析方法硅量的测定钼蓝分光光度法

GB/T11066.10

金化学分析方法第部分镁铬锰铁镍铜钯银锡锑铅铋含量的

GB/T11066.1111:、、、、、、、、、、、

测定电感耦合等离子体质谱法

贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法

GB/T15077

所有部分高纯金化学分析方法

GB/T25934()

溅射靶材背板结合质量超声波检验方法

YS/T837-

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

靶材target

在溅射沉积技术中的阴极部分该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子原子或离子的形式

,、

脱离阴极而在阳极表面沉积

。

注靶材由靶坯和背板组成

:。

32

.

靶坯targrtblank

阴极上用作溅射材料的材料

。

33

.

背板backingplate

用来支撑或固定靶材的材料