特殊化学品系统介绍

2002.9.26TFT-QAThomas龍潭廠特殊化學品系統介紹單位：廠務處液化部特化課報告者：宋狄堂2002.9.26TFT-QAThomas藥供室區域充填回收作業特化設備化學品性質安全防護系統漏液緊急處理

特化系統安全說明2002.9.26TFT-QAThomasL2棟L1A藥供室L1棟廠務特化藥液供應室L2藥供室藥供室區域2002.9.26TFT-QAThomas有機室華南三路L1棟L1藥品供應室混酸室無機室藥供室區域2002.9.26TFT-QAThomas廢液回收作業區有機室華南二路L2棟行政大樓L2藥品供應室酸室鹼室藥供室區域2002.9.26TFT-QAThomas藥供室分布L1藥供系統(L1棟西側)L2藥供系統(L2棟WS)樓層藥供室樓層藥供室--L50酸室、鹼室2F中繼站L30有機室、酸室、鹼室1F有機室、無機室L20有機室、酸室、鹼室B1F地下桶槽區(L1東側)L10中桶槽區藥供室區域2002.9.26TFT-QAThomasL2棟充填槽車藥液充填作業2002.9.26TFT-QAThomasL1棟回收槽車藥液回收作業充填回收作業2002.9.26TFT-QAThomas儲存藥品有機室：有機類藥液

Stripper（光阻剝膜液）、Thinner（光阻稀釋液）

、NMP、丙酮、異丙醇酸室：酸性藥液鋁蝕刻液、ITO蝕刻液、CrT蝕刻液、CAN、磷酸、硝酸鹼室：鹼性藥液顯影液25%、顯影液2.38%、顯影液0.4%、洗劑充填回收作業2002.9.26TFT-QAThomas有機類藥液化學品性質2002.9.26TFT-QAThomas閃火點液體隨著溫度增加，其蒸氣壓增加，當蒸氣與空氣混合達燃燒下限時，遇火燃燒，惟一閃即滅，稱為閃火點。液體之開杯閃火點在攝氏六十五度以下者稱為易燃液體。化學品性質閃火點化學品＜65℃甲苯、汽油30~65℃煤油、輕油、松節油、異戊醇、醋酸、Thinner0~30℃異丙醇、甲醇、二甲苯、乙酸戊酯-30~0℃正己烷、環氧乙烷、丙酮、苯、丁酮＜

-30℃乙醚、汽油、乙醛、環氧丙烷、二硫化碳有機類藥液大部份均為可燃性，嚴禁火花及熱源。2002.9.26TFT-QAThomas酸性藥液化學品性質2002.9.26TFT-QAThomas鹼性藥液化學品性質※『顯影液』危害特性：類神經毒素，吸入、食入或皮

膚大面積接觸，15~30分鐘內產生急性中毒抑制呼

吸肌肉群，造成呼吸肌肉癱瘓，心跳減緩，呼吸衰

竭死亡。

人類口服可能致死劑量：25%TMAH0.8cc~4cc

2.38%TMAH8.4cc~42cc。2002.9.26TFT-QAThomas藥液儲存槽

藥液充填至特定化學品儲槽，以作為庫存特化設備2002.9.26TFT-QAThomas藥液供應設備藥液由設備供應至無塵室使用端特化設備2002.9.26TFT-QAThomas廢液儲存槽廢液循重力流方式流至廢液儲槽特化設備2002.9.26TFT-QAThomas危害分類標示儲槽、設備標示管路標示特化設備2002.9.26TFT-QAThomas系統設備安全項目ChemicalLeakDetector(漏液偵測器)CO2ReliefSystem(CO2鋼瓶消火系統)SprinklerHead(灑水系統)GasDetector(氣體偵測器)MonitorSystem(中央監控系統)特化系統安全說明2002.9.26TFT-QAThomas漏液偵測器安全防護2002.9.26TFT-QAThomas截液溝PitPump室內室外截液溝預先防護：設置於設備、儲槽之漏液檢知器可及早發現漏液狀況，通知人員處理。大量處理：由截液溝防止藥液外流，並啟動自動抽液設備，將大量藥液抽至廢液儲槽。安全防護2002.9.26TFT-QAThomasL1ACO2設備L2CO2設備CO2鋼瓶消火系統僅針對有機類藥液設置安全防護2002.9.26TFT-QAThomas火焰偵測器L2藥供設備溫度感知器L1藥供設備CO2鋼瓶消火系統安全防護2002.9.26TFT-QAThomas灑水系統全區消防洒水有機室：具有耐火2小時以上之火災阻隔設計酸室：具有耐火1小時以上之火災阻隔設計可供應20分鐘以上之消防系統安全防護2002.9.26TFT-QAThomas緊急沖淋洗眼設備（室內外均設）個人沖淋設施安全防護2002.9.26TFT-QAThomas氣體偵測器O2偵測器：室內氧氣含量不足時（<18%），將發出警報。安全防護IPA偵測器：當偵測有機氣體外洩，將發出警報。2002.9.26TFT-QAThomas中央監控系統遇異常狀況，請電特化課監控室：7387安全防護2002.9.26TFT-QAThomas漏液緊急處理非氣密式連身防護衣。全面式或半面式空氣濾清式口罩

洩漏處理步驟-1穿戴適當防護裝備2002.9.26TFT-QAThomas洩漏處理步驟-2漏液緊急處理隔離災區

劃設管制區域，注意

現場情形。洩漏物圍堵

注意洩漏物流向，使用

索狀吸棉圍堵，避免污

染水源地下道。

2002.9.26TFT-QAThomas洩漏處理步驟-3漏液緊急處理洩漏源控制

尋找洩漏點，關閉閥件。洩漏物質處理

控制洩漏情況後，迅速展開

清除動作使用片狀或枕狀吸

液棉吸附。

2002.9.26TFT-QAThomas洩漏處理步驟-4漏液緊急處理善後處理

將使用過後之吸液棉放

入廢棄物收集桶暫存，

交由專人處理。將身上穿戴的防護器具先行

除污再行脫除。2002.9.26TFT-QAThomas

Q&A謝謝指教人有了知识，就会具备各种分析能力，明辨是非