真空测量方法

一、前言

本文涉及到的有关名词和术语：

1.真空度：当以mmHg（Torr）或Kpa、Pa为单位时，指的是绝压，又称残压、压力，剩余压力或吸入压力。

当以Mpa为单位时，指的是弹簧真空表的表压，例：-0.078Mpa。那么绝压应为0.1-0.078=0.022Mpa。

2.抽气量：单位时间通过泵入口处气体的质量流量，常以当量不凝气和当量可凝气标称，单位为kg/hr。

3.当量不凝气，对非20℃空气或其它不凝性气体,按其分子量和温度折算成20℃的空气质量流量，单位为kg/hr。

4.当量可凝性流量：对非20℃的水蒸汽或其它可凝性气体，按其分子量和温度折算成20二、真空度的测量

测量真空度一般有五种方法：

1.与外界大气压力相比较。

在图一中，装有水银的U形管两端开口。一端直通大气，另一端与真空系统连接（设压力为PA），两端的水银柱的差为△h，若设大气压为P大，有P大－PA=△h

则PA=P大-△hmmHg

但是，我们必须注意，大气压并非为760mmHg，气压计只有在海拔高度为零时，其读数才代表当地当时的大气压。

设若在某地区某一时，大气压计读数为PB，而海拔高度为H，则该地区实际大气压为：

P大=PB－H/10mmHg因此，真空系统的压力为：PA=P大－△h=PB－H/10－△hmmHg

这一例子的实用形式即为了弹簧真空表。

弹簧真空表是按0.1Mpa这一压力作为基准而设计，制造的，因此，在实际使用中应根据本地区的实际气压情况进行修正。2.与绝对真空相比较

在图二中，使用的U型管一端封闭且充满水银（注意：不能有气泡夹在里面），另一端开口并与真空系统（设若压力为PA）连接，U型管的两端水银柱高度为△h，则真空系统内压力：

PA=△h

这一方法，在实际生产中直接应用时称微型U型计或残压计。

当PA<2mmHg时，为避免水银的毛细作用和观察者视差，可将微型U型计内的汞换成粘度较低的油（挥发率较低的植物色拉油也可），若油的比重为r，则：

注意：封闭端必须充满油，决不能以夹带任何气泡3.利用气体的波义耳定律进行测定：

在图三中，所示的转动式真空计，V1为水银储存器（平时水平放置，储有水银），使用时，将V1置于高处，使V1内的水银注入V2和d管内，设M-M捯陨喜课坏腣2和d管的体积为V，则：

则：P=K×h×h'-----（1）

若在结构设计和水银灌装中使水银能达00’平面，

则：P=K×h2----------（2）

这就是在实际生产中使用的转动式麦氏真空计的测量原理，因此，一旦水银不能达到00'平面，就必须对测量结果按（1）式进行换算。

由上我们可以知道，麦氏真空计只能用于测量不凝性气体分压。

当水蒸汽喷射真空泵处于极限工作状态时，由于抽吸和返流相平衡，这时系统内的气体由不凝气与可凝汽两部分组成，所以利用麦氏计测出的数据并不代表真实的压力，只能用作参考值。当水蒸汽喷射真空泵处于抽除不凝性气体的工作状态时，工作蒸汽的返流可忽略不计，这时麦氏计测得的数据可以视为系统的实际压力。

4.利用泵或系统内的温度来计量真空度：

水的物理特性表明，在不同温度下，水的饱和蒸汽压是不同的，两者有着对应的关系。

在日常生活中，当我们在一定压力（P）下加热水时，如果温度达到t=ts(压力P所对应水的饱和温度)时，水成为饱和水，再转化为湿蒸汽、干饱和整汽、直到过热蒸汽。压力P变化ts也随之变化。在P为1atm(1个标准大气压)时，ts=100℃；当P为2atm(2个标准大气压)时ts=120.5℃。在P=0.57atm时，ts=85℃，这就是西藏地区水在80℃左右就开（沸腾）的原因。

因此，在真空制冷中，系统内压力下降时，t假如系统有外加热源，那么系统内的水将全部蒸发光，真空度的上升取决于抽速和汽化的速度差。

假如系统无外加热源，那么汽化带走热量将使剩余水的温度不断下降，直到t=ts。这时系统内残压即为水的饱和蒸汽压。我们可以通过测量剩余水的温度或存水处容器的温度tA来预知饱和蒸汽压PA，如图四的A点。

当t<0℃5.其它真空仪表

在水蒸汽喷射真空泵的工作真空度范围，我们还可以选用薄膜式真空计，振膜式真空计，电阻式真空计等真空测量仪表。

但薄膜式真空计适用于无极性分子的抽气场合，因此，测量口应离开喷射泵抽气口相当远的距离以避免水蒸汽分子的影响，且价格较贵。

电阻式真空计价格适中，其测量电路有定压式、定流式、定温式三种，常用为定温式电阻真空计，但对噪声、振动比较敏感，零位漂移比较大。

有条件的单位，以选用振膜式真空计为佳。在进口设备中较常见。

三、抽气能力的测定

1.流量喷嘴

按图五制定各种直径的流量喷嘴符合以下关系：

2.测试罩

图六所示为空气临界流量测试罩。3.图七所示为水蒸汽临界流量测试罩。4.图八为空气临界流量和水蒸汽临界流量相结合的测试罩。5.测定方法

a.选择测试罩。

b.选择合适直径的空气和蒸汽流量喷嘴。

c.启动蒸汽喷射真空泵，根据额定的蒸汽压力、温度及冷却水压、水温使泵处于正常工作状态，并记录蒸汽耗量，冷却水循环量等参数。

d.在测试罩上选择不同直径的空气流量喷嘴，放入不同量的空气，在喷射泵的泵头上读出实际工作真空度，并记录之，即可取得该泵抽空气量的实际工作性能曲线。

e.在测试罩上装配一定直径的蒸汽流量喷嘴，调整测试蒸汽压力，给喷射泵放入不等量的水蒸汽，在喷射泵的泵头上读出实际工作真空度，并记录之，即可取得该泵抽水蒸汽量的实际工作性能曲线。

f.根据d.e.测试结果，重复并同时做d.e.这两