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文档简介
晶圆切制站学习手册A、DFD651机台了解指示灯,显示器直行操作架旋转操作co2滤净机切割轴台直行操作架切割轴、切旋转操作架操作键盘切割工作盘清洗工作盘DFD651晶圓切割機的兩根切割軸以及切割刀切割Z2軸切割Z1軸⌒机器右侧面(机器左侧面AA总水阀总气阀机千关电源控制开纯器,出B":器W/数CUTTINGBLADE冷却刀具用水WATERSHOWER喷在刀刃上,清洗刀刃WASHINGSPRAY清洗晶圆用水WATERSPRAY清洗晶元用水B、键盘讲解:+SETUP:测高快捷键DEVICEDATA:调出参数快捷键AUX:不用NEWCST:按下后使料盒从第一个第一格开始取料S/TVAC:清洗盘真空压力开关+8YsNT:系统初始化4CUTWATER:切割水开关SPNDL:转轴开/关C/TVAC:切割盘真空压力开关4ZEM2转轴紧急抬起按钮+NDEx:索引SCRINDEX:ScR索引SHFT:键盘切换C、日常操作:开机;系统初始化(快捷键sYs|NT)确认刀片型号及使用寿命未到极限(F5.6测高(F5.3.1or快捷键SETUP→F3)刀片基准线校准(F55)>确认生产型号(F4)贴片(使用晶圆贴片机)单品种全自动切割(F1→快捷键NEWCST.→START)首件检查(使用工具显微镜)目检(使用普通显微镜)1>机器维护:换刀(在F51菜单下更换)机器异常情况处理>晶圆贴片步骤1、准备工作打开离子风扇有效距离60cm准备擦净的铁圈若干
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