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文档简介
关于直拉单晶棒少子寿命的检测检测依据及设备、原理检测作业指导书检测数据分析234采样及其样品处理1检测报告书5第2页,共12页,2024年2月25日,星期天
采样及其样品处理
一、采样1、单晶棒2、单晶片:取头部、中部、尾部各三片,要具有代表性二、样品处理1、试样待测面用28~42μm或20~28μm金刚砂研磨或喷砂。2、对圆片试样,用5~14μm氧化铝或金刚砂研磨上下表面。第3页,共12页,2024年2月25日,星期天检测依据第4页,共12页,2024年2月25日,星期天检测设备X射线晶体定向仪原理:如果波长为λ的单色X射线入射到晶体上,要使其能在某晶面产生衍射,使得该晶面的放置位置相对于入射X射线来说满足布喇格方程2dsinθ=nλ,对不同结构的晶体和不同的晶面其衍射线出现的方位不同,在与入射线的角度为2θ的位置上便会出现衍射线,根据衍射线的方位就能确定晶体的取向。
X射线的性质:感光作用、萤光作用、电离作用、穿透能力强、X射线的折射率近似等于1、衍射作用第5页,共12页,2024年2月25日,星期天一台X射线定向仪主要由下几个部份组成:(1)X射线发生部分(2)X射线检测部分(3)样品台及转角测量部分第6页,共12页,2024年2月25日,星期天检测作业指导书1、对晶体要求:⑴在检测前首先确认被测晶体是否为单晶;⑵定向前需先判断定向面的大致取向,如无法判定则可先假定一个,逐一实验,直到找到正确晶面;㈢记住样品假定的方向。2、实验仪器:X射线定向仪、硅片第7页,共12页,2024年2月25日,星期天
3、实验步骤:①用前,开机预热5-10min;②查表,找与之对应的布喇格角θ;③调节盖革计数管放置在2θ的位置上;④开x光电源,按下开关,调电压,0.8-1.0A之间;⑤开气阀,吸上标准石英,拉开x光挡板,调数率旋钮,摇动手轮找到峰值;⑥换硅片,重复第5步操作;⑦当计数表达到峰值,记下转角,求水平偏离角,旋180˚,重复上面步骤,两次测量结果取平均值;⑧将样品位置复原后,旋转90˚
后,重复操作,测得两个垂直的偏离角,取平均值⑨利用公式,当时,计算出Φ值第8页,共12页,2024年2月25日,星期天数据分析第9页,共12页,2024年2月25日,星期天第10页,共12页,2024年2月25日,星期天Thankyou!第11页,共12页
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