一般气体配管工作程序

一般氣體配管工作程序供输半导体级一般气体之配管工作程序1．适用范围本程序乃适用于半导体生产工厂中所安装的供输一般气体用之配管工作。2．气体管路的种类GN2，PN2，PH2，O2，PO2，HE，Ar，PHe，Par，CDA，PH23．工作范围在这里所定义的管线涵盖为由各种不同气体的起始流出点至连接各生产机器设备的气体管线为止。1）分段点a） 主管路（Main）为由气体的超始流出点（Gasyard）至无尘洁净室中的第一组分支阀（MainLine）为止。b） 次管路（Submain）乃指由无尘洁净室中之第一组分支阀至第二组分支阀（SubmainLine）止。c） 第二条管线由第二组分支阀开始至生产机台设备处为止（Hookup）。第二条管线装配在二次板（PANEL）上，其上配有气体关闭阀组、气体过滤器及压降阀等，而所有配备均需配置在连接于生产机器设备之管路的上游部分。2） 压缩干空气（CDA）对压缩干空气而言，其管路在气体流出点处需配有一干燥空气出口之过滤器，整个管线一直完成至生产机器设备的连接点为止。3） 氮气（N2）必需提供两条氮气管线：a） 经纯制之氮气（PN2）管线：其配管工作由生产机器设备的连接点一直完成至氮气纯化器的上游分支处为止。b） 一般氮气（GN2）管线：其配管工作由氮气精致设备的出口直到纯化器的连接点为止。4） 氧气（O2）必需提供两条氧气管线：a） 经纯制之氧气（PO2）管线：其配管工作由生产机台设备的连接点一直完成至氧气纯化器的上游分支处为止。b） 一般氧气（G02）管线：其配管工作由氧气精致设备的出口直到纯化器的连接点为止。5） 氢气（H2）必需提供两条氢报管线：a） 经纯制之氢气（PH2）管线：其配管工作由生产机器设备的连接点一直完成至氢气纯化器的上游分支处为止。b） 一般氢气（GH2）管线：其配管工作由氢气精致设备的出口直到纯化器的连接点为止。6）氦气（He）必需提供两条氦气管线：a） 经纯制之氦气（PHe）管线：其配管工作由生产机台设备的连接点一直完成至氦线纯化器的上游分支处为止。b） —般氦气（GHe）管线：其配管工作由氦气精致设备的出口直到纯化器的连接点为止。7）氩气（Ar）必需提供两条氩气管线：a） 经纯制之氩气（PAr）管线：其配管工作由生产机器设备的连接点一直完成至氩气纯化器的上游分支处为止。b） 一般氩气（GAr）管线：其配管工作由氩气精致设备的出口直到纯化器的连接点为止。4．工作环境在工作现场需配有一临时性洁净棚，且所有配管工作的操作基本上必须在此区域内完成，以避免一些不当的污染。此洁净棚必须维持且控制在以下的环境条件下：1）临时性洁净棚（由业主提供场地，承包商搭建）a）微尘数目（静态数，粒子大小〉0.3um者）位置洁净度库房10000切割工作区域10000焊接工作区域100b） 条件：于焊接工作区域内，其温度为21°C，相对湿度则为65%。c） 气流：每小时循环5~10次。d） 环境：此洁净棚需足以阻绝微粒、油污及其他外来物质。2）如何控制洁净棚内的气压a） 借由棚内空气的循环与过滤可以控制微粒多寡。b） 在此区域工作的工作者需穿着无尘衣鞋。5．工作完成之标准1） 焊接工作a） 两条管线的尾端焊接主要利用自动焊接机来完成。b） 大于15A的管子需使用90°的弯管，小于1/2"的管子则需使用弯管器。c） 自动焊接机的状况可借由制作测试用样品片来检查；至少每天做两次，于早晨与下午焊接工作开始之前。2） 气体管线材料的处理a） 管线与零件的清洁：所有的管子与其零件需于制造后以管帽盖住开口处、封装外，始可运送至现场；任何管子与零件在弯管、切割及焊接诸如此类工作之进行前，需确

定其清洁度可维持的情形下始可拆封。氩气冲刷：在装配好个别的预作管线且摆放好后，每一单位均需以氩气冲刷干净纯度提升的方法：用纯氩气来喷洗管线内部。配管完成后的检查：a)外观目检：附表b)焊接点目检：附表c)锁入配件目检：附表d)压力/侦漏检验：附表e)微尘测试：附表f)纯度测试：附表预先允诺管线行径路线：为了避免由焊接工作的过程中因不断修正而导致的损失，管线所经的路线必须先由客户召集各承包商进行套图，一旦经业主确认无误施工后路线必须变更，则一切因变更而增加的费用需由客户自付，其责任与施工一方无关。强制性穿戴手套：在进行每一个操作时必须穿上干净棉制手套，严禁使用裸手操作。6．