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20202025年中国MEMS压力传感器行业专项调研及投资前景调查研究分析报告
提示:MEMS压力传感器是基于MEMS技术和半导体集成电路制造加工技术,以利用单晶硅硅片等传统半导体材料制作而成的芯片作为主要组成部分,将压强信号转化为电学信号的压力测量器件。MEMS压力传感器从作用原理差异上可分为压阻式、电容式、谐振式和压电式四类,其中压阻式传感器是当前主流的MEMS传感器类型,其具有成本低、成熟度高等特点。
MEMS压力传感器是基于MEMS技术和半导体集成电路制造加工技术,以利用单晶硅硅片等传统半导体材料制作而成的芯片作为主要组成部分,将压强信号转化为电学信号的压力测量器件。MEMS压力传感器从作用原理差异上可分为压阻式、电容式、谐振式和压电式四类,其中压阻式传感器是当前主流的MEMS传感器类型,其具有成本低、成熟度高等特点。
MEMS压力传感器根据作用原理主要分类MEMS压力传感器种类工作原理特点压阻式压阳效应引起输出电压变化成熟度高、成本低、结构简单、易于集成、易于测量基于电压与被测压力的比例实现压力测量易受温度影响产生温漂现象电容式压力变化引起电容量变化灵敏度较高、功耗较低、温漂小基于电客变化与被测压力的关系实现压力测量信号转换复杂、设计难度高谐振式压力变化引起谐振结构频率变化灵敏度高、精度高、抗干扰能力强基于频事变化与被测压力的关系实现压力测量结构复杂、易受噪音和温漂影响压电式压电效应引起电荷变化灵敏度高基于电荷变化与被测压力的线性关系实现压力测量特殊制造工艺要求,压电材料成熟度低数据来源:公开资料整理
中国MEMS压力传感器行业产业链的下游应用领域主包括汽车电子、消费电子、工业控制和医疗领域等。其中汽车电子领域占整体应用领域比重50%以上;消费电子比重第二,为28.7%;然后是工业领域,占比10.6%。
中国MEMS压力传感器终端应用领域占比数据来源:公开资料整理
受到汽车电子和消费电子市场蓬勃发展的影响,中国MEMS压力传感器销售额快速增长,从2014年到2018年,销售额从70.8亿元增长至115.1亿元,年复合增长率为12.9%。初步估计中国MEMS压力传感器销售额到2020年将达到141.9亿元;到2023年将达到199.2亿元。
2014-2023年中国MEMS压力传感器销售额及预测数据来源:公开资料整理
为提高中国MEMS传感器的技术本土化,中国政府发布相关行业政策助力行业发展。2019年4月,国家发改委发布了《产业结构调整指导目录(2019年本,征求意见稿)》,将新型智能传感器、MEMS传感器先进封装测试列入国家产业结构调整鼓励类项目。
中国MEMS压力传感器行业相关政策及标准政策名称颁布日期颁布主体主要内容及影响《产业结构调整指导目录(2019年本,征求意见稿)》2019年4月国家发改委将新型智能传感器、MEMS传感器先进封装测试列入产业结构调整鼓励类项目《GB/T33922-2017MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法》2018年11月国家质监局、国标委规定了MEMS压阳式压力传感器的术语、定义、试验条件、试验规定、试验内容和方法《促进新一代人工智能产业发展三年行动计划(2018-2020年)》2017年12月工信部为夯实人工智能产业硬件基础,支持基于微机电系统(MEMS)和互补金属氧化物半导体(CMOS)集成等工艺的新型智能传感器研发,到2020年,MEMS工艺、封装和测试技术达到国际先进水平《关于全面推进移动物联网(NB-IoT)建设发展的通知》2017年6月工信部提出建设广覆盖、大连接、低功耗移动物联网(NB-IoT)基础设施,推进NB-IoT网络部署和拓展行业应用《GB/T32817-2016半导体器件微机电器件MEMS总规范》2016年8月国家质监局、国标委提出MEMS行业总规范,规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程,给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试总则《“十三五"国家科技创新规划》2016年7月国务院提出推动传统制造业转型升级,发展先进制造技术,推动MEMS传感器等新兴产业关键制造设备研发,提升自主研发能力《GB/T26111-2010微机电系统(MEMS
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