质量流量控制器技术说明书

1质量流量把握器和质量流量计1、 特点及应用领域质量流量把握器〔MassFlowControllerMFC〕用于对气体的质量流量进展周密丈量和把握。质量流量计〔MassFlowMeterMFM流量进展周密丈量。S49VITON、聚四氟乙烯等*适用于种种腐化性气体*气体流量不因温度、压力的变革而失准*高精度 *重复性好*响应速度快、软启动、稳定牢靠*低压降*事情压力范畴宽〔可以在高压或真空条件下事情。*操纵使用便利，可任意位置安装*便于与盘算机连接实现自动把握。S49系列质量流量把握器和质量流量计主要应用领域：*半导体制造行业的气体流量把握*阐发仪器设备的气体计量与把握*种种形式的真空镀膜设备*状况检测与阐发设备*化工、石化、食品德业气体流量监测和把握*特种质料外貌处理惩罚装置与燃烧把握*混气配气系统和泄漏探测系统等S49SJ/T10583-94SJ37技能条件及命名要领。S49-33A/MTS49-33BM/MT具备自动把握气体流量的成果。执行Q/XCHBY001-2023企业标准主要技能指标质量流量计和质量流量把握器出厂通常用氮气〔N〕标定。2质量流量的单位规定为: SCCM (标准毫升/分);SLM (标准升/分)标准状态规定为: 温度--- 273.15K (0℃);气压— 101325Pa (760mmHg)F.S(FullScale): 表达满量程值1S49-33/MT﹑S49-33M/MT编号项目S49-33/MTS49-33M/MT1流量规格(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM(0~1,2,3,5,10,15,20,30) SLM2调治阀类型电磁调治阀3调治阀静止位置常闭4准确度±1±2 %F.S5线性±(0.5~1.5)%F.S6重复精度±0.2 %F.S7响应时间(1~10) sec8事情压差范畴(0.05~0.4)Mpa 10~30L(0.1~0.4)Mpa9耐压3 Mpa ﹑10Mpa10事情状况温度5℃~45℃11质料316L12标准密封质料Viton﹑EPDM,或其他13漏率﹤2×10-9mbar.1/sHe14争论Ф6mm,1/4″Swagelok,1/4″VCR,或其他15输入输出信号161718电源0V15输入输出信号161718电源0V~+5.00V(100K,3mA)+15V 50mA-15V200mA外形尺寸mm重量kg134×134×381.22准确度±1%F.S ±2%F.S3线性±(0.5~1.5)%F.S4重复精度±0.2%F.S5响应时间1~4sec6气压降<0.01MPa7耐压3MPa﹑ 10MPa8事情状况温度5℃~45℃11质料316L12标准密封质料Viton﹑EPDM,或其他13漏率﹤2×10-9mbar.1/sHe14争论Ф6mm,1/4″Swagelok,1/4″VCR,或其他电源+15V 50mA -15V 50mA11外形尺寸mm134×134×38 134×134×3812重量kg1 11项流量规格目S49-33A/MT1项流量规格目S49-33A/MTS49-33BM/MT(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)(0~1,2,3,5,10,15,20,30)SCCMSLM事情原理图一热式质量流量计的事情原理图质量流量计由流量传感器,分流器通道和流量放大电路等部件组成；在质量流量计PID把握电路就组成了质量流量把握器。流量把握器利用流淌流体通报热量转变丈量毛细管壁温度漫衍的热传导漫衍效应而制成，即热漫衍式流量计〔ThermalProfileFlowmete通道的流量使之与设定的流量相等。量流量成正比,满量程(F.S)流量检测输出电压为+5V。质量流量把握器的流量把握范畴是(5～100)%F.S〔50:1〕,0.1%F.S。MT-500~+5V流量。最大可能到达+10V〔+5V〕后，流量检测电压与通〔参考流量显示仪的使用说明书〕安装和接线S49图二S49系列质量流量把握器外形及安装尺寸入口和出口气路争论形式可以凭据用户的差异需求，选用两种类型：双卡套Swagelok；a.Φ6mm；b.Φ3c.Φ1/4″；d.或其他2.VCRa.Φ1/4″；b.Φ3/8″连接要领如图三，图四所示留意：按上图所示安装担当时，在装上前卡套、后卡套、螺母后，先用手将螺松动，影响密封。VCR质量流量把握器连接电缆接口S49DB-15-pinDB-15-hole设定(0~+5.00V)空脚-15V+15V+15V 空脚外调零流量检〔0~+5V〕

