改电子级磷酸场调研报告课件

电子级磷酸市场调研报告（修改版）贵州威顿晶磷电子材料有限公司

二OO八年十二月二日目录TOC\o"1-5"\h\z\o"CurrentDocument".电子级磷酸概述 4\o"CurrentDocument"电子级磷酸定义 4\o"CurrentDocument"电子级磷酸概述 4\o"CurrentDocument".电子级磷酸技术发展趋势 5\o"CurrentDocument".电子级磷酸的主要应用领域 6\o"CurrentDocument"在TFT-LCD产业的应用 6\o"CurrentDocument"在IC行业中的应用 9\o"CurrentDocument"IC用磷酸与TFT用磷酸区别分析 11\o"CurrentDocument".电子级磷酸国际市场综述 15\o"CurrentDocument".大陆电子级磷酸市场综述 15\o"CurrentDocument".电子级磷酸进出口分析 16\o"CurrentDocument".1大陆进出口数据分析 16\o"CurrentDocument".2.海外进出口数据分析 19\o"CurrentDocument".电子级磷酸市场容量评估 26\o"CurrentDocument"国内市场 26\o"CurrentDocument"国际市场 26\o"CurrentDocument".电子级磷酸价格分析 27\o"CurrentDocument"国际贸易价格 27\o"CurrentDocument"大陆贸易价格 30\o"CurrentDocument".国外电子级磷酸生产商 32\o"CurrentDocument"日本磷化学工业株式会社(RinkagakuKogyo) 32\o"CurrentDocument"9-2日本化学工业公司(NipponChemicalINDUSTRIALco.,ltd) 32\o"CurrentDocument"日本RASA工业株式会社总公司 32\o"CurrentDocument"9-4美国SIGMA-ALDRICHCORPORATION与HONEYWELL 33\o"CurrentDocument"以色列的ICLGroup(IsraelChemicalsLimited) 33\o"CurrentDocument"德国的Basf与Merck 34\o"CurrentDocument"波兰Kanto与Merck-Kanto 34\o"CurrentDocument"韩国东友 34\o"CurrentDocument"韩国东进DongjinSemichem 34\o"CurrentDocument"英国GOWER化学有限公司 34\o"CurrentDocument".国内电子级磷酸生产厂家 35\o"CurrentDocument"四川成洪磷公司 35\o"CurrentDocument"江阴澄星磷化工(集团)股份有限公司 36\o"CurrentDocument"其它信息 38\o"CurrentDocument".风险分析 39\o"CurrentDocument"市场风险 39\o"CurrentDocument"技术风险 39\o"CurrentDocument"成本风险 39本《电子级磷酸市场调研报告》以电子级磷酸的用途、产能、产量、消费、价格、进出口等数据为依据，以技术、市场和客户为报告的重点内容，内容包括市场条件，主要生产商经销商分析，技术情况，市场趋势等，数据来源于中国权威信息机构。.电子级磷酸概述电子级磷酸定义电子级磷酸又可称为超高纯磷酸，它是超净高纯试剂中的一种。主要用于芯片的清洗、腐蚀，印刷电路板的腐蚀和电镀清洗。目前作为TFT-LCD（薄膜液晶显示器）和IC（大规模集成电路）行业中的蚀刻液，被广泛应用于集成电路及液晶显示器领域中。电子级磷酸被称为“磷酸行业皇冠上的明珠”。电子级磷酸概述电子级磷酸在性质上和普通磷酸一样。磷酸（含量为85%时），为无色透明糖浆状液体，无水份的磷酸为无色不稳定的斜方晶体，易吸潮，能与水及乙醇任意混合。电子级磷酸生产的方法主要有湿法和热法两种。其中用硫酸及其他无机酸处理磷矿石制作的磷酸称为湿法磷酸；将湿法磷酸用提纯的方法净化得到杂质含量在要求范围内的磷酸为电子级磷酸；用电炉或高炉生产电子级度的单质磷而后经燃烧水化得到的磷酸则称为热法磷酸。湿法磷酸通过对含磷酸盐矿石的酸化处理（处理酸通常为硫酸），制得湿法磷酸；经过净化达到电子级磷酸的标准。净化磷酸的技术很多，如离子交换法、离子交换膜电渗析法、磷酸浓缩结晶法或复盐结晶法、有机溶剂萃取法、有机溶剂沉淀法、化学沉淀法等。其中超净过滤可能是采用来做电子级磷酸净化的技术。热法磷酸一般情况下，半导体用磷酸都采用热法（即电炉法）生产，因为半导体用磷酸要求可溶性金属尤其是重金属含量低，以避免对微电子线路的污染，其中任何尺寸大于0.5微米的不溶性杂质微粒都有可能造成这些期间的短路。用于微电子行业的超纯磷酸可用电子级的五氧化二磷合成，或者由电子级的三氯氧磷水解制得。其中五氧化二磷是在电炉中使用焦碳对磷矿石的还原法，还原出磷，然后再经过燃烧生成；电子级的五氧化二磷可由升华来提纯，制得超纯p2o5,然后用超纯水配制。而电子级的三氯氧磷由于三氯氧磷易挥发，可由精馏工艺制得，如下所示：工业三氯氧磷——精馏——水解——脱酸——稀释——水浴加热——超净过滤——超净分装——成品包装两种工艺的区别由于电费高涨，热法磷酸存在着很多缺点如：能耗高、污染大等原因，其生产与发展在不同程度上受到严重限制，这就大大的促进了湿法磷酸的发展，湿法磷酸对热法磷酸的竞争力一直呈上升趋势，净化湿法磷酸技术的开发研究也越来越受关注。然而，同湿法磷酸相比，热法磷酸的纯度和浓度却比较高。但是其制造成本较湿法磷酸要高将近一半，这主要是由于热法磷酸工艺是先从磷矿石中制黄磷，再制磷酸。由于黄磷生产消耗大量电力又污染环境，因此生产成本非常高。.电子级磷酸技术发展趋势电子级磷酸属于微电子化学品，主要用于芯片的清洗和腐蚀，它的清洁度和纯度对IC产品的成品率、电性能及可靠性等都有着十分重要的影响。在微电子器件、电路技术方面,随着高集成度、超高速、超高频集成电路及器件的开发，集成电路与器件的特征尺寸越来越精细，加工尺寸已进入深亚微米、百纳米直至纳米级。2006年国外高性能微处理器的特征尺寸已达0.1印m,目前01m的光刻技术已进入实用化阶段；预计到2010年，特征尺寸将达到0.05^m;到2012年，特征尺寸将达到0.035um。而国内目前的光刻技术水平以0.35um为主，根据国家“十一五”发展规划，预计至“十一五”末,将达到0.25〜0.18um的水平。但要达到这个目标，必须对半导体与集成电路行业用的微电子化学品如超净高纯试剂、光致抗蚀剂(光刻胶)、特种气体、封装材料等提出更高的要求,使其保持同步或超前发展。中国在电子级试剂的发展方向上，将重点进行适用于0.2〜0.6um工艺技术的超净电子级试剂的研究开发，同时开展0.09〜0.2um工艺技术加工所需超净电子级试剂的前期研究。超净电子级试剂的研发方向也就是电子级磷酸的技术发展趋势。.电子级磷酸的主要应用领域在TFT-LCD产业的应用TFT-LCDTFT-LCD是(ThinFilmTransistor-LiquidCrystalDisplay)的缩写，也就是薄膜晶体管液晶显示器的意思。它是液晶显示器中最重要的一种，其产值和影响力在液晶显示器家族中有着举足轻重的地位。