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3402Technicalcodeofpracticeforthereuseandtreatmentoffluorine-containingwastewaterI本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件主要起草人:郑建军、王伟、邵家满、徐娇、殷旬旬、王灿、王雨晨、李伟、高1含氟中水回用处理技术规程本文件适用于半导体玻璃面板行业通过氢氟酸蚀刻减薄工艺产生的含氟中水的回收GB18599一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准DB34/4294半导体行业水污染物排含氟中水fluorine-containingwa4.1含氟中水水质24.2表1含氟中水水质(续)注:未约定项排放应符合GB39731的要4.3回用率聚合氯化铝、聚合氯化铝、硫酸混凝沉淀物液碱、纯碱除硬度除氟剂再生水滤液除氟5.2除氟pH控制在6.5~7.5,时间不少于20min。5.3.2向除氟后的水中先添加液碱,采用机械搅拌使反应充分完成,搅拌时间(10~20)min,去除水中的硅离子、镁离子,pH宜控制在10~15.3.3再添加纯碱去除水中的钙离子,搅拌时间(10~20)min,pH宜控制在11~11.8。5.4.2经软化后的含氟中水先添加聚合氯化铝充分混凝,再加入聚丙烯酰胺充分絮凝后,完成混凝沉35.4.3混凝沉淀后的含氟中水进入除盐5.5.4除去悬浮固体及胶体后的含氟中水进入反5.6压滤再生水
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