《高精度三维测头检定规范》征求意见稿

1高精度三维测头检定规范本文件规定了高精度三维测头的检测项目和检测方法。本文件适用于测量范围在±1.5mm内的高精度三维测头的检定，其他测量范围的三维测头可以参考执行。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注明日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注明日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。GB/T10095.1渐开线圆柱齿轮精度第1部分：轮齿同侧齿面偏差的定义和允许值GB/T10095.2渐开线圆柱齿轮精度第2部分：径向综合偏差与径向跳动的定义和允许值GB/T22097齿轮测量中心。3术语和定义下列术语和定义适用于本文件。线性度是测试系统的输出与输入系统能否像理想系统那样保持正常值比例关系(线性关系)的一种度量。同时发生的弹性后效和弹性滞后，一般不单独考虑，将二者的叠加统称为迟滞误差。计量器具所能够测量的最小尺寸与最大尺寸之间的范围被称作该测量器具的测量范24.1检测环境要求检测时室内温度应在20±1℃,温度变化1℃/h,相对湿度湿度≤70%,受检高精度三维测头在检定室内平衡温度时间不小于12h,检定工具在室内平衡温度时间不小于6h。4.2检测外观要求4.2.1检测要求产品不应有碰伤、锈蚀，防护涂层、镀层均匀完好，无瑕疵，标识完整。4.2.2检测方法目力观测。4.3各轴行程要求4.3.1检测工具三维齿轮测量中心4.3.2检测要求在三维齿轮测量中心的测量软件上显示，X、Y、Z三轴的负方向≤-1.1mm,正方向4.3.3检测方法在测针座上安装校准测针并将测针固定，使用齿轮中心测量程序移动滑板，并观察三维测头各方向示值，X、Y、Z三个方向测量示值范围都能应能达到-1.1mm～+1.2mm。4.3线性度要求4.3.1检测工具三维齿轮测量中心4.3.2检测要求X、Y、Z轴线性度均≤1%。4.3.3检测方法在测针座上安装校准测针并将测针固定，使用传感器特性检测软件的线性度测量功能移动滑板，运动方式选择单次，选定运动轴，运动次数设定20次，速度设定10mm/s,3重复次数10次，勾选往返，点击开始，等待自动测量结束后点击计算获得该测量轴的线性度测量结果。线性度要在X、Y、Z三个测量轴分别进行测量。4.4迟滞误差要求4.4.1检测工具三维齿轮测量中心X、Y、Z轴迟滞误差均≤1%。在测针座上安装校准测针并将测针固定，使用传感器特性检测软件的线性度测量功能移动滑板，运动方式选择单次,选定运动轴，运动次数设定20次，速度设定10mm/s,重复次数10次，勾选往返，点击开始，等待自动测量结束后点击计算获得该测量轴的迟滞误差测量结果。迟滞误差要在X,Y,Z三个测量轴分别进行测量。4.5高精度三维测头应用综合误差要求4.5.1测量渐开线齿廓总偏差Fα时的示值误差要求检测工具三维齿轮测量中心、基准渐开线样板检测要求测量渐开线样板小头齿面(R=60mm),示值误差≤1.6μm;测量渐开线样板大头齿面(R=150mm),示值误差≤2.5μm。检测方法在齿轮测量中心的上下顶尖间安装一渐开线样板，按计算机渐开线齿廓测量程序，测量样板的两测量面，左或右齿面，测量五次，取最大测得值与样板实际值之差。4.5.2测量渐开线齿廓总偏差Fa时的示值变动性要求检测工具三维齿轮测量中心、基准渐开线样板检测要求数值(五次重复测量示值变化)≤1μm。检测方法4在上下顶尖间安装一渐开线样板，按计算机渐开线齿廓测量程序，测量渐开线样板两测量齿面，测量五次，取五次示值的最大差值。4.5.3测量渐开线齿廓形状偏差ffα时的示值误差要求检测工具三维齿轮测量中心、基准渐开线样板检测要求测量渐开线样板小头齿面(R=60mm),示值误差≤1.6μm;测量渐开线样板大头齿面(R=150mm),示值误差≤1.8μm。