FSI清洗机培训材料

FSI清洗机培训材料FSI清洗机培训材料名目一、FSI清洗机介绍:二、FSI的构成和构造功能:三、软件操作介绍:四、程序和输出功能:五、流量把握:六、化学自动填充功能介绍:七、常见故障及修理方法:首先，FSI清洗机介绍了FSI的用途:FSI用于晶片的外表清洁系统，可以去除颗粒、金属离子并剥离一些氧化膜。Fsi设备全名:水星外表状况分割系统，FSI早期的喷雾系统产品；Fsi工作原理:在密封室中，晶片对称地放置在转盘上，当转盘旋转时，N2被用来将化学物质喷射到晶片外表上的高雾化或低雾化。有两个喷嘴:喷杆和侧面-一、FSI清洗机介绍:二、FSI的构成和构造功能:三、软件操作介绍:四、程序和输出功能:五、流量把握:六、化学自动填充功能介绍:七、常见故障及修理方法:首先，FSI清洗机介绍了FSI的用途:FSI用于晶片的外表清洁系统，可以去除颗粒、金属离子并剥离一些氧化膜。Fsi设备全名:水星外表状况分割系统，FSI早期的喷雾系统产品；Fsi工作原理:在密封室中，晶片对称地放置在转盘上，当转盘旋转时，N2被用来将化学物质喷射到晶片外表上的高雾化或低雾化。有两个喷嘴:喷柱和侧面:5种化学物质:硫酸、盐酸、氢氟酸、氨水、双氧水；还有去离子水、N2和压缩空气。还有去离子水、N2和压缩空气。警告:在此过程中，不允许对FSI清洗机的任何部件进展操作。设备学习参考资料:《FSI《6”FSIPM其次，FSI的构成和构造功能FSI是由五个局部组成的，每个单元都是相互独立的:电子把握台；过程把握台；罐式把握台；增压泵；Hellos52去离子水加热器.)构造和功能:1.电子把握台:7拉出便利查看。主要局部有:286微把握器及把握元件、触摸屏(触摸屏)、软盘驱动器、流量把握元件和N2管道过滤器及压力调整阀；2.过程把握台:它主要由盖子、处理室、电机、转盘、下部管道和用于流量把握FOLW6批晶圆。喷杆安装在门盖上，侧面警告安装在室壁上。在此过程中，不允许对FSI清洗机的任何部件进展操作。设备学习参考资料:《FSI《6”FSIPM其次，FSI的构成和构造功能FSI是由五个局部组成的，每个单元都是相互独立的:电子把握台；过程把握台；罐式把握台；增压泵；Hellos52去离子水加热器.)构造和功能:1.电子把握台:7拉出便利查看。主要局部有:286微把握器及把握元件、触摸屏(触摸屏)、软盘驱动器、流量把握元件和N2管道过滤器及压力调整阀；2.过程把握台:它主要由盖子、处理室、电机、转盘、下部管道和用于流量把握FOLW拾取器组成。每次操作可以清洗六批晶片。门盖上设有喷淋柱，室壁设有侧边:主要用于储存五种化学液体。它有两个储物柜，酸液输出管道、爆破阀连接收道和N2输入管道(22实现增压和泄压)。电源级通过SDC液体供给系统均匀供给化学溶液。在每“50”。酸液从动力管道注入酸桶罐，然后在此过程中，酸从酸桶液压注入腔室。4.增压泵:去离子水加压系统——接收道、N2输入管道(22实现)。powerclass通SDC液体供给系统均匀供给化学溶液。在每个过程完毕时，系统发送自动加酸指令“50”。酸液从动力管道注入酸桶罐，然后在此过程中，酸从酸桶液压注入腔室。4.增压泵:去离子水加压系统:100-去离子水220-h2so4230-HCl250-H2O2400-HF760-nh4oh:流量传感器、DAC、ADC、E/P、歧管阀等。::E/P(电信号和压力转换器)E/P将电信号转换成压力信号，最终通过压力把握歧管阀的开度大小，从而实现流量把握。:“50”直到传感器检测到液位已满。以以下图是自动填充的简化图:22关闭，罐中的气体通2222程中，22号电磁阀翻开，虚线所示的管道中的气体使电视22在较低的位置工作，N2进入碳罐，当压力增加到确定水寻常，酸通过管道输送到反响室。在此过程中，假设罐的压力过高，达不到45磅/平方英寸，爆破片将裂开，压力将被释放，然后过程将被中断，并消灭流量超标警报。假设压力到达60磅/平方英寸，罐的盖子将会裂开，因到并发出过流报警，从而停顿自动加注功能，起到安全保护的作用。七、常见故障及修理方法:OCAP备。附上以下三个故障分析OCAP