JJF(蒙) 113-2025 探针型导电类型及电阻率测试仪测试规范

内蒙古自治区地方计量技术规范JJF(蒙)113—20252025-05-01发布2025-08-01实施探针型导电类型及电阻率归口单位：内蒙古自治区市场监督管理局主要起草单位：包头市检验检测中心参加起草单位：内蒙古自治区计量测试研究院JJF(蒙)113-2025本规范主要起草人：参加起草人： （1） （1） （1） （2） （2） （2） （2） （2） （3） （3） （3） （3） （3） （3） （10） （12） （14） （16）JJF(蒙)113-2025JJF(蒙)113-2025探针型导电类型及电阻率测试仪测试规范[来源：GB/T14264-2024，3.72][来源：GB/T14264-2024，3.49][来源：GB/T14264-2024，3.50][来源：GB/T14264-2024，3.74][来源：GB/T14264-2024，3.23.1]JJF(蒙)113-2025表1电气测试部分主要技术指标项目二探针电阻率测试仪四探针电阻率测试仪相对示值误差重复性＜0.3%＜0.3%表2探针部分主要技术指标二探针电阻率测试仪四探针电阻率测试仪探针间距重复性＜0.25%＜0.30%探针间距相对示值误差/探针力1.75N±0.25N1.75N±0.25NJJF(蒙)113-2025温度23±2）℃。采用附有导电类型等参数值的参考片作为p、n型标准样片。参考片的表面没有明显探针型导电类型测试仪、电阻率测试仪的外壳探头不晃动，二探针电阻率测试仪的两根针/四探针电阻率测试仪的四根针在同一平探针型导电类型测试仪、电阻率测试仪应附带使用说探针之间或探针与仪器外壳之间可用绝缘电将探针型导电类型测试仪的探针分别垂直按压到p、n型标准样片上，查看显示是否表3标准电阻及测试电流选择电阻率Ω.cm测试电流档位，mA标准电阻，Ω＜0.030.010.03~0.300.10.30~313~3030~3000.1300~30000.01>30000.00110000准电阻器两端。按图1连接，模拟电阻Rx按式（1）计5JJF(蒙)113-2025测试模拟电路的正向电阻，改变极性，再测试反向电阻。连续改变极性重复测量5次。则模拟电路的模拟电阻平均值R。按式(2)计算：R——模拟电路的正向电阻及反向电阻中的任意一个值(i=1~10),Ω。模拟电阻值的标准偏差按式(3)计算：Sa——模拟电阻值标准偏差，Ω。模拟电阻值的相对示值误差按式(4)计算：δa——模拟电阻值相对示值误差，%;模拟电阻值的重复性按式(5)计算：JJF(蒙)113-20256SR——模拟电阻值的重复性，%。4脚连在一起，再分别连接标准电阻器两端。按图2连接，模拟电阻rx按式(6)计算：则模拟电路的模拟电阻平均值按式(7)计算：模拟电路的标准偏差按式(8)计算：模拟电阻值的相对示值误差按式(9)计算：JJF(蒙)113-20257δ₆——模拟电阻值相对示值误差，%;r——模拟电阻标称值，Ω模拟电阻值的重复性按式(10)计算：S,——模拟电阻值的重复性，%。7.2.4探针头测试①探针力测试用测力仪测出每根针的力和所有探针的合力。②探针间距测试被测仪器在抛光片上压10组压痕，然后用显微镜或投影仪测量压痕直径及相邻两个压痕之间的距离。两根针压痕示意图见图3。a)对10组测试数据中的每一组，分别计算探针间距：b)平均探针间距：JJF(蒙)113-2025D,——探针间距的重复性，%。被测仪器在抛光片上压10组压痕，然后用显微镜或投影仪测量压痕直径及相邻两个压痕之间的距离。四根针压痕示意图见图4。a)被测仪器在抛光片上压10组压痕，然后用显微镜或投影仪测量压痕直径及相邻两b)对10组测试数据中的每一组，分别计算探针间距：JJF(蒙)113-20251jS1j2jS2j3jS3jCDABjjjj 22EFCDjjjj GHEFjjjj S1j——1、2探针间距，mm；S2j——2、3探针间距，mm；S3j——3、4探针间距，mm；Aj~Hj——分别表示探针压痕在显微镜上的读数，mm；j——组数，j=1~10。SiSijj——组数，j=1~10。0Si20SS1S2S3S——平均探针间距标准，mm。JJF(蒙)113-2025idpi100%（21）idpi——任一探针间距的重复性（i=1~3%。Spi100%（22）Spi——探针间距的相对示值误差，%；h)测试所依据的技术规范的标识，包括名称j)测试环境的描述；m)测试证书或测试报告签发人的签名或等p)未经实验室书面批准，不得部分复制测试证书或测试报告的声JJF(蒙)113-2025JJF(蒙)113-2025委托单位：仪器名称：测试地点：名称编号测量范围不确定度/准确度等级/最大允许误差溯源机构及证书编号证书有效期至三、导电型号类型判别：□符合要求1（%k=2）1JJF(蒙)113-2025ABCDEFGH123456789S1S2S3123dp1dp2dp3Sp1Sp2Sp3JJF(蒙)113-2025111探针N；2探针N；3JJF(蒙)113-2025ABCDEFGH123456789S1S2S3123dp1dp2dp3Sp1Sp2Sp3（C1） r100%（C2）r——模拟电阻相对示值误差，%；r——标准电阻标称值，Ω。（C3）字电压表引入的标准不确定分量，标准器不准C.3.1模拟测试电路中模拟电阻测量重复性引入的标准不确定度u1表1模拟电阻测量重复性引入的标准不确定度序号模拟电阻值(Ω)10.99920.99930.99940.99850.99960.99870.99980.9999平均值0.999标准偏差0.0007测量时采用10次测量数值的平均值作为测量结果，因此，由重复性引入的标准不确定度分量u1：u10.0002（C5）C.3.2四探针电阻率测试仪恒流源、数字电压表引入的标准不确定度u2u210.005/0.0029mA（C6）u220.0204/0.0118mV（C7）JJF(蒙)113-2025C.3.2.3被测的四探针电阻率测试仪恒流源、数字电压表引入的合成u2 c1u212c2u2220.0003C.3.3标准器标准电阻箱不准引入的标准不确定度u3u30.0007/0.0004（C9）表2标准不确定度汇总表标准不确定