检测方法在齿轮测量中心的上下顶尖间安装一渐开线样板，按计算机渐开线齿廓测量程序，测量样板的两测量面，左或右齿面，测量五次，取最大测得值与样板实际值之差。4.5.4测量渐开线齿廓形状偏差ffα时的示值变动性要求检测工具检测要求检测方法4.5.5测量渐开线齿廓倾斜偏差fHα时的示值误差要求检测工具三维齿轮测量中心、基准渐开线样板检测要求检测方法4.5.6测量渐开线齿廓形状倾斜偏差fHα时的示值变动性要求检测工具检测要求5检测方法在上下顶尖间安装一渐开线样板，按计算机渐开线齿廓测量程序，测量渐开线样板两测量齿面，测量五次，取五次示值的最大差值。4.5.7测量螺旋线总偏差Fβ时的示值误差要求检测工具三维齿轮测量中心、基准螺旋线样板。检测要求测量螺旋线样板螺旋角为15°(φ100mm)时，示值误差≤2.5μm;测量螺旋线样板螺旋角为30°(φ200mm)时，示值误差≤3μm。检测方法在齿轮测量中心上下顶尖间分别安装螺旋角15°和30°螺旋线样板(规格有φ100mm和φ200mm),按计算机螺旋线测量程序，测量左或右齿面，测量五次，取最大测得值与样板实际值之差。4.5.8测量螺旋线总偏差Fβ时的示值变动性要求检测工具三维齿轮测量中心、基准螺旋线样板检测要求检测方法在齿轮测量中心上下顶尖间分别安装螺旋角15°和30°螺旋线样板(规格有φ100mm和φ200mm),按计算机螺旋线测量程序，测量左或右齿面，测量五次，取五次示值的最大差值。4.5.9测量螺旋线形状偏差ffβ时的示值误差要求检测工具三维齿轮测量中心、基准螺旋线样板检测要求测量螺旋线样板螺旋角为15°(φ100mm)时，示值误差≤1.5μm;测量螺旋线样板螺旋角为30°(φ200mm)时，示值误差≤1.8μm。检测方法在齿轮测量中心上下顶尖间分别安装螺旋角15°和30°螺旋线样板(规格有φ100mm和φ200mm),按计算机螺旋线测量程序，测量左或右齿面，测量五次，取最大测得值与样板实际值之差。64.5.10测量螺旋线形状偏差ffβ时的示值变动性要求检测工具三维齿轮测量中心、基准螺旋线样板检测要求数值(五次重复测量示值变化)≤1μm。检测方法在齿轮测量中心上下顶尖间分别安装螺旋角15°和30°螺旋线样板(规格有φ100mm和φ200mm),按计算机螺旋线测量程序，测量左或右齿面，测量五次，取五次示值的最大差值。4.5.11测量螺旋线倾斜偏差fHβ时的示值误差要求检测工具三维齿轮测量中心、基准螺旋线样板检测要求测量螺旋线样板螺旋角为15°(φ100mm)时，示值误差≤1.5μm,左右齿面偏差≤1.5μm;测量螺旋线样板螺旋角为30°(φ200mm)时，示值误差≤1.8μm,左右齿面偏差≤1.5μm。检测方法在齿轮测量中心上下顶尖间分别安装螺旋角15°和30°螺旋线样板(规格有φ100mm和φ200mm),按计算机螺旋线测量程序，测量左或右齿面，测量五次，取最大测得值与样板实际值之差。4.5.12测量螺旋线倾斜偏差fHβ时的示值变动性要求检测工具精度合格的三维齿轮测量中心、基准螺旋线样板检测要求数值(五次重复测量示值变化)≤1μm。检测方法在齿轮测量中心上下顶尖间分别安装螺旋角15°和30°螺旋线样板(规格有φ100mm和φ200mm),按计算机螺旋线测量程序，测量左或右齿面，测量五次，取五次示值的最大差值。4.5.13测量齿距累计偏差时的示值误差要求检测工具三维齿轮测量中心、精度等级3～4级标准齿轮检测要求数值(测量齿轮Z=36齿，精度等级3～4级)≤4μm。7检测方法在齿轮测量中心上下顶尖间安装标准齿轮，测头与测量齿轮齿面中部接触，按计算机齿距测量程序从标记齿进行测量，取一转所测得的齿距累积误差值与测量齿轮的实际值的最大差值。4.5.14测量齿距累计偏差时的示值变动性要求检测工具三维齿轮测量中心、精度等级3～4级标准齿轮检测要求数值(五次重复测量示值变化)≤2μm。在上下顶尖间安装标准齿轮，测头与测量齿轮齿面中部接触，按计算机齿距测量程序从标记齿进行测量，每次测量一转，测量五次，取五