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微电机研究的最新动恋与应用展詹琼华教授、博士生导师2019,10微电机研究的最新动1微电机的基本特征和主要类型微电机的国内外研究现状微电机的应用前景微电机研究面临的问题和发展趋势微电机的基本特征和主要类型2微电机的基本特征1.微型化微型化途径:条是驱动原理和结构沿袭已有的中小电机,并加以微型化如磁盘驱动、摄像机、电动玩具以及办公自动化机器中的步进电机和直流电机条是采用新的功能材料开发新的驱动原理,制作成各种结构型式的微电机。如压电超声电机、静电电机以及利用形状记忆合金、超磁致伸缩器件层叠式压电振子、人工肌筋等开发的各种微驱动器微电机的基本特征3微电机的基本特征2.微电杌兼有驱动和精密控制双重功能驱动可以是直线、旋转或多自由度的控制目标可以是位置、速度或力(力矩)3.基本的性能要求在体积小重量轻的前提下,能产生较大的运动位移量,并输出较大的功率功耗小;控制精度高、响应快。微电机的基本特征4微电机的主要类静电式电磁式超磁致伸缩式压电形状记忆合金式仿生电机、光热电机等静电式和电磁式的转子/定子间为非接触驱动形状记忆合金式为直接驱动压电式和超磁致伸缩式为接触式驱动,并具有保持力微电机的主要类5微电机研究动态与应用展望课件6微电机研究动态与应用展望课件7微电机研究动态与应用展望课件8微电机研究动态与应用展望课件9微电机研究动态与应用展望课件10微电机研究动态与应用展望课件11微电机研究动态与应用展望课件12微电机研究动态与应用展望课件13微电机研究动态与应用展望课件14微电机研究动态与应用展望课件15微电机研究动态与应用展望课件16微电机研究动态与应用展望课件17微电机研究动态与应用展望课件18微电机研究动态与应用展望课件19微电机研究动态与应用展望课件20微电机研究动态与应用展望课件21微电机研究动态与应用展望课件22微电机研究动态与应用展望课件23微电机研究动态与

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