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文档简介

太阳电池制造——工艺流程、工艺原理及工艺卫生太阳电池制造过程（流程图）硅片装盒漂洗去除硅片损伤层和形成绒面*甩干磷扩散形成p-n结*等离子体边缘腐蚀腐蚀表面磷硅玻璃甩干PECVD沉积SiN*印刷背面电极烘干印刷铝背场烘干印刷正面电极烧结*测试包装带有*的为关键工艺，需对结果进行测量，必须满足设计值。

太阳电池制造过程（一）硅片装盒

硅片腐蚀去除硅片损伤层（和形成绒面）漂洗干燥

太阳电池制造过程（二）磷扩散形成p-n结等离子体边缘腐蚀腐蚀表面磷硅玻璃硅片烘干太阳电池制造过程（三）PECVD沉积SiN

利用硅烷（SiH4）与氨气（NH3）在等离子体中反应。SiH4+NH3SiNH+3H22SiH4+N22SiNH+3H2太阳电池制造过程（四）丝网印刷和烧结

太阳电池制造过程（五）分类检测包装入库

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