空脚空脚大地〔Earth〕阀控空脚空脚电源地〔GND〕

+15V 关闭清洗-15V887156 145 134 121132 101 9图五DB-15-pin针型接口配线图+15V-15V

外调零0V〔EO〕

1234567811

910111213空脚空脚-15V12DB-15-hole留意：S49系列质量流量计接线与上述接线只是少了“阀控”和“设定”两根线其它完全一样。与盘算机的连接要领通过流量显示仪与盘算机(或其它外部信号)的连接要领,7。流量检测流量检测零电平A/D转换输入信号地质量流量把握器或质量流量计内设外设计算机或PLC连接电缆设定D/A转换输出信号地+15V阀控关闭流量显示仪(留意:质量流量计无阀控线和设定线)-15V清洗阀把握图七通过流量显示仪与计算机的连接假设要检测流量输出信号(0V～+5V)时,0电平”(A/D)转换器连接，+5.00V输出电压对应MFC满量程额定流量值。流量检测输出电流≤3mA。流量计直接与盘算机连接的接线要领，见图8。流量检测流量检测0~+5V零电平A/D转换输入信号地质量流量把握器或质量流量计计算机或PLC设定0~+5.00VD/A转换输出信号地(留意质量流量计无阀控线和设定线)阀控阀控+15V0V0V(E0)+15VCOM清洗-15V-15V电源关闭-15V +15V图八直接与计算机连接的接线方法MFC/MFM15V电源〔扰力气要强；具体连接要领：将“设定流量”线与D/A端子相连将“流量输出”线与A/D端子相连将“信号零线”与A/D，D/A卡中的信号地相连地〔GND，0V(E0)分别引线，与±15V±15V+15V，-15V+15V-15V留意：照实行特别接线，两个继电器同时行动时，可能导致电源短路，损坏设备，因此，要留意不能两个继电器同时行动。零点的调治调治可以两种方法进展调治。**。当与我公司生产的显示仪配套使用时，可通过显示仪面板上的调零电位器调零,叫做外调零。但要留意外调零的调治范畴比力小。内调零线性增益调零内调零线性增益调零1415图九调零电位器位置示意图留意：****调零必需在开机预热15****假设遇到较大的零点偏移，必需用内调零，才华解决。使用要领和操纵步调S49-33/MT质量流量把握器的使用要领和操纵步调〔结合MT-50系列流量显示仪〕开机前的预备事情用我公司供给的电缆线将质量流量把握器(计)和流量显示仪连接。假设从其他设备上得到设定信号，则由外部信号设定流量。开机操纵接通电源后，先预热15分钟，待零点稳定后再通气事情。最正确操纵要领：通电后，将控”位，然后再将设定流量调到您需要的值，实际流量跟踪设定值而转变。清洗与封闭成果量程流量的几倍至几十倍。假设不通气，也可凭据需要抽真空以排解MFC置“阀控”位。流量检测和与盘算机A/D转换器的连接8，93mA。阀控成果当阀控线接+15V-15VMT-50关机断电源后，流量自动载止。推举先关气，后断电源。留意事项使用腐化性气体问题把握器通道实行的质料为：SUS316L(00Cr17Ni14Mo2),Viton,氟橡胶等耐蚀质料。在使用强腐化性气体和有机溶剂气体时〔NH3，BBr3〕等，应在定货时声明，全部密封质料都要作相应转变。安装位置问题我厂也可凭据用户的安装位置进展标定后出厂。留意事情压差要特别留意事情介质的气压，应留意使把握器进出气口两端的事情压差保持在指标范能流量达不到满量程值。阀口密封问题质量流量把握器的电磁阀是调治阀，不是截止阀，不能当截止阀用，用户应另配截止个截止阀，以包管安静。标定和差异气体的换算本把握器出厂用氮气(N2)标定，用户使用其它气体时，需在订货时特别申明或也可以通过附录一的转换系数进展换算，将质量把握器显示出的流量读数，与某使用气体的转换系数相乘，即得该被测气体在标准状态下的质量流量。假设用户使用殽杂气体，可以通过附录二介绍的要领，盘算出殽杂气体的转换系数。8.阻碍推断和处理惩罚4序号 阻碍现象开机后，无气流流过1开机不通气的情

阻碍可能缘由气源未开，气路不通阀控开关封闭无设定信号过滤器堵塞调治阀阻碍电路阻碍零点偏差电源阻碍

处理惩罚要领接通气源，开通气路将阀开关置于“阀控”位或“清洗”位查抄设定电位器和“内外”设定开关的状态等*调换过滤器查抄阀线包是否断，*清洗调治阀*修理电路调解调零电位器*查抄±15V正常在阀门封闭的状况流量流过流量显示不能到4达满量水平