可广泛应用于电视机、笔记本电脑、监视器、手机等各个方面。TFT-LCD根据薄膜晶体管材料的不同，又分为非晶硅TFT(a-SiTFT)、多晶硅(p-SiTFT)和单晶硅MOSFET(c-SiMOSFET),后者形成的LCD被用于LCOS(LiquidCrystalonSilcon)技术。TFT-LCD技术是微电子与液晶显示巧妙结合的一种技术。人们将把Si上进行微电子精细加工的技术，移植到在大面积玻璃上进行TFT阵列的加工，再与业已成熟的LCD技术相结合，以求不断提高产品品质，增强自动化大规模生产能力，提高合格率，降低成本，使其性能/价格比不断向CRT逼近。TFTLCD由于它的体积小、重量轻、无辐射等优点，在很多领域得到广泛应用。电子仪器、仪表；文字处理机；电子手表、计算器；笔记本电脑、平板电视；台式电脑监视器；工业监视器；摄像机、数码相机；投影显示；车载或便携式VCD、DVD；手机屏、PDA、GPS；液晶电视、高清晰度数字电视。而就LCD而言，虽然它发明于美国，但其技术和产业的发展却在东亚，目前已基本上由日本、韩国和台湾地区形成三足鼎立的局面。TFT-LCD的全球主要产区为韩国、台湾、日本和中国大陆。韩国两大厂商LG.PhilipsLCD和Samsung遥遥领先；台湾厂商凭借低制造成本和下游资讯产品市场的优势紧随其后；日本厂商控制了大部分设备和上游原材料和零组件的供应。从整个LCD业者的竞争业态而言，韩国三星仍然处于目前在全球LCD市场中的领导地位。在全球TFT-LCD产业中，以台湾的企业最多，即有所谓的台湾“四虎”之称。中国大陆作为新进入者，依赖于政策扶持在全球巨大的TFT-LCD市场中占据一席之地。近年来，随着中国综合实力的增强，特别是上广电和京东方相继建成两条TFT-LCD的五代线，中国大陆有可能会逐步成为全球最大的LCD产业基地。在TFTLCD之Array制程中，主要需要磷酸刻蚀的是Mo/Al金属层，金属铝（Al）蚀刻液主要由硝酸（HNO3）、磷酸（H3PO4）及醋酸（CH3COOH）三种成份混合而成，反应机制包含二道步骤：先利用hno3的强氧化性将铝金属层氧化成为Al2O3,再由H3PO4与Al2O3反应生成可溶性的磷酸铝，其中CH3COOH为缓冲溶液，扮演H+提供者的角色，使蚀刻率能维持稳定；其中硝酸及磷酸浓度比例则是影响蚀刻速率的关键。行业内目前没有对磷酸的具体的标准。TFT-LCD的相关行业标准也正在制定当中。TFT技术是二十世纪九十年代发展起来的，TFT-LCD结合了半导体技术和液晶光学技术而创造出的新型显示技术。随着半导体技术的发展和有源矩阵概念的提出，TFT-LCD技术开始逐步形成，并于90年代初期在日本开始产业化。TFT-LCD产业的成本随代的变化而有一定差异，以当前主流的第五代生产线例，TFT-LCD成本中原材料占的比重最高，达到62%。目前设在中国的液晶面板厂家主要有上广电（产能5.2万片/月，五代线）、龙腾光电（五代线）、京东方（五代线）、上海天马（4.5代线）、新华日（1代线）以及台湾面板4虎设在大陆的工厂。电子级磷酸在TFT-LCD制作过程中的应用1）TFT-LCD制程array段，等同于半导体制程，均是利用sputter/CVD成膜技术，来形成导体层、介电层、扩散障碍层、保护层等，再利用上光阻，曝光，显影在光阻上形成所需的pattern,接着利用蚀刻的方法将未受光阻保护的区域去除，最后再将光阻去除。2)目前应用于LCD制程array段及半导体相关产业的蚀刻技术，主要可分为湿蚀刻(WetEtching)与干蚀刻(Dryetching)两种。湿蚀刻反应过程大概可分为三个阶段：a.反应物质扩散到欲被蚀刻材质的表面；b.反映物与被蚀刻薄膜反应；c.反应后的产物从蚀刻表面扩散到溶液中，并随溶液排出。在此三个阶段中，反应最慢者就是蚀刻速率的控制关键，也就是说，该阶段的进行速率即是反应速率。相对于干蚀刻而言，湿蚀刻为较早被开发应用之蚀刻技术，主要依靠薄膜与特定溶液间的化学反应，针对未被光阻覆盖区域，进行薄膜的移除。湿蚀刻的优点是制程单纯，产能速度(Throughput)快，并且具有优秀的蚀刻选择比。不过，因为湿蚀刻是利用化学反应来进行薄膜的移除，而化学反应的发生并无特定的方向性，故湿蚀刻的另一特点为等向性(Isotropic)的蚀刻。需要注意的是蚀刻后之剖面，有明显的底切(Undercut)现象存在。一个很重要的方面就是要控制湿蚀刻的反应速率。通常可改变溶液浓度及反应温度。溶液浓度增加可加速蚀刻，虽然浓度越浓，或是温度越高，薄膜被移除的速率就越快；但是太高的薄膜蚀刻率往往会造成严重的底切现象，所以这两项条件必须被适当的控制。蚀刻时间，会随着溶液对薄膜材质的蚀刻率减慢，而延长整个薄膜被移除所需的时间，因此这三个参数基本上是相互关连的。另外适当的搅拌，也可以使溶液内的反应物往薄膜表面所进行的质量传递(MassTransfer)不再完全依赖扩散作用进行，而可以借着搅拌所提供溶液的对流，来提升反应物输往薄膜表面的能力。适当的搅拌，如：喷洒所制造的气泡，摆动及超音波震荡等，亦可适度的减轻底切现象的发生。蚀刻反应的进行方式则是藉由硝酸与铝反应产生氧化铝，再由磷酸和水来分解氧化铝；而醋酸主要是用做缓冲剂(BufferAgent)来抑制硝酸的解离。至于蚀刻速率的调整，则可藉由改变硝酸及磷酸的比例，再配合醋酸的添加或是水的稀释来控制，相关之化学反应式如下：HNO3+H2OfH3O++NO3-2Mo+6H+f2Mo3++3H22Al+6H+f2A13++3H2H3PO4+2H20f2H3O++HPO42-2Mo3++3HP042-fMo2(HP04)3f2MoP04+H3P042A13++3HPO42-fAl2(HPO4)3f2AlPO4+H3PO4在IC行业中的应用集成电路(IC)是通过一系列特定的加工工艺，将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件，按照一定的电路互连，“集成”在一块半导体单晶片(如硅或砷化镓)上，封装在一个外壳内，执行特定电路或系统功能。集成电路的技术发展迅速,目前主流加工技术是8英寸硅片，0.25微米线宽。12英寸硅片0.18微米已经批量生产。当集成电路线宽达到0.1微米及以下，全面进入纳米领域。据国际权威机构预测，到2014年，半导体芯片加工技术将达到18英寸硅片、0.035微米特征尺寸(线宽)。届时，微电子的基础理论、材料技术和加工技术都可能发生革命性的变化。氮化硅层(Si3N4)蚀刻一般多使用85%的磷酸(H3PO4)在160〜170℃之间做氮化硅层的蚀刻，化学反应式如下：Si3N4+4H3PO4+10H2O Si3O2(OH)8+4NH4H2PO4铝导线蚀刻铝常在半导体制程中作为导电层材料，湿式铝层蚀刻可使用多种无机酸碱来进行，而以硝酸、磷酸及醋酸之混合溶液其蚀刻速率最为稳定，目前被广泛运用在半导体制程中。其中磷酸约占80%,加入3-5%的硝酸(硝酸和铝生成硝酸铝，提高腐蚀速率，但不能加得太多，否则会影响光刻胶抗蚀能力)，10%的冰醋酸(降低腐蚀液的表面张力，增加硅片表面与腐蚀液的浸润，提高腐蚀的均匀性，起到缓冲作用)，水约占5%。磷酸腐蚀液的腐蚀原理是，铝是活泼金属，它能与磷酸中的氢离子发生置换反应。从而使铝溶解于磷酸中，其反应式如下：2Al+6H3PO4=2Al(H2PO4)3+3H2生成的酸式磷酸铝［Al(H2PO4)3］易溶于水。

