光刻间的安全操作

光刻间的安全操作，各种易燃化学溶液和易腐蚀酸碱溶液的特性及安全防护措施一.光刻间现用的化学药品有机类:丙酮乙醇剥离液四甲基氢氧化铵正性光刻胶负性光刻胶无机类：盐酸氢氟酸氟化铵硫酸硝酸氢氧化钾氢氟酸和氟化铵1.理化性质：氢氟酸是氟化氢气体的水溶液，为无色透明至淡黄色冒烟液体。有刺激性气味。分子式HF-H2O。相对密度1.15～1.18。沸点112.2℃(按重量百分比计为38.2%)。我们现用的是40%的氢氟酸.氟化铵为无色透明呈微酸性液体,分子式NH4F。相对密度1.05。我们现用浓度是40%.特征：具有刺激气味及剧毒性，属于中等强度偏弱的酸存放：氢氟酸和氟化铵的水溶液存放在塑料瓶中,严禁与玻璃制品存装和接触.2.毒理学简介对皮肤有强烈刺激性和腐蚀性。氢氟酸中的氢离子对人体组织有脱水和腐蚀作用，而氟是最活泼的非金属元素之一，与氢离子结合较牢(电离常数K=3.5×10^-4)。皮肤与氢氟酸接触后，非离子状态的HF不断解离而渗透到深层组织，溶解细胞膜，造成表皮、真皮、皮下组织乃至肌层液化坏死。氟离子与组织中的钙和镁离子结合形成难溶性盐。钙离子的减少使细胞膜对钾离子的通透性增加，钾离子从细胞内到细胞外导致神经细胞的去极化而引起剧痛。3.危害：氢氟酸如不当使用可能对人体的严重危害，其危害途径包括皮肤及黏膜接触、呼吸道吸入及肠胃道摄入，皮肤若接触到50％以上较高浓度的氢氟酸，会立刻引起疼痛、泛白、红肿反应，1至2小时内产生水泡，6至24小时则会坏死及溃烂，若接触到10％以下较低浓度者，则往往于6小时或更长时间才发生疼痛等症状，因此常被当事人忽略而太晚处理，最后造成永久性伤害，一般常见受伤害的部位为手指。另外，如自呼吸道、肠胃道等其它途径误用,将产生咳嗽、烧灼感及呼吸困难等症狀，或造成腹痛、恶心、吐血、肠道穿孔等症狀。氢氟酸对人体的伤害，除了酸性腐蚀伤害外，进入人体的氟离子可能与钙、镁离子结合，导致血钙过低、血镁过低和血钾过高，进而影响神经和心脏血管系统。安全操作及防护正确佩戴防护用具后再去通风柜内进行操作。皮肤沾染氢氟酸时，立即脱去污染衣物，尽快用大量清水冲洗。附近无水源时，立即用软布或吸水纸轻轻吸去酸液，并迅速寻找水源冲洗。氢氟酸溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用清水或生理盐水或2%碳酸氢钠溶液彻底冲洗。误入消化道时，严禁催吐，应大量口服清水、牛奶或一杯镁乳，亦可服用静脉注射用的葡萄糖酸钙。呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，松解衣服、腰带，保持呼吸道畅通，如呼吸困难给予输氧气等急救措施。初步处理后立即送医院治疗。危险特性：1.不能用玻璃容器装存。2.由于我们使用的氢氟酸浓度较低，所以使用时要特别注意不要沾染到皮肤上。

盐酸理化特性透明或黄色冒烟液体，蒸气有强烈刺激味,现用浓度是36-38%的HCl。沸点：110℃，蒸气密度：1.3，易溶于水.盐酸对皮肤和黏膜有较强刺激腐蚀作用。毒性和危害盐酸蒸气和烟雾能刺激鼻、喉和上呼吸道，导致咳嗽、鼻和牙龈出血，严重的还能腐蚀鼻、喉和造成肺水肿;眼睛接触可导致刺激、严重灼伤和失明,皮肤接触浓溶液（大于38%）导致严重灼伤。误服可使口腔、胃和食道严重灼伤，导致恶心、呕吐、腹泻、虚脱并可能死亡。

