中职教育一年级上学期电子与信息《风淋与除尘清扫》教案_第1页
中职教育一年级上学期电子与信息《风淋与除尘清扫》教案_第2页
中职教育一年级上学期电子与信息《风淋与除尘清扫》教案_第3页
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文档简介

微课教学设计课题名称7.2风淋与除尘清扫所属课程微电子技术与器件制造所属专业电子与信息技术授课教师知识点1.风淋2.除尘清扫教学目标学会了解风淋的相关概念、作用及风淋室的特点会学掌握除尘的分类及作用乐学在学习风淋的相关概念的过程中，创设良好的教学情景及小组合作学习氛围，增强团队合作意识。教学重、难点重点风淋的相关概念、作用难点除尘的分类及作用教学方法讲授法、演示法教学环节教师活动媒体设计时间课题引言在动态情况下，洁净车间细菌及尘埃的最大发生源是人员。根据设备安全作业规程与安全风险、净化车间管理规定，进入晶圆生产车间前，对进入的人员必须进行风淋、除尘、菌等洁净措施，才能进入洁净生产车间操作。才能使晶圆生产免受细菌和尘埃的破坏，保障了晶圆生产的正常进行。1分钟教学内容风淋与除尘清扫风淋概念：人员进入对无尘要求非常高的晶圆制造、检测洁净车间之前，必须进行除尘操作，用洁净空气吹淋其衣服表面附着的尘埃颗粒。就像大风“淋”到身上一样，顾名思义叫风淋.作用：风淋的目的，就是针对芯片处于裸露状态的洁净车间设计的，是为了清除进入这些车间的人或物体表面的灰尘，保证车间内的无尘环境不被破坏。风淋设备风淋在风淋室中进行，风淋室又称为洁净风淋室、净化风淋室等。风淋室具有如下特点：（1）采用PLC智能化的控制手段，控制面板上的LED显示屏，能正确显示风淋的运行状态双门的互锁状态、风淋周期进度和延时开门状态。（2）采用人性化的控制面板，清晰的指示灯指示，给予用户清晰正确的风淋流程指示。（3）采用美国AAF初、高效过滤器两级过滤系统，无隔板低阻力高效过滤器，过滤效率为99.99%，确保净化级别。（4）采用模块化设计方案，可以按实际需要拼装成各种长度的风淋尺寸。（5）采用进口电子元器件、先进的减噪静音装置系统及EVA密封材料，运行性能稳定可靠、密闭性能高。进入风淋室的具体流程（1）在图中，点击风淋室的外门，将风淋室的外门打开。（2）根据路面指示进入风淋室。（3）到达指定位置，空间封闭，人员张开双臂，旋转360度，风淋室开始除尘。（4）到达指定时间后，风淋结束，出口自动解锁，此时员工可以走出风淋室进入生产车间进行操作。2、除尘清扫（1）脚底除尘洁净车间内的无尘要求较高，进入更衣区需进行脚底除尘。按照路面指示移动到刷卡器前，进行刷卡进入更衣室，双脚站立在门口的粘尘垫上，完成脚底除尘，才能进入生产区（2）洗手除尘按照路面指示移动到自动洗手器前，进行手部的清洁，清洗完毕之后自动烘干（3）风淋除尘进入风淋室后站立在指定位置，前后门自动落锁，风淋室开始除尘操作。在除尘期间，人员需要张开双臂旋转360度，达到最大除尘效果。接下来观看仿真视频13分钟课题小结风淋和除尘是针对芯片处于裸露状态的生产车间设计的，是为了清除进入这些车间的人或物体表面的灰尘和细菌，保证车间内的无尘环境不被破坏。1分钟作业布置1.巩固风淋的相关概念、作用以及除尘的分类和作用2.预

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