无尘室验证标准及程序

無塵室验证标准及程序

大綱壹.測試驗證說明貳.測試驗證設備一覽表參.測試驗證步驟說明肆.測試驗證方法與程序

壹、測試驗證說明無塵室驗收測試規範依據如下：ISO-14644:世界標準組織制定無塵室測試之標準規範NEBB:美國國家環境平衡協會所制定無塵室測試之標準規範

無塵室測試分三階段:

第一階段AsBuilt

第二階段AtRest(由吉威配合業主部份需求點進行抽測)

第三階段Operation(由吉威配合業主部份需求點進行抽測)AsBuilt潔淨室建造完成，生產設備未搬入之狀態AtRest潔淨室建造完成，生產設備已搬入但未運轉之狀態OnOperation潔淨室建造完成，生產設備已搬入且運轉之狀態

測試前空調系統應已完成測試、調整、平衡，並已連續運轉48小時以上.

無塵室測試驗證項目1.濾網風速測試(Airflowvelocitytesting)2.濾網洩漏測試(Filterleakagetesting)3.無塵室內溫溼度測試(Temperature&Humiditytesting)4.無塵室內壓差測試(Roompressurizationtesting)5.無塵室內噪音測試(Noiseleveltesting)6.無塵室內照度測試(Lightingleveltesting)7.無塵室內環境微粒子測試(AirParticlecounts)8.無塵室內地板靜電測試(FloorConductivitytesting)

貳.測試驗證設備一覽表NoTestDescriptionEquipment/InstrumentationModelsS/NAccuracyRemark1AirflowVelocityTestShortridgeElectronicMicromanometerADM-870M98801+/-3%ofreading

ShortridgeElectronicMicromanometerADM-870CM97311+/-3%ofreading

ShortridgeElectronicMicromanometerADM-870M89721+/-3%ofreading2FilterInstallationLeakTestPMSAerosolParticleCounterLasair-11035235-0696-4125%coincidencelose

PMSAerosolParticleCounterLasair-110150575%coincidencelose

PMSAerosolParticleCounterLasair-11036634-0697-5845%coincidencelose3AirborneParticleCountTestPMSAerosolParticleCounterLasairII-310A447345%coincidencelose

PMSAerosolParticleCounterLasairII-310A363335%coincidencelose4RoomPressurizationTestShortridgeElectronicMicromanometerADM-870CM04850+/-2%ofreading

ShortridgeElectronicMicromanometerADM-870CM89721+/-2%ofreadingNoTestDescriptionEquipment/InstrumentationModelsS/NAccuracyRemark5Temperature&RelativeHumidityTestTestoDataLogerTesto175-H220063921/507Temperature:+/-0.10C

R/H:+/-3%

TestoDataLogerTesto175-H220063695/507Temperature:+/-0.10C

R/H:+/-4%6SoundPressureLevelTestSoundLevelMeterRIONNL-2100443361IEC/CDV61572-1Class27LightIntensityLevelTestHiokiLightIntensityLevelMeter34230834380+/-4%

ofreading,

+/-1digit8FloorConductivityTest3Mmegaohmmeter702346016+/-2%ofreading

參、測試驗證步驟說明

測試前準備工作:竣工圖面與點數確認備妥測試程序計劃及依據規範之標準.測試前無塵室空調系統已完成,並已持續運轉48小時以上.測試進行當中,業主需派人或代表在現場監工以表測試結果認同.

肆.測試驗證方法與程序

一.濾網風速測試(Airflowvelocitytesting):AsBuilt

目的判定洁净室过滤器(ULPA/HEPAfilter)的风速规格对于每个2`X4`过滤器,距离其表面150MM处均匀取2个读数对于每个4`X4`过滤器,距离其表面150MM处均匀取4个读数平均风速：0.45m/s±20%测试状态：空态方法参照：IESRecommendedPractice,IES-RP-CC006.2TestingCleanroomsNEBBProceduralStandardforCertifiedTestingofCleanroom(Chapter5.)每个过滤器分成两个或四个测试格.装置好仪表和十字支架并调整好仪表的内部设定.十字支架尺寸为14’X14’，测试时把支架放在过滤器中间的位

置，接触在过滤器的表面并且和过滤器边缘保持平行.4.

读取和记录每个格子的数据.

二.濾網洩漏測試(Filterleakagetesting):AsBuilt

目的查证过滤器的安装瑕疵

(FILTER外緣和CeilingGrid之间)而且确定过滤器是否在安装中因过失产生小的漏洞.规格测试状态：空态1.没有额外的尘粒在被测试的过滤器的上游。2.在ULPA/HEPA过滤器下游0.1微米粒子检测后不能多于1个.3.对于每个过滤器，任何再修理过的表面不能超过

0.5sq.英寸.