工作进行之步骤为了维持完成后的洁净在所订之水准内，气体供输的管线工作必须尽可能地小心去完成。序号项目步骤备 注制造地点1材料检查O逐项检查各项材料是否符合订单上的规格洁净棚2机械切割O切割至所需长度及使用机器将端合部流程均在临时性点磨平洁净棚中操作、处理3氩气冲洗◎充以氩气，喷洗并清理管子末端部分4焊接及安装O由通过资格鉴定的技师负责焊接之相关工作5安装后的检杳工作•分段逐一检查6最后清洁◎清洁并以氮气不断喷洗以达洁净要求7防尘帽盖◎将管子两端覆以帽盖并以塑胶膜包装8储存O整组封好运送之序号项目步骤备 注制造地点1管线预作之检杳工作O检查欲架设地点于架设管线之现场中进行2临时性架设O确定所切割之管线符合预先设计之长度3分区安装O摆设好并焊接之4检验工作•外观目检、充以压力及时行气密试验5纯度提升◎以氮气喷洗干燥现场6完成并测试•进行纯度测试附注：o 生气过程◎ 纯度维持及处理过程• 检验过程材料检查材料一经递送到施工单位则必须立即就其订单规格来检验是否合格。临时性洁净棚临时性洁净棚装设在现场。管设工作中，所有的预作管线部分均需在临时性洁净棚中进行，因其有控制其微尘数。管线材料则需储藏于库房中，以避免规格有异变。机械材料在开始进行工作前应先检查使用的工具是否清洁。每一管线于切割时必定使用切管器且要避免小碎片进入管中。切割完毕后的清洗每一段切割至所需长度的管子，最后均需以氮气喷洗之，以避免残留的小碎片留在内部。喷洗完后立刻以帽盖覆在两端开口，并以塑胶套膜包装好储存，直到需要安装这些管线前再拆封。配管工作之预制检查并确定所需的材料。实施试焊。进行焊接工作(一般为尾端对焊)。焊点的外观部分需擦亮之。确定预制的管子其长度与绘制图或现场量测的相符。以帽盖将两端封住。制作管之清洗管子需以通过高纯度的氮气喷干内部。以帽盖封住两端后，再以塑胶套膜重复包装好储存之。管线支架的装设支架的材质由业主统一规定制作，且借由装配在开花板、墙缘、梁柱及设施等之上可固定管线。支架的摆设位置需依现场实际状况予以量测并架配之。配管时需考虑管线工作外、气体种类、维护及配设之美观程度等。管线之间的架设间距至少为20mm以上。螺钉与螺帽基本为不锈钢制品。管线架设安装工作确定每一段制作的管子的编号符合它们要被摆设的位置无误。先予以摆放至要被架设的位置以确定其长度适合原来的设计。使用塑胶方块在末端支撑住并小心不使其保持的洁净度避免被破坏；点焊之使用自动焊接机对封。焊点的外观部分需擦亮。使用自动焊接机的对焊法基本上不处理凹槽斜角部分。Forback-sealing使用高纯度的氩气以设定好的流速循环通入管中。将欲焊之两管中心对准后沿圆周各焊点焊3~4处。焊接尾端处覆以干净塑胶袋，以隔绝大气中之尘埃、水气及不纯物。即使焊接完成，也要继续通以氩气保持循环状态，并使焊接处金属基底降温将焊接操作如电流、时间等记录之。如何焊法兰部分将管子插入法兰正面2~3mm的深度处点焊之。使用手控焊接机将法兰正面沿圆周焊接一圈，同法再焊法兰的背面；如果先焊法兰的

背面，极可能会污染法兰的正面而导致漏缝，因此务必记住先焊正面部分。如何焊接小口径的配件基本上每一小口径需为VCR式的接头。基本上一个VCR接头可与管子以自动焊接方法对焊之。基本来说T形配件为CAJON迷你型配件。特定的夹具乃被用以当配件或任何接头在与管子焊接时对准用。锁入的配件所谓的锁入配件为SWAGELOK型式且其锁头基本上与CAJON-SWAK相同。在以去油渍清洁后，内外螺纹部分再以SWAK处理后可予以旋入。旋入后多余渗出的SWAK需以棉布擦拭之。在锁入配件的配管其弯管的半径需足可容许其帽盖的移出。7．测试与检验1)外观的目检工作a)检查管子、配件、阀头、法兰、螺钉、螺帽、垫片及其附件与工程图相符，以确定所完成的工作无误；而后贴上一指示流动方向、气体名称的标签。b)确定支撑管线的支架安置无误。确定各气体的管线确实连接到生产机器设备的每一需求点。确定配管的工作不会损害其本身维护能力及美观程度。检试其检验报告及管线的标记以确认管线的确按照所设计的规格及标准配设。以肉眼目检管子、配件、阀头、法兰、螺钉、螺帽、垫片及其附件之外表，以确定其没有遭受外来的损害、表面腐蚀或发生裂痕。2)焊接点的目检工作a)焊接部分不可过度凹陷于整个金属底部。b)金属底部不可有阶梯状凸起。锁入配件的外观目检工作a)确定锁头安装与规格相符无误。