浓磷酸在使用一段时间以后，会发现腐蚀液中有白色混浊物。这是由于磷酸与铝生成难溶的磷酸铝白色沉淀之故，其反应式如下：2A1+2H3PO4=2A1PO4+3H2这些沉淀物会附着在硅片表面，对铝层的腐蚀是不利的，必须定期更换腐蚀液。同时铝和磷酸化学反应十分剧烈，产生大量的氢气也会浮积在硅片表面。为了清除这些气泡，可以加入少量的无水乙醇或硝酸。3.3.3IC行业使用的磷酸标准IC与所用试剂的标准关系见下表磷酸级别颗粒/pm含量/个.mL-1各种金属杂质含量适用半导体IC/pmMOS>527<1,0*10-4>5BV-I>23<(1-n)*10-8>3BV-II>22<(1-n)*10-8>2SEMI-C1>125<1,0*10-7>1,2C7,BV-m>0.525<1,0*10-80.8-1.2C8,BV-W>0.55<1,0*10-90.2-0.6C12,BV-V>0.2TBD<1,0*10-100.09-0.23.3.4SEMI（国际半导体设备与材料协会）的磷酸标准指标单位SEMIAssay(H3PO4)%79.—81.79.—81.79.—81.85.—87.85.—87.85.—87.Grade1Grade2Grade3Color,maximumAPHAChloride(Cl)Ppm111Nitrate(NO3)Ppm555Sulfate(SO4)Ppm1212Aluminum(Al)Ppb50030050Antimony(Sb)Ppb1000035001000Arsenic(As)Ppb505050Barium(Ba)Ppb50Cadmium(Cd)Ppb45050Calcium(Ca)Pphromium(Cr)Ppb20020050Cobalt(Co)Ppb505050Copper(Cu)Ppb505050Gold(Au)Ppb30015050Iron(Fe)Ppb2000700100Lead(Pb)Ppb3003005010Lithium(Li)Ppb10010010Magnesium(Mg)Ppb20020050Manganese(Mn)Ppb10010050Nickel(Ni)Ppb20020050Potassium(K)Ppb1500450150Silver(Ag)PpbSodium(Na)Ppb2500500250Strontium(Sr)Ppb10010010Zinc(Zn)Ppb200040050Titanium(Ti)Ppb30030050一般来说Grade2磷酸满足于TFT-LCD用，Grade3磷酸满足于IC行业使用。IC用磷酸与TFT用磷酸区别分析磷酸（H3PO4）为无色透明或略带黄色稠状液体，属中性酸，具有吸湿性，易溶于水。磷酸的用途很广泛:它可被用于制造各种磷酸盐，电镀抛光剂、钢铁防锈剂、印刷工业去污剂、有机合成催化剂、洗涤剂、涂料、医药、水处理等方面。止匕外，磷酸还可以根据品质的不同分为：工业级、食品级、医药级和电子级。针对不同的产品用途，可以使用不同级别的磷酸。如：食品级磷酸可广泛应用于可乐、啤酒、色拉油、糖果和乳制品等食品行业的酸味剂或添加剂等。在这里IC用或TFT用磷酸主要指电子级磷酸。电子级磷酸又可称为超纯磷酸，它主要应用于电子企业晶片生产过程中的清洗或蚀刻。随着液晶电视需求的不断发展和越来越多的半导体芯片制造企业向中国的转移，用于超薄高清晰度液晶电视及芯片制造工艺中的电子级磷酸的需求也将大幅度增长。那么了解IC及TFT用磷酸的相关情况就变得至关重要了。有些人对于IC用或TFT用电子级磷酸还不太了解，认为区别不大，其实这是个误区。事实上，用于这两个行业的电子级磷酸还是有些不同的。.行业用标准不同首先，由于这两个行业的不同，其使用磷酸所依据的标准也不大相同。据悉，目前还没有明确的TFT用磷酸标准。下面就是IC用磷酸的标准参照表附表：IC与所用试剂的标准级别 颗粒/|Jm含量/个.mL-1|各种金属杂质含量适用半导体IC/|Jm11