方法参照：IESRecommendedPractice,IES-RP-CC006.2TestingCleanroomNEBBProceduralStandardforCertifiedofCleanroom(Chapter6.)1.过滤器表面风速确保是在设计范围以内.2.取上游气流，尘粒的尺寸在0.1微米以上.3.激光粒子计数器以0.1微米及以上通道测试过滤器检漏，采样量为1ft3/min.4.用粒子计数器的探头扫描过滤器，探头选择可获取均匀采样量的尺寸,扫描速度5cm/s.

濾網(filter)掃瞄路徑采样头离过滤器之间的距离为1英寸，看是否有探测到多于1

个粒子在来源于同一个地方.6.所有已确定或是怀疑的过滤器做一下记录，在补救及整改之后重新再测一次。当过滤器无法修补或更换,记录下来并反映重新替换.

三.無塵室內溫溼度測試(Temperature&Humiditytesting):AsBuilt

目的

判定洁净室HVAC系统容量是否能将洁净室内的

温度和相对湿度维持在指定的范围内..规格22oC+/-2℃55%+/-5%测试状态：空态方法參照:NEBBProceduralStandardforCertifiedTestingofCleanroom(Chapter10.)1.测试之前所有气流平衡已经成功完成.2.测试开始前空调系统连续运行至少24小时以上.3.每个温控区测试一个测试点,每个房间至少一个测试点.4.洁净室测试表格分成不大于9平方米.5.温度连同湿度传感器置于测试格中央，距地板的1米的位置.6.如果测试位置有障碍物,可选择位于阻碍物上的6英尺处,并避免洁净室入口位置进行测试7.每次测量时间为10分钟.8.采集所有读数并记录.

四.無塵室內壓差測試(Roompressurizationtesting):AsBuilt

目的

判定洁净室系统的性能，使洁净室保持指定的压差。规格压力差别：依原設計各分區對外壓差测试状态：空态方法：參照:NEBBProceduralStandardforCertifiedTestingofCleanroom(Chapter8.)1.测试之前所有气流平衡已经成功完成.2.在此测试期间,洁净室相邻的门都是关闭的.3.测量和记下两个洁净室之间的压力差别.

五.無塵室內噪音測試(Noiseleveltesting):AsBuilt目的

测量洁净室里的机械和电力系统所产生的噪声规格平均噪声：<=NC65测试状态：空态方法參照:NEBBProceduralStandardforCertifiedTestingofCleanroom(Chapter9.)1.测试之前所有气流平衡已经完成.2.在读取读数之前所有的风机单元和空调设备均已开启.3.洁净室每个测试格不大于40平方米.4.噪声仪距地板以上1米的位置,同时探头指向运行的设备.5.噪音仪测试单位NC,在每个测试点读取数据.6.如果测试位置有障碍物,可选择位于阻碍物上的6英尺处,并於避免洁净室入口位置进行测试.7.用算术的方法来计算房间的平均噪声数据.

六.無塵室內照度測試(Lightingleveltesting):AsBuilt

目的在洁净室内工作高度位置的光照度规格平均光照度:依原設計規範需求测试状态：空态方法參照:NEBBProceduralStandardforCertifiedTestingofCleanroom(Chapter11.)1.所有的荧光灯开过至少在100小时.2.在测试前确保照明灯开着至少在2小时以上.3.洁净室每个测试格不大于25平方米.4.光照仪表在测试格中央，距地板上1米的位置.5.如果测试位置有障碍物,可选择位于阻碍物上的6英尺处,并避免洁净室入口位置进行测试.6.采集所有读数并记录.

七.無塵室內環境微粒子測試(AirParticlecounts):AsBuilt

目的用于检查或验证洁净室是否达到設計要求的洁净等级规格测试状态：空态方法参考：ISO14644-1/2

NEBBProceduralStandardforCertifiedTestingofCleanroom

1.在测试前洁净室至少净化12小时以上.2.洁净室的测试格以不少于总面积开平方根的数量来均匀划分。3.取样量为每分钟1个立方英尺,取样时间为一分钟。4.在每个点的中心最小取一分钟，高度在1米左右.5.当有障碍物时采样点放在障碍物12英寸上面.ISO14644-1&FederalStandard209E

潔淨等級比較表FederalStandard209EISO14644-1FSClassISOClass-1-21310410051,000610,0007100,0008ISOClassificationMaximumConcentrationlimits(particles/m³forair)forparticlesequaltoandlargerthantheconsideredsizesshownbelow.0.1µm0.2µm0.3µm0.5µm1µm5µmISOClass1102ISOClass210024104ISOClass31000237