TCCGA300032019超纯三氟化氮_第1页
TCCGA300032019超纯三氟化氮_第2页
TCCGA300032019超纯三氟化氮_第3页
TCCGA300032019超纯三氟化氮_第4页
TCCGA300032019超纯三氟化氮_第5页
已阅读5页，还剩7页未读， 继续免费阅读

下载本文档

版权说明：本文档由用户提供并上传，收益归属内容提供方，若内容存在侵权，请进行举报或认领

文档简介

G团体标准T/CCGA30003—Ultrapurenitrogen 2020-01-29实中国工业气体工业协 发T/CCGAT/CCGA30003—T/CCGAT/CCGA30003—目前 附录A（资料性附录）切割气路流程示意 附录B（规范性附录）酸度（以HF计）的测 本标准按照GB/T1.1-2009给出的规则起草。T/CCGAT/CCGA30003—T/CCGAT/CCGA30003—本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。GB190GB/T5099GB/T5832.33GB/T6681气体化工产品采样通则GB/T7144GB/T14194表1-三氟化氮(NF3)（体积分数 -四氟化碳(CF4)（体积分数 -氮(N2)（体积分数 - 一氧化碳(CO)（体积分数），10- -二氧化碳(CO2)（体积分数 -氧化亚氮(N2O)（体积分数 -六氟化硫(SF6)（体积分数 酸度(以HF计)（体积分数），10- 水（H2O）（体积分数 1表2 Φ=100-（Φ+Φ+Φ+Φ+Φ+ Φ——四氟化碳(CF10- Φ——氮(N，10- Φ——氧加氩(O+Ar)的体积分数，10-6；Φ——一氧化碳(CO)的体积分数，10-6；Φ——二氧化碳(CO10-6；Φ——氧化亚氮(NO)的体积分数，10-6；Φ——六氟化硫(SF10-6；Φ 分析柱1：长3.0m，内径3mm，内装粒度为0.150mm～0.180mmmm的MS-13X（或5A）分子筛，分子筛预先在马弗炉中于4503h，冷至室温后装柱，然后再在仪器上以载气和流速与分析样品时同样的条件于150℃活化2h，分析柱柱温约50℃。或采用其它等效色谱柱。分析柱2：长7.0m，内径3mm，内装粒度为0.180mm～0.250mm的PorapakQΦ=Φ

按GB/T5832.3的规定执行，允许采用其它等效方法测定。当测定结果有异议，以GB/T5832.3规定GB/T21287-2007D组、YGB/T5099、气瓶安全技术监察规程等相关规定。1×10-7Pa•L/s。气瓶应经过内表面处理，且符合气瓶安全技术监察规程要求，气瓶内表面粗糙度（Ra）0.4μm8GB/T7144GB190GB/T14194力为12.5MPa时，充装量应不大于0.55kg/L0.5MPa。10×10-6(体积分数)，250℃～350℃时，附录12——预柱1（CST柱34——预柱2（PorapakQ色谱柱）；5——PorapakQ色谱柱；61415、16图A.1附录——005mol/L0.1mol/L0.1%20%1mL0.01mL0.005超纯三氟化氮中酸分的吸收装置示意图参见图B.1。吸收瓶均为100mL磨口封盖的锥形瓶，吸收瓶中与空白背景瓶的溶液中，加入3～4滴指示剂(溴甲酚紫0.1%(20%)溶液)，用0.005mol/L氢氧化2

人人文库> 全部分类> 行业资料 > 各类标准

温馨提示

  • 1. 本站所有资源如无特殊说明，都需要本地电脑安装OFFICE2007和PDF阅读器。图纸软件为CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
  • 2. 本站的文档不包含任何第三方提供的附件图纸等，如果需要附件，请联系上传者。文件的所有权益归上传用户所有。
  • 3. 本站RAR压缩包中若带图纸，网页内容里面会有图纸预览，若没有图纸预览就没有图纸。
  • 4. 未经权益所有人同意不得将文件中的内容挪作商业或盈利用途。
  • 5. 人人文库网仅提供信息存储空间，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对用户上传分享的文档内容本身不做任何修改或编辑，并不能对任何下载内容负责。
  • 6. 下载文件中如有侵权或不适当内容，请与我们联系，我们立即纠正。
  • 7. 本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。

最新文档

评论

0/150

提交评论