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文档简介
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什么是净化间和净化间脏污?BasicDefinitionaboutCleanroomandcontamination
为什么要控制净化间脏污?WhydoweneedcontrolCont?
如何控制净化间脏污?Howdowecontrolcont.?
要求、原则、方法。。。CourseInstruction净化间的定义Cleanroomdefinition净化间(C/R)——根据实际需要建立的温度、湿度、气压和脏污都受到适度控制的封闭工作区域。Aroominwhichtheairsupply,airdistribution,filtrationofairsupply,materialsofconstructionandoperatingproceduresareregulatedtocontrolairborneparticleconcentrationssothatappropriateaircleanlinesslevelscanbemet.通常控制标准:
温度:22+/-2℃;湿度:55+/-10RH;气压:常压略高
。脏污受控程度按空气传播粒子数(密度)分类。
净化间级别CleanlinesslevelanddesigntypesinKF通常根据空气传播粒子密度,将脏污受控程度分为:Class10,100,1000,10K等。Class100——悬浮在每立方英尺内空气内,颗粒不小于0.5μm(或者0.3μm的)微粒个数不超过100个。想一下:0.5μm有多大?
无大于5.0μm颗粒。大约是头发丝粗细的20分之一。1μm等于百万分子一米,即10-6HEPAFliters净化间通过高效过滤器降尘系统的工作,来维持一定的洁净度,换气次数可以控制室内不同的污染物浓度。(Highefficiencyparticulateairfilterhavingaminimumparticle-collectionefficiencyof99.97%for0.3um.Airfiltersarethekeycomponentinensuringthecleanlinessofairincleanroom)Contamination&Cont.Control?净化间脏污是指存在于净化间内所有对产品合格率和品质稳定性产生不利影响的所有不必要物质。净化间脏污控制是将对产品合格率和可靠性有不利影响的所有人员、设备、设施、物料等联系考虑的全系统控制。脏污——是指影响正常状态的那些由外界介入的不需要的物质,通常是些不良的成分。净化间脏污分类Classification按物质类别:微粒类磁性、非磁性金属、非金属化学类
按存在方式:空中漂浮类淀积/附着类气体、液体。化学类脏污
包括:有机类离子脏污生物类(细菌)还有
通常按脏污物质的化学性质与物理状态来分类脏污按物质存在状态:固态、气态、液态、胶体、雾等。各种物相都存在ChemicalParticle人体、工装设备及装配物料带入。
净化间脏污的80%
是从净化间外部带入的!!人与物体的移动而产生。净化间脏污的来源
Majorsourceofcontamination脏污操作人员工具设备装配物料设备使用、人体移动另有统计:人所造成的脏污占净化间脏污的80%。净化间使用设施脏污测试典型脏污举例客户特别关注的脏污有哪些?Customerrequirements脏污对磁头和硬盘驱动器有什么危害?HowDoContaminantsCauseFailures?如何检测脏污?(HowtodetectCont.?)理解脏污控制的重要性。第二个问题——
Whydoweneedcontrolcont.?脏污检测常用方法擦拭(WIPETEST)空气粒子数(PARTICLECOUNT)液体粒子数(LPC)与离子数测试(IC)挥发性气体与凝结物(OUTGASSING)不挥发性组分(NVR)
红外光谱(FTIR)DI水及细菌数测试(BACTERIA)透射电镜及元素分析(SEM)WIPETEST目检无可见脏污。PARTICLECOUNT
C/R100,<100个;C/R10K,<10000个LPC
MAXTOR:HGA/HSA250/5000cumlcounts/cm2(>/=1.0um);WD:HGA/HSA90kcounts/cm2(0.5um);IC(Cl、F、Br、NO3;Na、NH4、K、Mg)
MAXTOR:HSA/HGA20/10
ng/cm2
WD:HSA10ng/cm2(ppb)IBM(ThornbackHAS):7ug/part常用测试标准(Spec.)常用测试标准Outgassing
Spec-limit/Critcal-limit(ug/part)TotalOutgas
10 30Acrylate
1 2
Siloxane 12 Chlorinated 0.01 0.01 Hydrocarbons1 2 Acrylate,丙烯酸脂,主要来源:胶剂等。Siloxane,硅氧烷,主要来源:润滑剂等。
Organiccontamination(NVR)总残留物不大于20毫克;FTIR不允许有硅油、酰胺化合物以及邻苯二甲酸盐。Silicone,硅油,主要来源:橡胶、铸型等。Amines/DOP,氨基化合物/酸二辛脂,来源:包装物等。分解标准(MAXTOR)Flex-cableIONIC(最大允许浓度ug/cm2
)Flex-cableNVR/FTIR(未经清洗)NVR总量不大于5.0ug/cm2。FTIR,硅油、DOP和氨基类化合物不允许。脏污30.4%粒子17.7%NVR4.6%挥发性气体3.8%其它2.5%IC1.7%脏污导致硬盘制造中不合格的比例Contaminationisoneoftophitterindrivemanufacturesatpresent.如何理解脏污对产品的危害????各类软硬件故障,引起磁头、硬盘失效,最严重的危害是:导致客户不满和失去信心!Whenerrorratesgettoohightobecompensatedbyerrorcorrectioncodes,orwhendrivesfail,wehavedissatisfiedcustomers,Notagoodthing!Whendrivesarereturnedandmustbereplaced,thatisamatterof$$$.光学粒子计数仪Particlecount液体粒子计数仪Liquidparticlecount离子色谱仪
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