半导体厂特种气体间防火细则

半导体厂特种气体间防火细则一、特种气体间的设计与布局防火要求（一）建筑结构与耐火等级半导体厂特种气体间应采用钢筋混凝土框架结构，耐火等级不低于二级。墙体需采用防火墙（耐火极限≥3小时）与其他区域分隔，地面应选用不发火、防静电的耐磨材料（如环氧树脂地坪），防止静电积聚引发火花。屋顶应设置泄压面积（泄压比≥0.05），采用轻质易碎材料（如泄压窗），确保气体泄漏爆炸时能快速释放压力，减少建筑破坏。（二）区域划分与隔离气体间需按气体性质划分为可燃气体区、氧化性气体区和惰性气体区，各区之间保持≥5米的安全距离，或用防火墙物理隔离。其中，可燃气体（如氢气、甲烷）与氧化性气体（如氧气、氯气）的储存区必须严格分离，避免泄漏后混合形成爆炸性混合物。气体钢瓶应采用独立的气瓶柜存放，柜内配备泄漏检测探头和紧急切断阀。（三）通风系统设计通风系统需满足“事故通风优先”原则：正常工况下保持每小时≥6次的换气次数，事故状态下换气次数提升至≥12次。通风口应设置在房间底部（针对比空气重的气体，如氯气）和顶部（针对比空气轻的气体，如氢气），确保气体泄漏后能快速排出。通风机应采用防爆型（ExdIIBT4），并与气体检测系统联动，一旦检测到气体浓度超标，自动启动事故通风。二、特种气体储存与运输环节防火措施（一）气体钢瓶的储存要求钢瓶固定与防护：钢瓶应垂直放置，用铁链或专用夹具固定，防止倾倒碰撞。可燃气体钢瓶需远离热源（距离明火≥10米，距离高温设备≥5米），避免阳光直射。标识与分类管理：每个钢瓶必须清晰标注气体名称、纯度、压力及危险特性（如“易燃”“氧化”标识），严禁混放。空瓶与满瓶应分开存放，空瓶需标注“空瓶”字样，且与满瓶保持≥2米距离。储存量限制：单瓶气体储存量不得超过设计容量，可燃气体总储存量（按标准状态体积计算）应控制在≤500立方米，超过时需设置独立的储罐区，并配备喷淋冷却系统。（二）气体输送管道的防火设计输送管道应采用无缝不锈钢管，焊接连接（禁止螺纹连接），并进行耐压试验（试验压力为工作压力的1.5倍）。管道外壁需涂刷标识色：可燃气体管道为红色，氧化性气体为黄色，惰性气体为蓝色。管道穿越防火墙时，需设置防火封堵（如防火泥+钢制套管），防止火灾蔓延。此外，管道上应每隔30米设置一个紧急切断阀，阀门需具备远程控制功能。（三）运输与装卸安全气体钢瓶的运输需使用防爆型叉车或专用推车，严禁滚动或抛掷钢瓶。装卸时应轻拿轻放，避免碰撞产生火花。运输路线应避开高温区、电气设备密集区，且需有专人监护，全程禁止吸烟或携带火种。三、电气系统与设备的防火规范（一）防爆电气设备的选用气体间内所有电气设备（包括照明、开关、插座、风机）必须选用防爆型，并符合场所的爆炸危险区域划分：可燃气体区属于1区爆炸危险环境，应选用ExdIIBT4级防爆设备；氧化性气体区属于2区爆炸危险环境，可选用ExnAIIBT4级设备。严禁使用非防爆电气设备（如普通白炽灯、插座），防止电气火花引发火灾。（二）静电防护措施接地系统：气体间地面、气瓶柜、输送管道、钢瓶均需设置静电接地，接地电阻≤10Ω。定期（每季度）检测接地电阻，确保接地有效。人员防静电：操作人员进入气体间前必须穿防静电工作服、防静电鞋，触摸静电释放器（释放时间≥3秒）后方可操作。严禁携带手机、钥匙等金属物品进入，避免产生静电火花。（三）电气线路敷设电气线路需采用穿钢管保护的方式敷设，钢管连接处应做跨接接地。