传感器阻碍运放或其他电路阻碍入口气压过高，进出气口之间的压差凌驾额定值阀门污染调治阀阻碍气压低落于额定值通道堵塞设定电压低于5.00V其它电路阻碍

*调换传感器*调换运放，修理电路适当低落输入气压，减小气压差清洗阀门，调换密封件重调解调治阀提高入口气压*FMC查抄设定电压修理电路45.1气源压强太低或不稳5 气流把握不稳定 5.2气源内阻过大5.3电路或调治阀阻碍

提高气源气压，稳定气源压强低落气源内阻〔大流量时要留意开大阀门，加粗管道，以至并联气瓶。提高气源供气力气〕*修理调解使用高频源时流6量把握器受滋扰7 实际流量与显示

供电系统的地线和零线连接或机壳接地有问题信号参考端连接问题空间滋扰7.1显示器量程或单位与把握器不匹配

查抄接地系统，留意一点接地查抄信号连接线适当屏蔽，远离滋扰源，选用屏蔽线*重调显示器流量精度产生偏差7.3流量计零点*调换传感器，修理电路8.1调治阀漏气*修理调治阀8.2流量计零点偏负将流量计零点为零或偏正9.1传感器堵塞*修理调换传感器气源有粉尘，应在通道前加装过滤器。假设使用硅烷等特别气体9.2电路阻碍*修理电路流量不全都7.2流量不全都7.2把握器通道被污染引起 *对把握器进展清洗标定设定为零时仍有8流量流过通道有很大气流9量显示10时间慢漂移10.1传感器阻碍*调换传感器9、气体质量流量转换系数附录一. 气体质量流量转换系数：气体比热(卡/克℃)密度(克/0℃)转换系数空气Air0.24001.29301.006氩气Ar0.12501.78371.415砷烷AsH30.11683.47800.673三溴化硼BBr30.064711.18000.378三氯化硼BCl30.12175.22700.430三氟化硼BF30.17793.02500.508硼烷四氯化碳B2H6CCl40.50200.12971.23506.86000.4410.307四氟化碳CF40.16593.96360.428甲烷CH40.53180.71500.719丁烷戊烷丁烷戊烷C4H10C5H120.41300.39162.59303.21900.2550.217乙炔C2H20.40491.16200.581乙烯C2H40.36581.25100.598乙烷C2H60.42411.34200.481丙炔C3H40.36331.78700.421丙烯C3H60.36591.87700.398丙烷C3H80.39901.96700.348丁炔C4H60.35152.41300.322丁烯C4H80.37232.50300.294甲醇CH3OH0.32771.43000.584乙醇C2H6O0.33982.05500.392三氯乙烷C2H3Cl30.16545.95000.278一氧化碳CO0.24881.25001.000二氧化碳CO20.20231.96400.737氰气C2N20.26082.32200.452氯气Cl20.11453.16300.858氘气D21.73250.17980.998氟气F20.19701.69500.931四氯化锗GeCl40.10729.56500.267续表1. 气体质量流量转换系数表气体比热(卡/克℃)密度(克/0℃)转换系数锗烷GeH40.14053.41800.569氢气H23.42240.08991.010溴化氢HBr0.08613.61001.000氯化氢HCl0.19111.62701.000氟化氢HF0.34820.89301.000碘化氢HI0.05455.7070.999硫化氢H2S0.22781.52000.844氦气He1.24180.17861.415氪气Kr0.05933.73901.415氮气N20.24861.25001.000氖气Ne0.24640.90001.415氨气NH30.50050.76000.719一氧化氮NO0.23781.33900.976二氧化氮NO20.19232.05200.741一氧化二氮NO0.20981.96400.709氧气O20.21961.42700.992三氯化磷PCl0.12476.12700.358磷烷PH30.26101.51700.691五氟化磷PF0.16115.62000.302三氯氧磷POCl30.13246.84500.302四氯化硅SiCl0.12707.58470.284四氟化硅SiF0.16924.64300.348硅烷SiH0.31891.43300.599二氯氢硅SiHCl0.14724.50600.412三氯氢硅SiHCl0.13326.04300.340六氟化硫SF0.15886.51600.264二氧化硫SO0.148902.85800.687四氯化钛TiCl0.15728.46500.206六氟化钨WF0.095613.29000.215氙气Xe0.03795.85801.415232354442 236246其转换系数可在我厂产物技能说明书查得；假设多组份气体〔n，请按以下公式盘算其转换系数