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文档简介

吸气材料的研究及应用一、吸气材料的定义二、吸气材料的一些基本概念三、吸气材料的应用一、吸气材料(吸气剂、消气剂)的定义★在电真空器件和真空科技领域吸收残余气体和器件工作时放出的气体，起到提高和维持器件真空度作用的材料。负压下工作★惰性气体提纯：可在正压下工作

吸气材料气源

漏气渗透解溶解吸抽气系统返流蒸发升华分解吸气材料二、吸气材料的一些基本概念吸附-扩散模型

吸附势能曲线(H2在Ni上)H2(g)H2(表面)2H(表面）Ed:解吸活化能Ea:化学吸附活化能ΔaH:物理吸附热ΔrH:化学吸附(反应)热DHH:H2的离解能ΔrHmEdEaΔaHrEpH2(g)HDHH化学吸附常需高温

间隙原子扩散势场示意图气体分类惰性气体碳氢化合物活性气体1234HeNeAr:CH4CmCHmCnCHm:COCO2N2O2H2O:H2D2T2:吸气材料PCTcurvesofLaNi5alloy图面心立方点阵中的间隙图体心立方点阵中的间隙图密排六方立方点阵中的间隙吸气材料气体吸着动力学说明吸气材料吸气材料激活蒸散型非蒸散型表面钝化膜，常温常压下稳定存在时间吸气材料吸气性能测试方法定容法原理图吸气速率吸气量定压法原理图分子流的条件：

<0.03Pa·m，

管道中气体平均压力d管道直径

吸气材料气体

吸气剂性能表征图吸气性能曲线

(a)吸气速率曲线(b)吸气速率和吸气量特征吸气曲线吸气材料用蒸散的方法，把吸气材料沉积在真空件壁上形成一种膜，用以吸附气体的一类吸气剂。★钡类吸气剂性能最好并被广泛应用★主要产品：掺氮吸气剂(叠氮化钡Ba(N3)2)

低氩吸气剂等。★优点：吸气速率高，价格便宜★缺点：吸气量小高温蒸散造成极间漏电、不能应用于高压管蒸散后与

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