安全操作及防护正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。配制溶液时应缓慢地将酸倒入水中以防溅出和起泡。皮肤沾染盐酸时，立即脱去污染衣物，尽快用大量清水冲洗。盐酸溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用清水或2%碳酸氢钠溶液彻底冲洗。误入消化道时，用水充分漱口，不可催吐，如可能给患者饮水约50毫升。呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，保持呼吸道畅通。初步处理后立即送医院治疗。储存盐酸储藏于密封容器内，放置于有通风的阴凉地方，远离有禁忌物和工作场所。危险特性与强碱类（如氢氧化钠）起激烈反应，与硫化物、磷化物、氰化物、乙酯基化合物、氟化物、硅化物和碳化物起反应，释放出易燃和有毒的气体，与氧化剂（如过氧化物）能起激烈反应。硫酸理化特性无色油状腐蚀性液体，有强烈的吸湿性。密度：1.8，熔点10.4℃，沸点：280℃。属中等毒类。对皮肤粘膜具有很强的腐蚀性。毒性和危害吸入高浓度的硫酸酸雾能上呼吸道刺激症状，严重者发生喉头水肿、支气管炎甚至肺水肿。硫酸溅入眼睛后能引起结膜炎及水肿，角膜浑浊以至穿孔。皮肤接触有局部刺痛，皮肤由潮红转为暗褐色。误服硫酸后，口腔、咽部、胸部和腹部立即有剧烈的灼热痛，唇、口腔、咽部均见灼伤以致形成溃肠，呕吐物及腹泻物呈黑色血性，胃肠道穿孔。口服浓硫酸致死量约为5毫升。安全操作及防护正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。配制溶液时应缓慢地将酸倒入水中以防溅出和起泡。在稀释酸时决不可将水注入酸中，只能将酸注入水中。皮肤沾染硫酸时，立即脱去污染衣物，尽快用大量清水冲洗。硫酸溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用清水或2%碳酸氢钠溶液彻底冲洗。误入消化道时，立即用氧化镁悬浮液、牛奶、豆浆等内服呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，保持呼吸道畅通。有呼吸道刺激症状者应吸氧。初步处理后立即送医院治疗。储存与可燃性和还原性及强碱物质分开。危险特性：硫酸为强氧化剂，与可燃性、还原性物质激烈反应。硫酸虽不燃，但很多反应却会起火或爆炸，与金属反应会产生可燃性气体，与水混合会大量放热，所以，配制溶液时应缓慢地将酸倒入水中以防溅出和起泡。在稀释酸时决不可将水注入酸中，只能将酸缓慢注入水中。硝酸理化特性无色液体，易挥发有刺激性，对皮肤、粘膜有强烈的刺激作用。毒性和危害：吸入硝酸气雾引起呼吸道刺激症状。大量吸入可引起肺水肿。硝酸液溅入眼内，可产生化学灼伤。硝酸液接触皮肤，可引起化学灼伤。皮肤灼伤后呈黄色逐渐变为褐色最后呈黑色。

安全操作及防护正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。皮肤沾染硝酸时，立即脱去污染衣物，尽快用大量清水冲洗。硝酸溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用清水或2%碳酸氢钠溶液彻底冲洗。呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，保持呼吸道畅通。有呼吸道刺激症状者应吸氧。初步处理后立即送医院治疗。储存：将硝酸储存于密闭的容器内，放置于有通风设备的阴凉地方，远离禁忌物和工作场所。危险特性：硝酸是强氧化剂，火灾危险性极大，与还原剂反应时可引起火灾和爆炸。