机械轴承分子泵性能分级规范

2机械轴承分子泵性能分级规范本文件规定了机械轴承分子泵性能的评级指标定义、评级指标测试方法和性能分级判定依据等。本文件适用于工业用机械轴承分子泵，特殊定制机械轴承分子泵除外。2规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。GB/T7774-2007真空技术涡轮分子泵性能参数的测量GB/T21271-2007真空技术真空泵噪声测量JB/T9125-2007真空技术涡轮分子泵JB/T10771-2007真空技术复合分子泵JB/T9125-2007和GB/T7774-2007规定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1振动值vibrationvalue在不引入外部气体条件下，机械轴承分子泵额定转速运转时产生的径向振动测量值，单位：μm。在不引入外部气体条件下，机械轴承分子泵额定转速运转时对周围环境发射的噪声测量值，以发射声压级Lp表示，单位：dB(A)。3.3空载电机功耗值no-loadmotorpowerconsumptionvalue在不引入外部气体条件下，机械轴承分子泵额定转速运转时分子泵电机所消耗的功率P3.4体积抽速比volumepumpingspeedratio机械轴承分子泵的泵体最大空间占用体积（能够包含泵体的最小规则圆柱体体积）与理想条件下单位时间从测试罩流过泵入口的气体体积之比定义为体积抽速比，单位：无。4符号和缩略语Lp发射声压级dB(A)PM空载电机功耗值WPMi第i次测量的空载电机功耗值W3UM空载运行时机械轴承分子泵电机母线电压VIM空载运行时机械轴承分子泵电机母线电流A机械轴承分子泵的振动值测试应符合GB/T7774-2007中6.11的规定。5.2.1机械轴承分子泵的安装应符合GB/T7774-2007中的6.11.2及GB/T21271-2007中6.2的规定。5.2.2噪声测试时，机械轴承分子泵的负载和运行条件应符合GB/T21271-2007中6.35.2.3在不引入外部气体情况下，机械轴承分子泵正常运行1小时后，关闭机械轴承分子泵前级阀，前级泵停止运转，立即按照GB/T21271-2007中8的规定测试机械轴承分子泵空载运行时的发射声压级。5.3空载电机功耗值测试在不引入外部气体情况下，机械轴承分子泵额定转速运行1小时后，用数字万用表及钳流表检测机械轴承分子泵电机的母线电压UM及母线电流IM，根据公式PM=UM×IM计算出机械轴承分子泵空载电机功率PM。按上述方法进行3次机械轴承分子泵空载电机功率测量，分别记为PM1、PM2、PM3，将3使用经过计量单位认证的测量工具（直尺、游标卡尺等）测量机械轴承分子泵泵体各维度的最大尺寸值，并以最大尺寸值为基准，计算出能够包含泵体的最小规则圆柱体体积作为机械轴承分子泵泵体最大空间占用体积。机械轴承分子泵的体积流率（抽速）测试应符合GB/T7774-2007中6.4的规定。体积抽速比等于泵体最大空间占用体积与分子泵的体积流率（抽速）之比。6性能分级判定依据本文件选用振动值、噪声值、空载电机功耗值和体积抽速比作为机械轴承分子泵性能等级的评级指标，如表1所示各评级指标按不同指标范围划分为一级和二级两档。机械轴承分子泵性能等级划分按照表2要求执行。4表1评级指标评价标准评价项振动值小于0.05μm0.05μm~0.1μm小于50dB(A)50dB(A)~60dB(A)空载电机能耗值抽速小于1000L/s小于60W60W~150W抽速大于1000L/s小于80W80W~200W体积抽速比0.1~0.2表2机械轴承分子泵性能等级划分标准机械轴承分子泵性能等级三项及以上评级指标均为一级各项评级指标均满足二级，但满足一级的评级指标少于三项5附表1机械轴承分子泵性能测试报告机械轴承分子泵型号：产品编号：测试日期：温度、湿度：测试人员：测试项判定标准测试设备测试结果评级结果振动值机功耗值抽速小于小于60W为一级；抽速大于小于80W为一级；机械轴承0.1~0.2为二级；性能评级结论附表2测试工具要求1测振仪2声压准确度优于±0.7dB(A)3数字万用表电压测量精度优于0.01%4数字钳流表0~6A电流范围内，测量精度±1.5%rdg±5dgt（rdg钳流表最小显