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文档简介

电

子

厂洁

净

室

系

统简

介大纲HJTC/R介紹洁净室系统型式为何需要CleanRoom洁净室的定义洁净等级定义制程线宽与洁净度之关系

CleanRoom之环境因子影响C/R洁净度的环境因子风管系统FFU系統轴流风机系统架构表及主要系统介绍Layout说明MAU与空气循环系统洁净室的定义洁净室为将一定空间范围内之空气中的微尘粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音震动及照明、静电控制在某一需求范围内，而给于特别设计之房间以符合制程工艺之需求

回主画面洁净等级回主画面制程线宽与洁净度之关系回主画面污染物大小0.3um粒径肉眼可视粒径人类头发直径-100um回主画面影响C/R洁净度之环境因子温度湿度压力微尘粒子照度微振动噪声静电化学物质回主画面洁净室空调系统型式风管系统FFU系統轴流风机系统以风管输送洁净空气循环空调箱兼处理外气天花空间为微负压气室独立设置外气空调箱天花空间为正压气室独立设置外气空调箱回主画面风管系统

(循环空调箱兼处理外气)洁净度、温度及湿度控制FFU系統

(独立设置外气空调箱)洁净度控制温度控制湿度控制温度控制轴流风机系统

(独立设置外气空调箱)洁净度控制温度控制湿度控制温度控制架构表及主要系统设备介绍LIGHTINGSPEAKERFFUHARMONICMAU&DCBANK&HARMONICFILTERHVACMONITORFFUMONITORION.SYS.FMSARCHHVACFIREPROTECTIONELEC/CONTROLELECCHEMICALC/RHVACDIARCH

HJTFAB8NPROJECTGASP-PEPOXYCOATINGRAISEDFLOORCEILINGGRIDSYS.PARTITIONAIRSHWOR/AIRLOCKTOOLFOUNDATIONVIRBRATIONDEFENCEMAUSYS.FFUSYS2’ndCHWDRYCOILAIRWASHERSYS.FIRESPRINKLERDESMOKESYS.ADRANCEDETECTORSYS.AIRSAMPLINGSYS.CDAPCWPVHVBAIW回主画面HJTC/R主要洁净需求CleanlinessTemperatureHumidity10023±0.5℃45±5%RH100023±2℃

45±5%RH0.123±0.5℃45±5%RH1000023±2℃

45±10%RH回主画面电子厂平面配置概念图FAB2FAB1S

BO

BC

U

BWH回主画面SUB–FAB（MASKSHOP)回主画面RAP回主画面FAB、SB3F、G/R回主画面TRUSS、SB4F-TESTAREA回主画面电子厂剖面概念图RAISEDFLOORCOILCOILDESMOKEFANDESMOKEFANCDABAPCWPV回主画面MAU+空气循环系统外气空调箱功能压力之控制湿度之控制外气微尘粒之预处理气态分子之控制空气循环系统功能洁净度之控制

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