MOS三527W1.0*10-4三5BV-I三23W(1-n)*10-8三3BV-II三22W(1-n)*10-8>2SEMI-C1三125W1.0*10-7三1.2C7,BV-m三0.525W1.0*10-80.8-1.2C8,BV-W三0.55W1.0*10-90.2-0.6C12,BV-V三0.2TBDW1.0*10-100.09-0.2IC用电子级磷酸主要用于硅晶圆片工艺加工过程中的清洗和蚀刻。不同尺寸的硅片，表面清洗或蚀刻的要求不同，对高纯清洗剂的标准需求也不同。300mm硅片表面清洗的要求指标单位1997年180nm1999年130nm2003年100nm2006年Ca,Cu,Cr,Fe,K,Mn,Na,Ni原子/cm25x10-94x10-93x10-91x10-9Al,Ti,Zn原子/cm25x10-102.5x10-102x10-101x10-10如表所示,IC业硅片的表面清洗或蚀刻的工艺要求越来越高，其清洗剂的纯度和各方面杂质的要求也越来越高。而TFT-LCD用磷酸目前还没有具体的使用标准，但是我们知道的是，TFT-LCD所用蚀刻液各项指标的不同可以直接导致干湿蚀刻的比重有很大的差别，至于优劣与否还需要进一步的考察。.具体产品标准的差异性分析由于信息的局限性，目前我们只掌握了成洪磷一家关于TFT和IC用磷酸的标准。据悉，国内只有他一家取得了电子级磷酸生产关键技术上的突破，也就是说只有成洪磷成功的生产出grade1和grade2,两个电子级磷酸的产品，其具体指标如表所示：成洪磷电子级磷酸标准ItemsUnit成洪磷电子级磷酸标准用于液晶显示器(TFT-LCD)的铝刻蚀剂用于半导体(IC)芯片清洗和腐蚀H3P04WT%85.0-87.085.0-87.0ColorppmW10W10NO3ppmW5W0.5SO4ppmW10W5CLppmW1W0.5ALppbW100W50KppbW100W50SbppbW500W400AsppbW50W1012

Bippb<20<10Bappb<50<20Bppb<50<30Cdppb<50<10Cappb<400<150Crppb<50<30Coppb<50<30Cuppb<20<20Auppb<50<10Gappb<10<10Feppb<400<150Pbppb<50<30Lippb<20<10Mgppb<50<20Mnppb<50<20Nippb<50<20Agppb<30<10Nappb<100<50Snppb<30<20Srppb<20<10Tippb<100<50Znppb<100<50还原性物质ppm<10<10微粒（最多）Pcs/ml<100<50如上表数据所示，成洪磷所用的TFT和IC用磷酸标准是不同的，但是为了更加准确的判断他们之间的不同以及差异程度，我们在这里用统计的方法对其进行假设，希望得到一个相对合理的结论。假设他们的指标为准确值而不是一个区间范围并用SPSS来统计他们的不同程度。其实验结果如下。PairedSamplesStatisticsMeanNStd.DeviationStd.ErrorMeanPair1TFT84.7131120.93821.721IC43.103175.13313.494PairedSamplesTestPairedDifferencestdfSig.(2-tailed)MeanStd.DeviationStd.ErrorMean95%ConfidenceIntervalofthe13DifferenceLowerUpperPair1TFT-IC41.6159.76810.73519.6963.543.87730.001Pairedsamplestest是统计学中专门用来估算同一产品的两个不同方面差异性的实验，其可信度很高。其中最为重要的结果是Sig.Two-tailed,如果该结果小于.05，就标志着我们比较的两组数据趋势是完全不同的。如上表所示，成洪磷的TFT用和IC用电子级磷酸的Sig.Two-tailed是.001，这说明其两种产品指标之间存在很大的差异性，其中TFT用磷酸的Deviation是120.938,而IC用磷酸为75.133，这表明IC用磷酸标准明显高于其生产的TFT用磷酸。关于它们之间的不同的程度我们可以用下列公式计算得出：EtaSquared=t2/（t2+N-1）70.33（结果如是.01二差异程度较小，.06=差异程度适中，.14=差异程度较大）根据我们计算出的结果.33%说明成洪磷的TFT和IC用磷酸标准本质区别非常大。关于具体的差异程度，我们可以用TFT的指标为基数来计算平均值的方法估算出来，最后结果约为50%,这就意味着成洪磷的IC用磷酸标准高于其TFT用磷酸标准约一半左右。图：成洪磷电子级磷酸标准趋势图.线宽的不同在TFT-LCD制成中因线宽远较半导体制成大，（估计大1〃m）所以他们使用14的磷酸标准存在着差异。专业人士认为TFT用与IC用磷酸的不同主要在于线宽的品质上。TFT-LCD大概在0.5-1.0um；而IC在0.2um左右。由于TFT-LCD的线宽大一些，所准许的微尘颗粒比IC要多一些。因此，线宽的不同可以是造成TFT用和IC用磷酸不同的一个本质原因。.电子级磷酸国际市场综述全球TFT-LCD企业主要集中在台湾，日本和韩国这三个国家，再加上中国大陆地区的几个企业，总体来说TFT-LCD生产线电子级使用也集中在上述三个国家中。种种信息表明，TFT-LCD行业处于产业周期的回升阶段，该上升趋势至少要维持到2008年。三星、夏普、友达、奇美纷纷在投资建设7.5、8代线，到2007年大约有7条7代以上的线建成。IC的新生产线也都在投资建设中。预计2010年之前全球的电子级磷酸容量在10万吨左右。信息显示，全球电子级磷酸扩产的企业都在日本。日本急速扩产有两种可能：一是为了满足市场的增长；二是为了和其他企业争夺现有市场。不管是哪一种可能性，都意味着要进入这个市场，就要和日本的企业进行竞争是必然的。从整个世界磷酸市场的需求供给分布来看，主要的磷酸需求地区和电子级磷酸生产地区都集中在亚洲，又特别以日本、韩国、台湾和中国大陆四个国家地区为重中之重。5大陆电子级磷酸市场综述目前大陆市场电子级磷酸的用量大约就在3500吨左右。考虑目前在建的项目：龙腾光电5代线，4万片，天马4.5代，3万片（07年），磷酸用量每月将增加100-120吨。预计2010年大陆电子级磷酸年消耗量可以达到5000吨。除了以磷酸形式进口的以外，估计大量的需求是以进口磷酸蚀刻液来满足的。蚀刻液的进口量由于数据无法单独提出来，而无从知道。但是我们可以大致推算蚀刻液用量和磷酸用量的比例。我们知道05年的磷酸进口量大约是140015

