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文档简介

项目七微电子器件生产规范7.2风淋与除尘清扫微电子技术与器件制造主讲人：罗朝平7.2风淋与除尘清扫引言

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INTRODUCTION

在动态情况下，洁净车间细菌及尘埃的最大发生源是人员。根据设备安全作业规程与安全风险、净化车间管理规定，进入晶圆生产车间前，对进入的人员必须进行风淋、除尘、菌等洁净措施，才能进入洁净生产车间操作。才能使晶圆生产免受细菌和尘埃的破坏，保障了晶圆生产的正常进行。PART01风淋PART02除尘清扫目录7.2风淋与除尘清扫7.2风淋与除尘清扫知识目标1、了解风淋的相关概念、作用及风淋室的特点2、掌握除尘的分类及作用7.2.风淋与除尘清扫7.2.1风淋概念：人员进入对无尘要求非常高的晶圆制造、检测洁净车间之前，必须进行除尘操作，用洁净空气吹淋其衣服表面附着的尘埃颗粒。就像大风“淋”到身上一样，顾名思义叫风淋作用：

风淋的目的，就是针对芯片处于裸露状态的洁净车间设计的，是为了清除进入这些车间的人或物体表面的灰尘，保证车间内的无尘环境不被破坏。7.2.1风淋风淋设备

风淋在风淋室中进行，风淋室又称为洁净风淋室、净化风淋室等。风淋室7.2.1风淋风淋室具有如下特点：（1）采用PLC智能化的控制手段，控制面板上的LED显示屏，能正确显示风淋的运行状态双门的互锁状态、风淋周期进度和延时开门状态。（2）采用人性化的控制面板，清晰的指示灯指示，给予用户清晰正确的风淋流程指示。7.2.1风淋（3）采用美国AAF初、高效过滤器两级过滤系统，无隔板低阻力高效过滤器，过滤效率为99.99%，确保净化级别。（4）采用模块化设计方案，可以按实际需要拼装成各种长度的风淋尺寸。（5）采用进口电子元器件、先进的减噪静音装置系统及EVA密封材料，运行性能稳定可靠、密闭性能高。7.2.1风淋进入风淋室的具体流程（1）在图中，点击风淋室的外门，将风淋室的外门打开。打开风淋室门7.2.1风淋（2）根据路面指示进入风淋室。（4）到达指定时间后，风淋结束，出口自动解锁，此时员工可以走出风淋室进入生产车间进行操作。（3）到达指定位置，空间封闭，人员张开双臂，旋转360度，风淋室开始除尘。7.2.2除尘清扫

（1）脚底除尘

洁净车间内的无尘要求较高，进入更衣区需进行脚底除尘。按照路面指示移动到刷卡器前，进行刷卡进入更衣室，双脚站立在门口的粘尘垫上，完成脚底除尘，才能进入生产区，如图所示。脚底除尘7.2风淋与除尘清扫7.2.2除尘清扫（2）洗手除尘

按照路面指示移动到自动洗手器前，进行手部的清洁，清洗完毕之后自动烘干，如图所示。洗手除尘7.2.2除尘清扫（3）风淋除尘进入风淋室后站立在指定位置，前后门自动落锁，风淋室开始除尘操作。在除尘期间，人员需要张开双臂旋转360度，达到最大除尘效果。仿真知识总结

风淋和除尘是针对芯片处于裸露状态

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