能与多种物质如金属粉、电石、硫化氢、松节油等猛烈反应，甚至发生爆炸；可使许多有机物如糖、木屑、棉花和废纱头等接触氧化而焦化，引起燃烧并散发出剧毒的棕色烟雾。氢氧化钾理化特性白色、无臭、不易挥发的；易溶于水，同时放热。毒性和危害：属于强碱，具有腐蚀和刺激作用。吸入：由于腐蚀作用，会对鼻、喉和肺产生刺激。眼睛接触：极严重的腐蚀作用，造成严重的灼伤，严重暴露会造成疼痛和永久失明。皮肤接触：极严重的腐蚀作用，造成严重的灼伤和深度溃疡，灼伤可能不会立即产生痛感，而是在数分钟或数小时后产生。口服：会产生严重疼痛，口、喉和食道灼伤、呕吐、腹泻、虚脱，可能死亡。安全操作及防护正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。皮肤沾染时，立即脱去污染衣物，尽快用大量清水冲洗。溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用清水或生理盐水彻底冲洗。呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，保持呼吸道畅通。有呼吸道刺激症状者应吸氧。误入消化道时，用水充分漱口，如需要用鸡蛋清灌胃（10~15个鸡蛋）或给患者饮水约250ml。初步处理后立即送医院治疗。储存：放置于干净、阴凉的地方，与工作场所和禁忌物隔离。危险特性：与强酸（如硫酸）产生强烈反应。与水反应产生热，形成腐蚀性溶液。丙酮理化特性:透明、无色、易挥发辛辣气味的液体。沸点：56℃；蒸气密度：2.0；闪点：－18℃；自燃点：538℃。爆炸极限：2.5～13%。蒸气有甜味，似薄荷香味。毒性和危害：属于微毒性，对神经系统有麻醉作用，并对黏膜有刺激作用。浓度在500ppm以下无影响，500～1000ppm之间会刺激鼻、喉，1000ppm以上可致头痛并有头晕出现。2000～10000ppm时可产生头晕、醉感、倦睡、恶心和呕吐。眼睛接触；浓度在500ppm会产生刺激，1000ppm会有轻度、暂时性刺激。液体对皮肤会有轻度刺激，通过完好的皮肤吸收造成的危险很小。误入食道对喉和胃有刺激作用，服进大量会产生和吸入高浓度相同的症状。安全操作及防护正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。皮肤沾染时，尽快用大量清水冲洗。溅入眼内时，应翻开上下眼睑，立即用彻底冲洗。呼吸道吸入者应迅速脱离现场，到空气新鲜处，保持呼吸道畅通。有呼吸道刺激症状者应吸氧。误入消化道时，用水充分漱口，给患者饮水约250ml。储存：将丙酮储藏于密封的容器内，置于阴凉干燥优良好通风的地方，远离热源、火源和有禁忌的物质。所有容器都应放在地面上。危险特性：高度易燃性。有严重火灾危险。在室温下蒸气与空气会形成爆炸性混合物。用抗溶泡沫灭火剂、卤素灭火剂或二氧化碳来灭火。用水来冷却暴露于火中的容器，并驱散丙酮蒸气。与氧化剂以及氯化剂与碱类混合物（如氯仿与氢氧化钠）都能产生激烈反应。乙醇理化特性:无色有酒味，易挥发的澄清液体。密度：0.79℃；沸点：78.5℃：闪点：13℃；自燃点：363℃。爆炸极限：3.3~19%。毒性和危害：属微毒类。本品为麻醉剂，开始时导致神经系统兴奋，继而使之麻醉。对眼睛黏膜有轻微刺激作用。长期受大剂量作用时，可使神经系统、消化器官等发生严重的器质性疾病。安全操作及防护正确佩戴防护用具后再去通风柜中进行操作。溅入眼内时，须用清水冲洗，吸入蒸气的患者须脱离污染区，安置休息并保暖。误入消化道时，须大量饮水，严重者须就医诊治。储存：储