吨，而根据下表测算出的实际需求量应该是3500多吨，那么就是说明了以蚀刻液方式进口的磷酸应该大约是2100吨。也就是说以蚀刻液方式进口的磷酸用量大约是以磷酸方式进口的1.5倍。企业磷酸用量TFT-LCD上广电840吨/年京东方720吨/年吉林彩晶360吨/年小计1920吨/年IC中芯国际720吨/年台积电100吨/年和舰科技60吨/年上海宏力200吨/年上海先进60吨/年上海华虹60吨/年首钢日电60吨/年其他：上海贝岭、无锡华润、无锡58所、绍兴华越、宁波国微明华、燕东、福建福顺、沈阳47所、天水天光、西安771所、重庆24所、杭州土兰、中纬积体、乐山-菲尼克斯、上海新进等20吨/年/条线，约有20条线小计1660吨/年合计3580吨/年6.电子级磷酸进出口分析大陆进出口数据分析2007年中国大陆磷酸进口统计16

2007年中国大陆磷酸进口统计 单位：吨进口国进口量日本1954.5台湾651.4韩国316.8美国43.7其他272.6合计3239.02007年中国磷酸进口结构图2007年中国磷酸进口结构图2007年中国进口磷酸3239吨，可以认为都是用于液晶显示器和IC行业或更高级别的电子级磷酸。中国主要从日本进口电子级磷酸，2007年从日本进口磷酸1954吨，占进口总量的61%，其次是台湾和韩国，分别占进口总量的20%和10%。中国05〜07年进口磷酸增长图350032390.6300025002000150014760.551000500随着国内TFTLcd和ic2005219947%0.50.45350032390.6300025002000150014760.551000500随着国内TFTLcd和ic2005219947%0.50.45］进口数量-增长率的发展中国对电子级磷酸的需要越来越大，平均20062007以30%的年需求量递增，按此计算，预计2008年，中国电子级磷酸需求量将达到4500吨左右，不包括进口蚀刻液中所含磷酸。主要进口单位上广电磷酸使用情况我们分析了上广电05年，06年，07年的进口磷酸数据，得到以下信息。17

上广电2007年进口磷酸824吨，平均每月用量68.7吨。每月进口量如下图;2007年比2006年进口减少了67吨，基本上是上广电一个月的用量。2006年和2007年上广电进口量相差不大，这是上广电已经实现生产并稳定发展的一个信号，排除上广电扩产因素以此预计2008年上广电磷酸用量将在850〜900吨之间。其它企业高纯磷酸使用情况18

中国大陆其他使用高纯磷酸的厂家，例如京东方、龙腾光电等并没有海关数据可以查阅。我们分析这些厂家直接是进口蚀刻液的，另外，中国海关数据显示中国从韩国进口磷酸317吨，而韩国海关数据显示，韩国出口到中国的磷酸是422吨，相差100多吨，可能这就是蚀刻液部分。.海外进出口数据分析6.2.12007年台湾进出口数据台湾2007年磷酸进口交易国所占比重□□□□6.2.1.1进口台湾2007年磷酸进口交易国所占比重□□□□主要进口交易国和交易量 单位：吨国别比利时美国中国韩国日本马来西亚其它数量1728.56383.622257110783.43888.6780.253.9比利时日本其它中国马来西亚美国韩国一2007年台湾共进口磷酸40189吨，其中中国大陆贡献了22571吨，但从价格上判断不是电子级磷酸，最多也就是澄星集团所谓的“准电子级”磷酸。6.1.2.2出口2007年台湾磷酸出口海关数据表 单位：吨交易国巴基斯坦日本中国澳大利亚厄瓜多尔泰国马来西亚其它合计19

