《高纯铜合金铸锭》标准

1T/SDAMAXXXXX—202X高纯铜合金铸锭本标准规定了高纯铜合金铸锭的产品要求、试验方法、取样、检验规则、订货内容、标志和随行文件，以及包装、运输和贮存内容。本标准适用于制造半导体铜合金靶材所需的高纯铜合金铸锭。其他行业所需的高纯铜合金铸锭也可参照使用。2规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T3310铜及铜合金棒材超声检测方法GB/T5121.28铜及铜合金化学分析方法第28部分：铬、铁、锰、钴、镍、锌、砷、硒、银、镉、锡、锑、碲、铅、铋量的测定电感耦合等离子体质谱法GB/T5121.8铜及铜合金化学分析方法第8部分：氧、氮、氢含量的测定YS/T922高纯铜化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法3术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。4要求高纯铜合金铸锭根据合金成分不同，分为高纯CuP合金铸锭、高纯CuAl合金铸锭以及高纯CuMn合金铸锭。具体牌号应符合表1的规定。如果需方有其他成分要求，双方协商确认。其中，高纯CuP合金铸锭的纯度分类为99.95、99.99、99.995、99.999，高纯CuAl合金铸锭的纯度分类为99.9999、99.999，以及高纯CuMn合金铸锭的纯度为99.9999。表1高纯铜合金铸锭牌号铸锭种类牌号高纯CuP合金铸锭CuP-99.95CuP-99.99CuP-99.995CuP-99.999高纯CuAl合金铸锭Cu-0.11%AlCu-0.21%Al高纯CuMn合金铸锭Cu-0.22%MnCu-0.43%MnCu-0.69%MnCu-1.73%Mn4.2化学成分4.2.1高纯CuP合金铸锭的化学成分应符合表2规定。T/SDAMAXXXXX—202X表2高纯CuP合金铸锭的化学成分(质量分数)／10-—1AS211—2 21K 1 1—1—1Ni5251—2V——S ％，注2：aCu+P含量为100%减去表中杂质元素实测总和的余量(不4.2.2高纯CuAl合金铸锭的化学成分应符合表3规定。表3高纯CuAl合金铸锭的化学成分Al含量(质量分数)／%1ASBT/SDAMAXXXXX—202X(质量分数)／10-KNaNbNiPUVW量C11H11O11N11S11注1：需方如有特殊要求时，由供需双方商定，并在订货4.2.3高纯CuMn合金铸锭的化学成分应符合表4规定。表4高纯CuMn合金铸锭的化学成分1T/SDAMAXXXXX—202X——B —— 1—K ——NaNi1P — — —UV—W ——C1111H111—O111N111S 111 注1：需方如有特殊要求时，由供需双方商定，并在订货5T/SDAMAXXXXX—202X4.3尺寸及允许偏差高纯铜合金铸锭形状一般为圆柱型，直径（D）大于150mm，长度大于400mm。其外形尺寸及允许偏差，可根据需方要求提供或由供需双方协商。4.4外观质量高纯铜合金铸锭表面为机加工表面。铸锭表面应洁净，无裂纹、毛刺、夹杂、孔洞和其他沾污。4.5内部质量高纯铜合金铸锭内部应连续一致，内部应无气孔、疏松、缩孔和夹杂等缺陷，由供方生产工艺保证。5试验方法5.1化学成分5.1.1高纯铜合金铸锭中磷、铝、锰合金元素的分析方法按照GB/T5121.28的规定执行。5.1.2高纯铜合金铸锭中杂质元素氮、氧、氢的分析方法按照GB/T5121.8的规定执行。5.1.3高纯铜合金铸锭中其他杂质元素的分析方法按照YS/T922高纯铜化学分析方法的规定执行。5.1.4高纯铜合金铸锭总杂质元素碳的分析方法由供需双方协商确定。5.2尺寸及允许偏差高纯铜合金铸锭的外形尺寸由相应精度的量具检测。5.3外观质量外观质量用目视检测，如发现异常现象，在10倍放大镜下目视检查。5.4内部质量高纯铜合金铸锭内部质量检查按照GB/T3310的规定执行。6取样检验项目、取样位置及数量应符合表5的规定。表5检验项目及取样规定检验项目取样位置要求的章条号试验方法的章条号T/SDAMAXXXXX—202X7检验规则7.1检验分类按检验阶段分类：分为原材料检验、成品检验。按检验项目分类：分为化学成分检验、尺寸检验、外观检验、内部缺陷检验。7.2检验项目检验项目为化学成分检验、尺寸检验、外观检验、内部缺陷检验。7.3组批规则和抽样方案7.3.1组批规则：高纯铜合金铸锭应成批提交验收，每批应由同一牌号、同一规格铸锭组成；批量大小一般根据生产实际情况和相关标准规定确定，例如可能规定每批重量不超过一定吨数，或者包含的铸锭数量在一定范围内。7.3.2抽样方案：抽样数量为铸锭逐锭检验。7.4判定规则化学成分、外形尺寸及允许偏差、外观质量、内部质量检验结果不合格时，判定该锭不合格。8订货内容8.1按照本文件订货的合同或订单应包括下列内容：a）本标准编号；b）产品名称；c）牌号；d）规格尺寸；e）重量；f）包装方式；g）其他特殊要求。9标志和随行文件a)产品名称；b)牌号；c)规格尺寸；7T/SDAMAXXXXX—202Xd)净重；e)批次；f)生产日期；g)企业名称；h)生产厂家地址及电话。9.2随行文件：随行文件包括产品质量证明书，内容包括如下：a）供方名称、地址、电话、传真；b）产品名称；c）牌号；d）订单编号；e）生产批号；f）分析检测结果和质量监督部门印记；g）生产日期；h）其他。10包装、运输和贮存包装要求的基本内容包括：a）高纯铜合金铸锭独立包装，采用塑料薄膜包覆表面。b)外包装采用木箱包装。包装箱内应有防碰撞措施。将质量证明书用塑料袋装好后放于包装箱内。需方有特殊要求时，由供需双方商定。10.2运输运输过程中，应防止碰伤、擦伤、雨淋，防止表面接触化学试剂，并保证包装完整。10.3贮存贮存过程中，铸锭应保存于清洁、干燥的环境中，防止碰伤、擦伤、雨淋