线路绝缘层需选用耐腐蚀性材料（如聚四氟乙烯），避免气体泄漏腐蚀线路引发短路。严禁在气体间内私拉乱接电线，所有线路需由专业电工定期检查（每月1次）。四、气体泄漏检测与应急处理（一）气体检测系统的设置气体间应安装多点式气体检测系统，检测探头覆盖钢瓶储存区、管道接头、阀门等泄漏风险点。检测参数需满足：可燃气体：检测浓度≤爆炸下限（LEL）的25%；有毒气体（如砷化氢）：检测浓度≤职业接触限值（OEL）的10%；氧化性气体：检测浓度≤25%VOL（氧气）。系统需与声光报警器、紧急切断阀、通风机联动，一旦浓度超标，立即触发报警并启动应急措施。（二）泄漏应急处置流程一级泄漏（微量泄漏，浓度未超标）：操作人员佩戴防毒面具（针对有毒气体）或正压式空气呼吸器，关闭钢瓶阀门，启动局部通风，用肥皂水检查泄漏点并修复。二级泄漏（浓度超标，未引发火灾）：立即启动事故通风，切断区域电源（防爆设备除外），疏散无关人员，关闭气体总阀。使用惰性气体（如氮气）稀释泄漏气体，待浓度降至安全范围后进行修复。三级泄漏（引发火灾或爆炸）：立即按下紧急停车按钮，启动全厂火灾报警系统，人员沿疏散通道撤离至安全区。消防人员需佩戴防爆设备，使用干粉灭火器（针对可燃气体火灾）或二氧化碳灭火器灭火，严禁用水灭火（防止气体扩散）。（三）消防设施配置气体间应配备专用灭火器材：可燃气体区：每50平方米设置2具8kg干粉灭火器，同时配备消防沙箱（≥0.5立方米）和灭火毯（≥2块）；氧化性气体区：配备二氧化碳灭火器，避免使用干粉灭火器（防止与氧化性气体反应）。消防设施需放置在明显、易取的位置，每月检查一次，确保完好有效。五、日常管理与人员培训（一）定期检查与维护建立“日检+周检+月检”制度：日检：操作人员检查钢瓶压力、阀门状态、气体检测系统是否正常；周检：维护人员检查通风系统、电气设备、接地系统；月检：专业人员对气体检测探头、紧急切断阀进行校准，对钢瓶进行外观检查（有无腐蚀、变形）。所有检查需记录在《特种气体间安全检查表》中，发现问题立即整改。（二）人员培训要求上岗培训：操作人员需经“气体安全知识+应急处置+设备操作”培训，考核合格后方可上岗。培训内容包括：气体的危险特性、防火措施、泄漏应急流程等。定期演练：每季度组织一次火灾爆炸应急演练，模拟气体泄漏、火灾等场景，提升人员应急处置能力。演练后需总结不足，优化应急预案。（三）安全管理制度制定《特种气体间安全操作规程》《防火责任制》《应急处置预案》等制度，明确各级人员的防火职责。严禁无关人员进入气体间，进入时需经车间主任批准，并由操作人员陪同。六、常见特种气体的防火要点不同气体的防火措施需针对性调整，以下为半导体厂常用气体的防火重点：气体类型代表气体防火关键措施可燃气体氢气（H₂）、甲烷（CH₄）1.储存区远离氧化性气体；2.采用防爆型设备；3.泄漏时用氮气稀释，禁止明火氧化性气体氧气（O₂）、氯气（Cl₂）1.避免与可燃物质接触；2.储存区禁止存放油脂；3.泄漏时用惰性气体覆盖有毒可燃气体砷化氢（AsH₃）、磷化氢（PH₃）1.配备防毒面具和正压式空气呼吸器；2.泄漏时先疏散人员，再进行处置；3.定期检测气体浓度惰性气体氮气（N₂）、氩气（Ar）1.防止窒息（泄漏时通风）；2.作为灭火介质时，需确保区域无人七、附则本细则适用于半导体厂内所有特种气体储存、使用区域，未尽事宜需符合《建筑设计防火规范》（GB500