数量1476122760930826914712920443702007年台湾磷酸出口贸易图马来西亚□马来西亚口中国马来西亚口日本口澳大利亚口其它口泰国口巴基斯坦□厄瓜多尔2007年台湾共出口磷酸共计4370吨，其中电子级磷酸是2081吨，占出口总量的47.6%。电子级磷酸主要出口到中国、日本、马来西亚等。日本2007年度磷酸进出口数据进口2007年日本磷酸进口数据表 单位：吨国别马来西亚中国韩国摩洛哥越南英国德国美国台湾其它数量458221144829217121292318122710477表中有颜色底纹的是电子级磷酸，即是进口价格大于1美元/千克。几年差不多都是如此。日本从中国进口2万多吨磷酸，买给中国2千多吨磷酸，进出比10比1，

几年差不多都是如此。2007年日本共进口磷酸44409吨，其中电子级磷酸1540吨，占3.5%。日本是电子级磷酸生产国，主要是进口普通磷酸，出口电子级磷酸。出口2007年日本出口电子级磷酸数据汇总（单位：吨）国别数量韩国12403.0台湾3855.7美国2695.7中国2022.5新加坡941.3泰国532.8以色列77.8马来西亚49.4菲律宾44.0印度尼西亚19.1香港14.7澳大利亚3.8越南2.0俄罗斯0.928德国0.632巴西0.600合计22663.92007年日本出口磷酸22664吨，且价格均在1美元/kg的以上，都是电子级磷酸。下图是日本国2005〜2007年主要出口国增长情况，图中可以看出，日本出口到台湾的电子级磷酸在下降，说明台湾的IC行业在萎缩；而出口到美国、韩国、中国的磷酸在增加，特别是韩国，2006年取代台湾成了日本磷酸最大的消费地区，说明这些国家的IC和TFT行业在增长。140001200010000:8000单600040002000日本05〜07年主要出口国增长情况 T - ♦美国t-中国.韩国■■-台湾 1 2005 2006 2007韩国2007年度磷酸进出口数据进口相对于台湾和日本，韩国的进出口贸易简单，进出口渠道单一。2007年韩国进口磷酸表单位：吨进口国进口量日本11969中国417722

美国9.237马来西亚5.149台湾0.134合计16160韩国2007年进口磷酸16160吨，其中从日本和中国就进口了16146吨。中国出口到韩国的磷酸是食品磷酸或工业磷酸。韩国是电子级磷酸的主要消费国，主要由日本国提供，三年来磷酸进口情况如下:单位：吨年度200520062007总量91401477616160其中中国156453904177日本7567937011969

韩国磷酸使用量在上升，从侧面反应了韩国液晶和IC等行业的健康发展，尤其是从日本进口量在稳定上升。出口韩国2007年出口磷酸统计表 单位：吨国别出口数量中国422.4新加坡275.4日本145.9马来西亚55.9香港2.6合计902.3美国2007年度磷酸进出口数据进口美国2007年磷酸进口贸易 单位：吨国别进口数量韩国18495以色列1325724

2007年美国进口磷酸41995吨，其中电子级磷酸3777吨。普通磷酸主要来自韩国、以色列和中国，电子级磷酸主要来自日本。出口2007年美国磷酸出口统计表 单位：吨国别出口数量加拿大65689墨西哥3445哥斯达黎加827爱尔兰211比利时179新加坡154252007年美国出口磷酸71727吨，其中电子级磷酸1766吨（底纹）。出口的磷酸当中，有65689吨是给加拿大的，占总出口量的92%。.电子级磷酸市场容量评估国内市场目前国内IC和TFT-LCD用磷酸基本上都是进口磷酸，其用量为3500吨左右，IC和TFT企业直接购进或者进口的蚀刻液中所含的电子级磷酸如前所述一般为直接进口磷酸量的1.5倍，这部分电子级磷酸约为5250吨。中国大陆市场容量约为3500+5250=8750吨/年。市场增长率在15〜20%。国际市场TFT-LCD磷酸用量（含蚀刻液中磷酸量）从我们了解的情况知道：一条月产5万片左右面板的5代生产线的电子级磷酸消耗量是800吨/年，其他代线的磷酸用量根据玻璃基板面积算出一个比例，我26

们以此为基础可以推断出电子级磷酸消耗量，又据此估算出三个主要面板生产国（地区）的磷酸用量。代线用磷酸量推算表代线第1代第2代第3代第4代第5代第6代第7代磷酸用量比例0.089510.139860.250.41846211.9405593.06818年消耗磷酸量7211120033480015522454台韩日各自拥有的代线生产线（2007）代线1234567台湾21104852韩国1232512日本613105021磷酸用量（吨/年）648177646003674104001241612270合计45784吨/年全球TFT-LCD企业集中在上述三个国家（地区），总体来说TFT-LCD生产线2007年使用电子级磷酸至少是4.5万吨。IC磷酸用量按中芯国际每万片IC每年消耗45吨计算（中芯国际产能为16万片/年，磷酸用量为720吨/年），2007年（除大陆外）全球IC产能约为700万片，推算出全球IC行业电子磷酸消耗量为3.15万吨。这样的话，2007年全球的电子级磷酸年消耗量至少7.65万吨。.电子级磷酸价格分析国际贸易价格台湾贸易价格2005年〜2007年台湾从日本、韩国、美国、中国的磷酸进口量和价格表交易国20052006200727

数量（t）单价（美元/kg）数量（t）单价（美元/kg）数量（t）单价（美元/kg）美国70401.2273681.453841.38日本101081.4283961.3638891.29韩国15237*103470.73107830.81中国9554*146060.63225710.65从价位上看,我们认为台湾从韩国和中国大陆进口的磷酸并不是电子级磷酸,06年从大陆进口的价约5040元/吨，受人民币升值影响07年约4550元/吨，这些价位和当时的国内食品磷酸价格基本相当。08年3月台湾从大陆进口的磷酸价格上升到了0.765美元/kg。日本贸易价格2007年日本出口磷酸22664吨，且价格均在1美元/kg的以上，都是电子级磷酸。日本的电子级磷酸主要出口到韩国，数量为12403吨，平均价格1.59美元/kg。其次是台湾和美国，出口到中国的电子级磷酸并不多。韩国贸易价格韩国2007年进口磷酸16160吨，其中从日本和中国就进口了16146吨。又其中从日本进口磷酸11969吨，占进口总量的74%，平均价格是1.63美元/kg，这与日本出口到韩国的数据基本上是吻合的。从中国进口磷酸4177吨，占进口总量的26%，平均价格为0.81美元/kg。1.802007年韩国进口磷酸单价曲线1.601.401.20中国