b)确定所有的配件均正确地旋入无误。确定锁入配件的配管其弯管的半径需足可容许其帽盖的移出。确定任何一根短管均不会被过度地安装。压力测试在测试时需安设一经O.Olum过滤的氩气或氮气线。压力测试时所使用的压力及充气时间需为所安装阀头规格的1.5倍(规格如所附之表三)。压力测试进行之步骤：管线内充满气体并达到测试时规定的压力时，开始就所有的连接阀及焊接处等较可能的漏点进行气泡式侦漏(Snooping),此一切相关之压力需确实记录。充气体于所有管线在规定之压力及时间内如果没有异状发生，则视其为正常且常通过测试。根据压力记录仪上所显示的压力来记录其测试时使用之压力。侦漏测试与压力测试类似的是：在测试时需安设一经O.Olum过滤的氩气或氮气线。基本上此侦漏测试是在压力测试通过之后才进行。侦漏测试时所使用的压力及充气时间需符合其所安装阀头的规格(如所附表三)气密试验首先进行：在规定的压力下充气达10分钟以上，并记录此时压力变化。于侦漏测试中，压力的记录乃是由使用压力记录仪来完成。在所规定的压力下充气达所规定的时间后，管线必须没有压降情形发生，也就是说，从压力记录仪中读取的压力，从开始测试到结束并不相符，但由开始测的室温并不同于结束时的温度，则需要考虑以下的一个温度校正公式，以决定此压力测试有无通过。通过此项测试的准则是：如果压力的变化在开始测试时压力值的98%范围内，则视其正常且通过测试。压力的保持率(E)E=[(P2/T2)/(Pl/Tl)]X100%所需测试时间量测值转换值的计算压力(kg/cm2G)温度(OC)压力(kg/cm2A)温度(0K)10分pltlP1=p1+1.O33T1=t1+27324时P2t2P2=p2+1.033T2=t2+273表三：压力/侦漏测试标准测试项目规定气体测试压力测试时间压力测试氮气12kg/cm2G30分钟发上气密试验氮气8kg/cm2G24小时以上所有的测试均需以最有效率的方式进行：譬如发几个邻近的管线为一组搭配一个压力记录仪进行测试工作。记录压力/侦漏测试的结果在进行压力/侦漏测试之前，先将测试点拍照并记录之。在开始记录压力之前，将欲测管线的名称、起始的压力读值、开始测试的时间、日期，以及开始测试时的室温。在完成测试时，务必记录结束的时间、日期、结束时压力读值及当时的室温。站在客户一方的我方监督人员务必作确认及同意的签署后始完成此项测试。所有的测试点的决定需先经客户的认可始可进行有效测试，而资料必须依照测试点的顺序排放归集。当测试的结果由客户认可签署后，与其相关的配管工作即视为验收通过。若每项测试均需经客户一方的签署及见证，则在进行各项测试之前，己方应准备测试的流程表单经对方许可，始可进行。依据每一流程，见证者的测试工作可由现场工作的完成前后陆续进行阶段式的验收。由于有非常多的项目需进行测试，为避免因客户方面之见证者勘验不便而造成此合约性工作的延迟进行，可用拍照方式将需确认的位置存证以代替当场之见证。8．纯度提升之过程1)方法：在完成气密试验后，为了提升管线内部的纯净度，有下列的过程可以意义进行之。a)喷洗过程：所有的次主管均以纯氩气或氮气反复喷洗，其使用气体的流速为15〜20m/sec(见附表四)。

b)干燥过程：依据6)-b)及c)的方式进行。表四：管线直径与纯度提升所需之气体流速管线直径气体流速时间1/4"12N1/min24hr3/8"45N1/min24hr1/2"70N1/min24hr3/4"200N1/min24hr1"280N1/min24hr3/8B(10A)150N1/min24hr1/2B(15A)240N1/min24hr3/4B(20A)410N1/min24hr1B(25A)670N1/min24hr13/4B(32A)1.1Nm3/min24hr11/2B(40A)1.5Nm3/min24hr2B(50A)2.3Nm3/min24hr21/2B(65A)3.7Nm3/min24hr3B(80A)5.1Nm3/min24hr4B(100A)8.6Nm3/min24hr2)纯度测试：a)微尘测试：为了计算气体中所含的微粒数目，可于测试点出口处连接一微尘计算仪，其作业方法能见“半导体气体管道管线纯度检验程序”。此微尘计算仪一次印出计算数值约等于1立方英尺的气体所含微粒数；为确保数值可信，此资料需连续印出3次且其粒子在小之设定在规定范围内。若此资料中每一测试点的数值