IC有源元件与工艺流程

第五章 IC有源元件与工艺流程5.1概述5.2 双极性硅工艺5.3HBT工艺5.4 MESFET和HEMT工艺5.5MOS工艺和相关的VLSI工艺5.6PMOS工艺5.7 NMOS工艺5.8CMOS工艺5.9BiCMOS工艺1第五章 IC有源元件与工艺流程

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