日本1.802007年韩国进口磷酸单价曲线1.601.401.20中国

日本2007年韩国从日本、中国进口磷酸的单价表（美元/千克）2007123456789101112中国0.770.760.760.780.790.780.750.810.880.860.870.95日本1.601.611.631.701.591.571.571.611.631.631.681.70韩国从中国、日本进口磷酸的价格是比较平稳的，从中国进口的磷酸价格只有日本价格的一半，这说明磷酸质量有很大的差别。2007年韩国磷酸出口只有902吨，主要出口到中国、新加坡和日本。价格在1美元/千克附近。可以认为韩国出口的磷酸都是电子级别的。出口价格和走势图如下：韩国2007年主要出口价格表（美元/千克）2007123456789101112马来西亚1.471.530.000.001.470.001.470.000.001.281.191.37中国1.701.351.681.382.270.001.911.561.271.301.261.25日本1.000.960.930.970.900.000.000.971.790.001.081.14新加坡0.000.000.000.000.000.650.001.150.001.091.211.09表格中0.00表示当月该国家没有向韩国进口磷酸。2007年韩国磷酸出口价格表美国贸易价格2007年美国进口磷酸41995吨，其中电子级磷酸3777吨。普通磷酸主要来自韩国、以色列和中国。2007年美国出口磷酸71727吨，其中电子级磷酸1766。出口的磷酸当中，有65689吨是贡献给加拿大的，占总出口量的92%，价格在0.7美元/千克左右，结合加拿大液晶等行业现状，这部分磷酸应该是“准电子级”磷酸或就是食品级磷酸。大陆贸易价格时间123456789101112平均$/kg200635.315.917.571.146.542.848.233389.5641.679.157.62.593200728.834.4343.76849.357.570.361.99684.264.147.82.114以上是06.07年大陆磷酸进口平均价格，在数据统计中我们已经将个别特别高的数据剔除了，所以2006年平均进口价格是2.593美元/公斤,2007年是2.114美元/公斤是实际结果。2008年1-6月月进口量大于1吨的磷酸进口统计表123456合计工业磷酸进口单价（美元/吨）1923.62591.32394.52724.42634.83327.9进口量（吨）370.5200.26172507.2192.4362.31804.630

进口金额（万美元）71.2751.941.2138.250.7120.57473.8食品磷酸进口单价（美元/吨）1840.990001725.3900000进口量（吨）5.341.0812.82.160021.38进口金额（万美元）0.980.972.211.94006.1注明:月进口量大于1吨的磷酸不是特殊行业用酸，价格波动不大,具有代表性.月份123456工业进口单价1923.62591.32394.52724.42634.83327.9食品进口单价（美元/吨）1840.990001725.3900000苣仪«苣仪«1、大陆磷酸进口量没有什么规律，但上半年总的进口量1800吨和去年同期相当，食品酸可以不计。2、进口单价上升幅度是大的，从元月份的1923美元到6月份的3328美元，涨幅达到73%。上半年平均价位达到了2599.4美元/吨.合人民币18195元/吨3、可以看出：大陆磷酸进口量不会有大的攀升，但进口价格会稳步上升，而且幅度不会小。2008年2月、3月大陆从日本进口的磷酸价格分别是2.18和2.19美元/kg。中国大陆主要是进口电子级磷酸，出口普通磷酸，年出口量达30多万吨。31.国外电子级磷酸生产商日本磷化学工业株式会社(RinkagakuKogyo)公司成立于1926年11月。公司于1995年开始生产电子级磷酸，2005年进一步扩大电子级磷酸生产规模。公司1990年加入东曹集团(TosohCorporation)o东曹集团是日本大型多方位经营的化学公司，是亚洲第11大、日本第8大化学品生产商日本化学工业公司(NipponChemicalIndustrialCo.,Ltd)日本化学工业公司NipponChemicalIndustrialCo.,Ltd.创立于1893年。是日本无机化学工业的先驱。1985年与三井、拉沙合资成立磷酸厂生产湿法磷酸。该公司在日本爱知县的电子级磷酸生产基地扩建工程已经完工，生产能力提高50%，达到60000t/a。但是该数据可能有误。据台湾工研院统计的2004年产能，日本化学工业公司的产能是9100吨。据称该扩建工程是为了回应液晶显示屏(LCD)生产过程中蚀刻用电子级磷酸增加的需要。伴随LCD需求的扩大，电子级磷酸产品期望成为该公司无机化学品中增长率最高的产品。该公司的电子级磷酸产品除了满足日本、韩国及中国台湾地区的需要外，正研究在中国大陆及亚洲其它地区扩产计划。日本RASA工业株式会社总公司日本RASA工业株式会社总公司成立于1913年。现在由化学肥料事业主体进而衍生、发展成以磷酸为主的化学成品事业。RASA的电子材料测试用集成电路芯片再利用被大多数的台湾半导体装置制造厂商所采用；因此，RASA工业株式会社和台湾的产业发展有着坚实的密切32合作关系。RASA与台商合资的晔晶科技，（这家所谓的晔晶科技是个贸易公司，主要从事TFT-LCD、IC蚀刻液的买卖销售，它的投资人有来自日本的RASA、丸善药品产业和台湾的三联科技——投资比例是Rasa工业26%，多摩化学13%，丸善药品25%，三联科技24%、多联科技〈多摩化学、三联之合资〉12%）晔晶科技用来销售的产品（磷酸等原料），是由RASA大阪厂供应，为了增加对晔晶科技的供应量，RASA出资在台湾成立理盛精密科技股份有限公司，主要生产电子级磷酸。该公司第一期年产量6300吨；为了供应华映2006年在中科二期后里基地投资新建厂区的需求（预计其材料使用量将是目前的2倍或更多），理盛精密已经于2006上半年再投资约新台币3亿元增建二厂，预计2006年七月份完工，产量将提高到20000吨。美国Sigma-AldrichCorporation与Honeywell美国Sigma-AldrichCorporation与Honeywell类似于一集团公司,其子公司包括Sigma,Aldrich,Riedel-deHaen，FlukaandSupelco等，是一家一流的生命科学与高科技公司。Sigma-Aldrich与Honeywell共同经营其子公司Riedel-deHaen的电子级磷酸，但品牌（PURANAL®）属于HoneywelloHoneywell在中国的发展战略是发展电子材料产业，并在中国寻求与电子材料供应企业和研究机构的合作。很有可能在不久的时间里Honeywell就会在中国大陆设立化学品材料的工厂。其中是否会涉及和我们产品相关的电子级化学品。以色列的ICLGroup（IsraelChemicalsLimited）以色列的ICL高性能产品部2005年11月6日收购了美国的AstarisLLC公司的业务，形成了ICL新的业务部门-ICLPerformanceProductsLP。Astaris是北美的FMCCorporation与SolutiaInc合资组建的北美公司，主要经营专用和食品级磷酸和磷酸盐。Astaris的磷酸为热法磷酸。2005年被ICL收购后，Astaris将由ICL的PerformanceProductsLP经营。2005年7月12日，ICLPerformanceProductsLP开始销售半导体级超电子级磷酸，品牌为PurEtch™，磷33酸的标准已经超过了SEMI规定的Grade3纯度级别。德国的Basf与Merck2005年第二季度，德国的Basf完成对MerckKGaA电子化学品的收购，BASF增加了电子级磷酸产品。波兰Kanto与Merck—KantoKanto(关东)是一家波兰公司，公司建于1990年，当时主要是做化学品分装设备，分管日本关东化学。1991年，Kanto与台湾的E.Merck合资成立了Merck-Kanto，即默克-关东。为此，波兰Kanto的磷酸最终源于Merck公司，包括日本关东化学(KantoChemicalCo.,Inc)也销售Merck的磷酸。韩国东友东友是日本住友在韩国建立的三个子公司之一，主要生产电子级磷酸。2004年产能为7000吨/年，目前产能不详。韩国东进DongjinSemichem东进DongjinSemichem是韩国一家半导体原材料供应商，其产品包含磷酸蚀刻液。目前京东方使用的蚀刻液就是主要由东进提供。虽然经过多方查找，亚洲以外的磷酸供应厂商的产能还是未能了解到。虽然从进口数据上我们可以发现澳大利亚等国家也出口高价位磷酸，但是目前资料还不能使我们有充分的数据进行分析。英国GOWER化学有限公司GOWER化学有限公司的产品涉及括高纯化学品，其中电子级产品包含氢氟酸、硫酸、85%的磷酸。据该公司网页介绍，他们的产品作为蚀刻液提供给日本34的一家TV生产厂家。.国内电子级磷酸生产厂家四川成洪磷公司四川成洪磷化工厂是1988年由成都化工研究设计院和洪雅县电力公司合资兴办的，产品以黄磷为主。多年来，由于体制原因，工厂经营理念落后，后续发展资金投入不足，技术和管理水平不高，错过了几次发展机遇。到2001年，工厂已是资不抵债、濒临倒闭，技术人才纷纷外流。在县委、县政府的指导下，工厂实现平稳转制，职工李全东等人筹资买下工厂，承担了2000多万元的债务，组建四川成洪磷化工有限责任公司。从转制到2005年，公司共完成销售收入1.6亿元，实现税利1600多万元，是转制前十几年的总和。2003年，公司正式提出研发高纯电子级磷酸的设想，并成立研发中心，投入研发资金数百万元，通过上千次的试验，于2005年10月研发成功，通过了年产3000吨生产线改造，关键核心技术取得重大突破，产品取得了日本、韩国和国际权威机构的检测认可，批量产品达到目前国际最高端电子级磷酸水平。高纯电子级磷酸核心技术的攻关成功为成洪磷公司的再次发展奠定了雄厚的技术基础，引起国内外业界的广泛关注，多家外商表达了投资合作意向，经过几个月谈判考察，公司与新加坡奥托斯集团、苏州电子材料公司、成都世森科技投资公司达成投资合作协议，组建了中外合资眉山胜科电子化学有限公司，电子化学品基地建在洪雅县将军工业集中区。项目总投资约6420万美元，全部建成投产后可实现年产值20亿元，税利5亿元。四川成洪磷是目前国内对外公布有电子级磷酸的生产企业，和江阴澄星的准电子级磷酸有所不同，他们对外宣称已经有质量相当于SEMI2级的电子级磷酸。通过我公司销售人员索要的样品送检分析报告，该公司的产品基本能满足在TFT-LCD行业的使用要求。成洪磷公司使用多级偶合法生产电子级磷酸，应该说是目前国内电子级磷酸做得最好的一家。2008年以这个项目向国家发改委申请了高技术产业化项目。35但从出口数据看，企业的增长速度还没有对外宣传的那样好，可能在技术上还有一些难关需要克服。下表是成洪磷公司2008年1-8月磷酸出口数据:项目12345678出口量114215.79.6167.2326.11127.2888.840出口价0.9450.941.0361.0141.1451.4651.770从量上看，成洪磷的出口量是逐步上升的，可到了8月就没有出口了，可能与出口受限，磷酸不赚钱有直接关系；从价格上看,增长幅度还是很大的，除了原材料因素外也与产品质量提高有直接关系。国内电子级磷酸的产业化突破，成洪磷公司是最有可能的一家。江阴澄星磷化工（集团）股份有限公司集团有限公司是生产、经营磷化工系列产品起家的企业集团，中国500强企业第310名。集团公司总资产达45亿元，员工3530多名。在沿海各省、直辖市设有20多个销售办事处。江阴长江沿岸建有2万吨级（可以停靠5万吨级货轮）专用化工码头，和10万立方米各种化工储罐；拥有200辆黄磷铁路自备罐车和2000个黄磷专用集装箱罐；澄星集团2005年实现销售收入107.8亿元（其中磷化工销售80多亿元），实现利税（包括关税）8亿多元，外贸进出口总额实现5亿美元。澄星集团的核心企业一江苏澄星磷化工股份有限公司